专利名称：微位移传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种用于脉搏和血压测量、机械震动和微小长度变化监测的磁芯电感式微位移传感器。属长度计量技术领域。
用简单电磁元件构成的微位移传感器种类很多，有应变电阻式、压电式、电容式、动圈磁感应式、涡流衰减式等，其特点和适用范围各不相同。IEEETRANSACTIONSONMAGNETICS，VOL.MAG－20，NO.5，P942－947，1984和VOL.MAG－21，NO.5，P2071－2073，1985发表的一种磁芯电感式微位移传感器，其探头由一个永磁体和一对电感组成，采用高导磁率零磁致伸缩非晶态合金作磁芯。二个电感作为一个多谐振荡桥的两臂。当永磁体相对于电感线圈运动时，引起磁芯的磁导率发生不等值变化，导致桥路输出直流电压的变化，由此显示永磁体的位移量。
该文给出的微位移传感器，其探头的尺寸较大；永磁体与电感之间没有连接装置，测量时先把永磁体贴在被测物体上，再放置探头，因此不能保证永磁体与电感之间有较佳的相对位置，位移——电压转换率容易发生较大变化，不能保持稳定的灵敏度。
本实用新型针对上述情况作了改进，达到使探头微型化、整体化、位移——电压转换率稳定的目的。采取的措施如下电感线圈(2)的磁芯(3)采用软磁铁氧体材料，永磁体(1)一般为高磁能积的永磁材料，把它固定在弹性元件(4)上，两个电感线圈(2)连同其磁芯(3)的相对位置是固定的，而永磁体(1)与两个电感的距离不等并可作微小运动。由以上部件组成的探头以电缆与多谐振荡桥(8)的其余部分相连结，探头中的两个电感是桥路两臂的元件。
本实用新型微位移传感器比现有技术有下列优点与IEEEVOL.MAG－21，NO.5，1985的报导相比，位移——电压转换率增大8～10倍且稳定可靠，探头高度减小到五分之一以下，探头结构做到了微型化、整体化，磁芯材料更易获得。
以下结合
本实用新型的实施例图1是多谐振荡桥的电路原理图，图中(1)为永磁体，(8)为多谐振荡桥，其工作频率范围是0.1－10MHz。
图2是探头结构放大十倍的剖视图。两个铁氧体磁芯电感(2)并列定置于塑料框(5)内，固定于壳体(6)上；永磁体(1)可选用钐钴或钕铁硼块，它通过硬支架(7)与弹性元件(4)一端联结，弹性元件(4)另一端固定在壳体(6)上，此弹性元件可选用片状弹簧；永磁体(1)的位置在其中一个磁芯的轴线上，可沿此轴线作微小运动。用于脉搏、血压等测量时，在永磁体外面可加软膜作为起保护作用的软垫。
此例探头高度小于12mm，传感器的位移－－电压转换率稳定保持在200mv／mm以上。最小可感知的位移量小于1μm。
权利要求1.一种磁芯电感式微位移传感器，由多谐振荡桥(8)和永磁体(1)构成，多谐振荡桥(8)两臂两个电感线圈(2)保持固定的相对位置，永磁体(1)与两个电感线圈的距离不同，并可作相对运动，其特征在于多谐振荡桥(8)两臂两个电感线圈(2)的磁芯(3)采用软磁铁氧体材料，永磁体(1)经由弹性元件(4)固定于壳体(6)上。
专利摘要本实用新型是一种磁芯电感式微位移传感器，用于脉搏和血压测量、机械震动和微小长度变化监测。传感器的主要部件是一个微型探头和一个多谐振荡桥。探头中包含一个固定在弹性元件上的永磁体，两个以软磁铁氧体为磁芯的电感线圈。探头尺寸微小，使用方便，测定中能保持稳定的高灵敏度。
文档编号G01B7/02GK2043341SQ8822121
公开日1989年8月23日 申请日期1988年12月15日 优先权日1988年12月15日
发明者陈慧馀, 李志超 申请人:中国科学技术大学