大功率激光偏振态测量仪的制作方法

文档序号:6133503阅读:134来源:国知局
专利名称:大功率激光偏振态测量仪的制作方法
技术领域
本发明涉及大功率激光偏振态测量领域。
大功率激光偏振状态对材料加工的效率与质量具有重大影响,材料对激光束的吸收比不仅由材料本身的光学性质决定,还与激光束的入射角度和偏振状态有直接关系。
激光束的偏振状态特性是用偏振度、消光比二个量来描述,公式表示为ρ=(Imax-Imin)/(Imax+Imin)式中ρ为偏振度,I为辐射强度。
由此可见偏振度是一个相对量,用平面型功率能量计即可测量。
常用的激光偏振态测量系统是用起偏器、检偏器来进行的。但对加工用激光束(大功率激光束)测量时,因为偏振片具有很高的能量吸收特性,所以承受不了高功率密度激光束,因此对大功率激光束偏振态的测量是极需解决的问题。
本发明的目的是提供一种结构简单,使用方便的大功率激光束偏振态的测量仪器。
本发明的技术方案是将激光束照射到特定的反射面上进行反射,并用功率(或能量)计对反射光进行测量。上述反射面是由金属材料制成,表面镀有特殊反射物质,金属材料内部有水冷装置,用水冷却,将吸收热能带走。将已知反射率为R的反射面在光轴方向做10°-80°(与光轴的夹角)的位置变化,测出不同角度时反射后的功率值,圆偏振或任意偏振时反射功率值为恒值,光束总功率为P总=P反/R,则反射功率Pmax和Pmin可测得,这就检测了与轴向不同夹角时定性的偏振变化。在选定与光轴不同夹角定位后,再将反射面围绕光轴作360°旋转,用功率计或能量计跟随反射光束测其功率或能量值。当反射面旋转到与偏振方向垂直时反射功率最大,这样就可得到不同方位定性的偏振状态。再用起偏器、检偏器低功率光束下对本装置的偏振敏感性进行标定,用它来修正前面的偏振度值,就可用本发明装置对高功率激光束进行偏振态的直接定量检测。
本发明附

图1为偏振态测量仪操作示意图。
图中1为反射面,2为激光光轴,3为功率(或能量)计,4为可做360°旋转的支撑杆。
本发明的实施例结合附图作如下说明反射面由铝材或铜材制成,内部有水冷却通路,表面镀有特殊反射比R的材料,表面光洁度为13制成椭圆面,该反射面1在光轴Z平面内可作10°-80°的定位转动,测定不同位置的反射功率,将反射面固定在所需测定位置上(择度定位),再围绕光轴Z作360°的转动,定性测出光束在该夹角下(测定位置)360°不同方位的偏振状态。再在低功率激光束下用起偏器、检偏器对本发明仪器作偏振敏感度(消光比)进行标定,得出修正系数,修正后就可用它对高功率激光束作定量检测。
本发明具有下列特点1)能对大功率激光束作偏振状态的直接定性定量测试;2)结构简单;3)使用方便。
权利要求
1.大功率激光偏振态测量仪,其特征在于具有用固定反射比的反射面作为检偏器,和可追踪反射束功率的功率计。
2.根据权利要求1所述的大功率激光偏振态测量仪,其特征在于反射片在激光束光轴面作10°-80°择位固定,并可围绕光轴作360°旋转,测量反射后的功率(能量)值。
3.根据权利要求1或2所述的大功率激光偏振态测量仪,其特征在于在低功率激光束下,用起偏器,检偏器进行偏振敏感性标定。
全文摘要
本发明涉及激光偏振态测量领域。目前的测量仪器因为偏振片的能量吸收特性高,经不起大功率激光束的作用,本发明提供了一种结构简单,使用方便,能对大功率激光束进行测量的仪器,采用金属制反射片替代检偏器,作近于全方位线偏振状况的偏振态测量。
文档编号G01J4/00GK1165291SQ9710416
公开日1997年11月19日 申请日期1997年4月29日 优先权日1997年4月29日
发明者王慰平 申请人:王慰平
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