本发明涉及光源装置。
背景技术:
1、在对象物的成分分析、检查中广泛使用分光解析。在分光解析中,照射光照射对象物,并且测量由照射结果获得的物体光的光谱。而且,能够基于物体光的光谱与照射光的光谱的关系,得到反射特性(波长依赖性)或透射特性等光学特性。
2、作为光学特性的测定方法之一,已知有波长扫描型的分光法。在波长扫描型的分光器中,生成波长随时间变化的波长扫描光,并照射到检查对象。波长扫描光是时间与波长处于一对一的关系的脉冲或脉冲串。通过受光器检测通过向检查对象照射波长扫描光而得到的光的时间波形。受光器的输出波形表示时间轴与波长对应的光谱。
3、在专利文献1以及2中公开了波长扫描型的分光测定装置。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1:日本特开2020-159971号公报
7、专利文献2:日本特开2020-159973号公报
技术实现思路
1、发明要解决的技术问题
2、在波长扫描型的分光测定装置中,稳定地输出波长扫描光是重要的。
3、鉴于上述情况,本发明的目的在于提供一种能够稳定地输出波长扫描光的光源装置。
4、用于解决技术问题的手段
5、为了实现上述目的,本发明的一个方式的光源装置是产生波长扫描光的光源装置,具备脉冲光源、脉冲扩展器以及送风装置。
6、所述脉冲光源生成包含连续光谱的脉冲光。
7、所述脉冲扩展器构成为使所述脉冲光在时间轴上伸长而生成所述波长扫描光。
8、所述送风装置向所述脉冲扩展器供给空气。
9、在该光源装置中,通过送风装置向脉冲扩展器供给空气。由此,能够抑制脉冲扩展器的温度变化,能够稳定地输出波长扫描光。
10、也可以是,所述光源装置还具备壳体部,该壳体部具有供所述空气流入的流入口和供所述空气流出的流出口,在内部空间收容所述脉冲扩展器。在该情况下,所述送风装置也可以经由所述流入口向所述内部空间供给所述空气。
11、所述壳体部也可以在所述内部空间收容所述脉冲光源。
12、也可以是,所述脉冲扩展器相对于从所述流入口流入的所述空气的流路配置于比所述脉冲光源靠上游的位置。
13、所述壳体部的内部空间可以具有由多个层级构成的多层构造。在该情况下,也可以是,所述脉冲光源和所述脉冲扩展器分别配置于所述多个层级中的任一层级。
14、另外,也可以是,所述送风装置向配置有所述脉冲扩展器的层级供给所述空气。
15、也可以是,所述脉冲光源和所述脉冲扩展器分别配置于所述多个层级中的不同层级。
16、也可以是,所述多个层级中的配置有所述脉冲光源的层级与配置有所述脉冲扩展器的层级在空间上连续。在该情况下,也可以是,所述送风装置向配置有所述脉冲扩展器的层级或配置有所述脉冲光源的层级供给所述空气。
17、所述多层构造也可以是所述多个层级沿着所述光源装置的高度方向层叠的构造。
18、所述流入口在所述光源装置的高度方向上构成于比所述流出口高的位置。
19、所述壳体部也可以具有构成所述多个层级中的位于最高位置的最上层的顶棚的最上表面。在该情况下,所述流入口也可以构成于所述最上表面。另外,也可以是,所述送风装置经由所述流入口向所述高度方向的下方供给所述空气。
20、所述送风装置也可以构成于所述最上表面。
21、所述脉冲扩展器也可以配置于所述最上层。在该情况下,所述脉冲光源也可以配置于所述最上层的下一层级。另外,也可以是,所述最上层与所述最上层的下一层级在空间上连续。
22、所述光源装置还可以具备产生调节了温度的控制空气的空调机。在该情况下,也可以是,所述送风装置向所述脉冲扩展器供给所述控制空气。
23、所述壳体部的内部空间可以具有由多个层级构成的多层结构。在该情况下,也可以是,所述脉冲光源、所述脉冲扩展器以及所述空调机分别配置于所述多个层级中的不同的层级。
24、所述多层构造也可以是所述多个层级沿着所述光源装置的高度方向层叠的构造。在该情况下,也可以是,所述空调机在所述光源装置的高度方向上配置于比所述脉冲光源和所述脉冲扩展器低的层级。
25、所述空调机也可以具有设置于所述流入口的附近的温度传感器。
26、所述温度传感器配置于比所述脉冲光源更接近所述脉冲扩展器的位置。
27、所述壳体部的内部空间也可以构成为隔热空间。
28、所述送风装置也可以将从所述流出口流出的空气与所述控制空气的混合空气向所述脉冲扩展器供给。
29、所述送风装置的风量可以大于所述空调机的风量。
30、也可以是,从所述脉冲光源排出的空气不经由配置有所述脉冲扩展器的层级而被排出到所述壳体部的外部。
31、所述送风装置也可以是风扇过滤器单元。
32、所述脉冲扩展器也可以具有:阵列波导衍射光栅,将从所述脉冲光源射出的所述脉冲光根据波长在空间上分割为多个光束;以及多个光纤,与所述多个光束对应,光路长度不同。
33、另外,将以上的构成要素任意组合而成的方案、将构成要素或表现在方法、装置、系统等之间相互置换而成的方案作为本发明或本公开的方案也是有效的。进而,该项目(用于解决课题的手段)的记载并没有对本发明的不可或缺的所有特征进行说明,因此,所记载的这些特征的子组合也可以是本发明。
34、发明效果
35、如上所述,根据本发明,能够稳定地输出波长扫描光。另外,这里描述的效果不一定是限制性的,可以是本公开中记载的任何效果。
1.一种光源装置,产生波长扫描光,其具备:
2.根据权利要求1所述的光源装置,其中,
3.根据权利要求2所述的光源装置,其中,
4.根据权利要求3所述的光源装置,其中,
5.根据权利要求3所述的光源装置,其特征在于,
6.根据权利要求5所述的光源装置,其特征在于,
7.根据权利要求6所述的光源装置,其中,
8.根据权利要求5所述的光源装置,其中,
9.根据权利要求2所述的光源装置,其中,
10.根据权利要求2所述的光源装置,其中,
11.根据权利要求10所述的光源装置,其中,
12.根据权利要求10所述的光源装置,其中,
13.根据权利要求2所述的光源装置,其特征在于,
14.根据权利要求13所述的光源装置,其中,
15.根据权利要求14所述的光源装置,其中,
16.根据权利要求13所述的光源装置,其中,
17.根据权利要求16所述的光源装置,其中,
18.根据权利要求2所述的光源装置,其中,
19.根据权利要求13所述的光源装置,其中,
20.根据权利要求19所述的光源装置,其中,
21.根据权利要求5所述的光源装置,其中,
22.根据权利要求1所述的光源装置,其中,
23.根据权利要求1所述的光源装置,其中,