一种样品膜厚自动测试系统及方法

本发明涉及集成电路，尤其涉及一种样品膜厚自动测试系统及方法。

背景技术：

1、在集成电路的制造过程中，需要时刻监控每一层薄膜的厚度，所以对其厚度的量测就比较重要，但是通常在实际流片过程中，尤其是一些进线实验研究的实验室来说，其测量的样品大小规则不一定统一。目前除了12寸片、8寸片、6寸片等这些大小不一样但是形貌规则的样品外，还有一些不规则，大小不一的进行分割过的样品。

2、对于大部分自动测试机台来说，无法兼容不匹配本机台固定尺寸大小之外的样品的测试，这主要是因为在自动测试机台中，会有一个手臂进线自动取片，运送到测试区域进线光谱的采集进线相应的测试，但对于大小不一的不规则样品则无法传输到测试区域。所以需要针对这些不规则样品进行另外匹配的机台进行相关测试，大大的增加了成本和时间。

3、因此，亟需提供一种更为可靠的样品膜厚自动测试方案。以兼容不匹配本机台固定尺寸大小之外的样品的测试。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种样品膜厚自动测试系统及方法，用于解决现有技术中无法兼容不匹配机台固定尺寸大小之外的样品的测试，针对不规则样品的测试效率低、测试成本高的问题。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、第一方面，本发明提供一种样品膜厚自动测试系统，设备包括：

4、自动测试机台；

5、设置在所述自动测试机台上的自动手臂；所述自动手臂的一端固定在所述自动测试机台上；

6、设置在所述自动手臂另一端的样品托；所述样品托上设置有多个真空吸附点位，用于实现不同样品的吸附固定；所述样品托具有自动感应功能，用于定位所述样品托上的待测样品的位置信息，以确定测试点位；所述自动测试机台基于所述测试点位对所述样品托上的待测样品进行自动测试。

7、与现有技术相比，本发明提供的一种样品膜厚自动测试系统，设备包括：自动测试机台；设置在自动测试机台上的自动手臂；自动手臂的一端固定在自动测试机台上；设置在自动手臂另一端的样品托；样品托上设置有多个真空吸附点位，用于实现不同样品的吸附固定；样品托具有自动感应功能，用于定位样品托上的待测样品的位置信息，以确定测试点位；自动测试机台基于测试点位对样品托上的待测样品进行自动测试。本发明的方案在自动测试机台的自动手臂上面增加样品托，样品托自带多点位的真空吸附，可以实现不同样品的吸附固定，此外可在样品托上面配备样品自动感应功能，能够自动识别出有片子的区域，并进行相应显示标识，更便于进行测试位置的选择；本发明提供的方案可以针对各种不规则样品进行自动测试，无需进行另外匹配的机台进行相关测试，对于大小不一，规则不一的样品都能够被兼容在自动测试机台上进线相关测试；可以在提高测试速度的同时降低测试成本。

8、第二方面，本发明提供一种样品膜厚自动测试方法，所述方法应用于第一方面提供的样品膜厚自动测试系统，所述方法包括：

9、控制自动手臂进行移动，将样品托上的待测样品移动至自动测试机台测试区域的指定位置；所述样品托上设置有多个真空吸附点位，用于实现不同样品的吸附固定；

10、获取样品托传输的待测样品感应信息，并基于所述感应信息确定所述待测样品的位置信息；所述样品托具有自动感应功能，用于定位所述样品托上的待测样品的位置信息，以确定测试点位；

11、基于所述位置信息确定所述待测样品的测试点位；

12、基于测试点位对所述样品托上的待测样品进行膜厚自动测试。

13、与现有技术相比，本发明提供的一种样品膜厚自动测试方法。通过控制自动手臂进行移动，将样品托上的待测样品移动至自动测试机台测试区域的指定位置；获取样品托传输的待测样品感应信息，并基于感应信息确定待测样品的位置信息；基于位置信息确定待测样品的测试点位；基于测试点位对样品托上的待测样品进行膜厚自动测试；本发明提供的方案中，样品托上设置有多个真空吸附点位，用于实现不同样品的吸附固定；样品托具有自动感应功能，用于定位所述样品托上的待测样品的位置信息，以确定测试点位；可以针对各种不规则样品进行自动测试，无需进行另外匹配的机台进行相关测试，对于大小不一，规则不一的样品都能够被兼容在自动测试机台上进线相关测试；可以在提高测试速度的同时降低测试成本。

技术特征：

1.一种样品膜厚自动测试系统，其特征在于，设备包括：

2.根据权利要求1所述的样品膜厚自动测试系统，其特征在于，所述样品托上设置有自动感应芯片或感应贴片，通过所述自动感应芯片或所述感应贴片定位所述样品托上的待测样品的位置信息。

3.根据权利要求1所述的样品膜厚自动测试系统，其特征在于，所述设备还包括：

4.根据权利要求1所述的样品膜厚自动测试系统，其特征在于，通过所述自动手臂移动承载有所述待测样品的样品托托付样品至所述自动测试机台的测试区；所述自动测试机台在样品托上测试所述待测样品；

5.根据权利要求1所述的样品膜厚自动测试系统，其特征在于，所述自动测试机台上设置有一个或多个自动手臂。

6.根据权利要求5所述的样品膜厚自动测试系统，其特征在于，当所述自动测试机台上设置有一个自动手臂时，所述自动手臂一端安装的样品托内具有第一真空吸附点位，所述第一真空吸附点位用于将不同的不规则待测样品吸附固定在所述样品托中；所述自动手臂上设置第二真空吸附点位，所述第二真空吸附点位用于将规则样品吸附在所述自动手臂上，以将所述规则样品运输至所述自动测试机台进行测试。

7.根据权利要求5所述的样品膜厚自动测试系统，其特征在于，当所述自动测试机台上设置两个自动手臂时，两个自动手臂为第一自动手臂和第二自动手臂；所述第一自动手臂上设置样品托，所述样品托上设置多个真空吸附点位，用于将不同的不规则待测样品吸附固定在所述样品托中；所述第二自动手臂上也设置多个真空吸附点位，用于将所述规则样品运输至所述自动测试机台进行测试。

8.根据权利要求1所述的样品膜厚自动测试系统，其特征在于，所述样品托为圆形；所述待测样品包括规则样品以及不规则样品；所述不规则样品包括形状不同、大小不同的样品或切割过的样品。

9.一种样品膜厚自动测试方法，其特征在于，所述方法应用于所述权利要求1-8任意一项所述的样品膜厚自动测试系统，所述方法包括：

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述待测样品包括规则样品以及不规则样品；所述不规则样品包括形状不同、大小不同的样品或切割过的样品；所述样品托上设置的多个真空吸附点位，用于实现所有待测样品的吸附固定。

技术总结
本发明公开一种样品膜厚自动测试系统及方法，涉及集成电路技术领域，用于解决现有技术中无法兼容不匹配机台固定尺寸大小之外的样品的测试，针对不规则样品的测试效率低、测试成本高的问题。包括：自动测试机台；设置在自动测试机台上的自动手臂；自动手臂的一端固定在自动测试机台上；设置在自动手臂另一端的样品托；样品托上设置有多个真空吸附点位，用于不同样品的吸附固定；样品托具有自动感应功能，用于定位样品托上的待测样品的位置信息，以确定测试点位；自动测试机台基于测试点位对样品托上的待测样品进行自动测试。本发明对于大小不一，规则不一的样品都能够被兼容在自动测试机台上进线相关测试；在提高测试速度的同时降低了测试成本。

技术研发人员：李亭亭,贺晓彬,王晓磊,李俊峰,罗军
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：
技术公布日：2024/4/29