专利名称：自动显示的激光刀口仪的制作方法
技术领域：
本实用新型是自动显示的激光刀口仪。适用于光学元件和光学系统的像差(如球差、彗差和像散等)检测、图形和数据记录、处理、打印和存盘。特别适用于大型空间望远镜、天文望远镜高精度的抛光面型的检测。
已有的技术，如天津光学精密仪器厂生产的WS－4型刀口仪，含有白炽灯光源，刀头主体和纵向、横向和高度调节测微鼓轮。刀头主体上含有光栏片、刀片等元件。这种刀口仪也能测量光学元件和光学系统的像差，也能高精度地检测大型球面镜的波面误差。主要缺点是1.用人眼观察反射阴影图，受主观因素影响很大；2.用白炽灯光源照明，检测含有透镜的光学系统必须用滤光片滤光得到单色光，再进行检测，否则有色差影响检测；3.没有客观记录的测量数据和图形，不适合现代科学管理的要求；4.用白炽灯作光源发热严重，不能持续使用时间太长，且灯泡易损坏，影响测试。
本实用新型的目的为了克服上述已有技术的缺点，采用单色的长寿命的光源，消除色差和测量者主观因素的影响，能自动显示和记录测量的客观结果，可实现定量的测量，使用方便。
为便于描述本新型的结构，先进行附图的图面说明。
图1为本新型的自动显示激光刀口仪的结构示意图。
本实用新型的激光刀口仪是由反射镜1、刀头主体2、聚光镜3、作为单色光源的激光器4、刀口仪调整支架5、激光器电源6、探测器7和自动显示记录系统8所构成。如图1所示。
上述所说的作为单色光的光源激光器4，最好采用发射可见光束的激光器，如可见光半导体激光器，光束可见、调整方便、体积又小。又如He－Ne激光器也可以。所说的探测器7最好采用列阵式探测器，如硅相机列阵探测器。所说的自动显示和记录系统8是微机和打印机、或者是计算机和打印机，或者是示波器和照相机。
本实用新型的优点是(1)直接用单色光激光器作光源，与已有技术相比，既消去了用滤光片的麻烦，又消除了色差的影响，而且体积小，消除了白炽灯发热严重、寿命短的缺点。
(2)由探测器接收到阴影图，通过自动显示和记录系统，可以记录和显示测量的客观结果，消除了用测量者观察结果的主观因素的影响。
(3)使用本新型的激光刀口仪，可以实现定量的测量，同时操作方便、可靠，获得数据精度高，可以永久保留。
实施例1.
激光刀口仪的整体结构如图1所示。激光器4采用AlGaInP／GaInPDH型可见光半导体激光器，激光波长为670nm，输出连续波功率大于3mv。探测器7选用硅相机列阵，美国Spiricon公司生产的CID2250型，面积为7.5mm×7.68mm，垂直方向有500个单元，水平方向有512个单元，总共有256000个探测单元，每个单元的尺寸为15μm×15μm，灵敏度18～20mW／cm2。自动显示和记录系统8采用AST386／33型微机和普通打印机。
实施例2.
激光刀口仪的具体结构如图1所示。单色光源的激光器4选用He－Ne激光器，激光波长为632nm，输出功率大于1mW，其他元器件如实拖例1.。
使用本实用新型的实拖例1或2其测量结果的精度可达λ／20～λ／100。
权利要求1.一种自动显示的激光刀口仪，其特征在于激光刀口仪是由反射镜(1)、刀头主体(2)、聚光镜(3)、作为单色光源的激光器(4)、刀口仪调整支架(5)、激光器电源(6)、探测器(7)和自动显示记录系统(8)所构成。
2.根据权利要求1所述的一种自动显示的激光刀口仪，其特征在于作为单色光源的激光器(4)是发射可见光束的激光器，是可见光半导体激光器，或者是He－Ne激光器。
3.根据权利要求1所述的一种自动显示的激光刀口仪，其特征在于探测器(7)最好是列阵式探测器，如硅相机列阵探测器。
4.根据权利要求1所述的一种自动显示和激光刀口仪，其特征在于自动显示记录系统(8)是微机和打印机，或者是计算机和打印机，或者是示波器和照相机。
专利摘要本实用新型是一种自动显示的激光刀口仪，适用于光学元件和光学系统的像差(包括球差、彗差和像散等)检测，特别适用大型空间望远镜和天文望远镜高精度的抛光面型的检测；它由反射镜、刀头主体、聚光镜、激光器和激光器电源、刀口仪调整支架、探测器和自动显示记录系统所构成。它克服了色差和测量者主观因素的影响，可以实现定量的测量，使用方便、可靠，可获得高精度的测量结果。
文档编号G01M11/02GK2147525SQ9322515
公开日1993年11月24日 申请日期1993年2月11日 优先权日1993年2月11日
发明者傅恩生, 伊景荣 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所