专利名称：用于真空管的排气分析器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于真空管的排气分析器，特别是一种对从真空管排出的排气进行分析的设备，这种设备允许分析工作在诸如阴极射线管、电灯泡和真空荧光显示器等那样的真空管的制造工序中的排气工序中的同样条件下进行。
滞留在真空管内的气体曾经通过使用一个磁性锤将真空管的一个制成品的一部分破坏而进行分析。然而，由于排气的分析是限于制成品，因此根据一种材料的变性和特性所得数据会显示出不同。这样，根据一个单独的真空管制造过程的排气分析是不可能获得的。
根据另一种常规的技术，气体分析是在真空管密封步骤之前在多个步骤中进行的。然而，在这种情况下，在低真空区域进行气体分析是不可能的而且作为一个在生产区域内的排气炉很难显示出真空特性。因此，气体的热特性根据炉中的大气压和温度是不能进行分析的。
为解决上述问题，本发明的目的是提供一种用于真空管的排气分析器，这种分析器能够在如在与真空管制造工序中的排气工序中同样条件下进行气体分析。
本发明另一个目的是提供一种用于真空管的排气分析器，这种分析器能够在与在一个排气炉中同样的温度和直空状态下进行气体分析。
因此，为了达到上述目的，所提供的用于真空管的排气分析器包括一个简化炉，真空管即装在其中；一个连接在真空管排气出口上的模拟气室；一个连接在模拟气室上以备气体从中通过的第一主气室；一个通过一个第一锐孔连接在第一主气室上以备气体从中通过的第二主气室；一个通过一个第二锐孔连接在第二主气室上以备气体从中通过的第三主气室；至少一个连接在至少一个气室上用以抽空第一、第二和第三主气室中每一个主气室内部的涡轮分子泵；和一个连接在第三主气室上用以分析排气的遗留气体分析器。
本发明的上述目的和优点通过结合附图对其一个优选实施例详细描述将更加明显清晰。
图1是本发明的用于真空管的排气分析器的前视图。
参看图1，根据本发明的用于真空管的排气分析器包括一个简化炉1，该简化炉装在一个压缩头11上用以烘焙和激活一个真空管100内部的气体分子，一个泵吸系统用以抽空真空管100内的气体，和一个遗留气体分析器(RGA)10用以分析排气。
连接在简化炉1上的泵吸系统包括一个作为压力调节室的模拟气室21和第一、第二和第三主气室22，23和24。模拟气室21连接在真空管100的一个排气出口100C上。
一个第一闸阀25装在模拟气室21和第一主气室22之间，而一个第二闸阀26装在第二主气室23和第三主气室24之间。第二闸阀26，即一个泵吸系统保护装置是在气体泄漏或爆炸的情况下用于自动地阻塞气体流。还有，为了维持各个气室中的不同压力，一个第一锐孔27被装在第一和第二气室22和23之间而一个第二锐孔28被装在第二和第三气室23和24之间。
一个用以输入或排出气体的阀21a装在模拟气室21上，而分别显示第一和第二主气室22和23内压力的压力表22a和23a各装在相应的气室上。另外，真空泵29和30例如涡轮分子泵(TMP)分别装在第二和第三气室23和24上以便减小各个气室22，23和24内的压力。
下面将参照图1对具有本发明这样结构的用于真空管的排气分析器的操作予以描述。
一块顶板100a和一个漏斗100b被放在简化炉1内以密封真空管100，于是遗留气体分析器10就被开动。由于遗留气体分析器10应当在比较低的压力下操作以避免对其造成损伤，连接到遗留气体分析器10上的第三主气室24内的压力需通过在第二闸阀26关闭的情况下操动涡轮分子泵30予以减小。下一步，通过检测遗留在第三主气室24内的气体而使遗留气体分析器10启动和进行操作。
在遗留气体分析器10的启动工作完成之后，顶板100a和漏斗100b使用一个加热器(未显示)予以密封。在此时，在顶板100a和漏斗100b的密封过程中所产生的气体通过预先打开的阀21a经由模拟气室21被排出。
在足够数量的气体通过阀21a排出后，直空管100内的气体分子被简化炉1的操作所激活以便排出真空管100内的气体。于是，涡轮分子泵29在阀21a关闭和第一闸阀25打开之后开始操作。因此，真空管100内的气体从其中经由模拟气室21，第一主气室22和第二主气室23排出。这里，第一主气室22的压力P1由于第一锐孔27的原因较第二主气室23的压力P2要低很多。第一和第二主气室22和23的压力P1和P2分别由压力表22a和23a所测出。
下一步，当第二主气室23的压力达到一个基准值，例如10-5托或更少一些时，真空管100内的气体通过打开第二闸阀26和操动涡轮分子泵30而排出。由于第二锐孔28是装在第二主气室23和第三主气室24之间，压力P3就较压力P2低很多。因此，就可以就地对到达遗留气体分析器10的排气进行分析。
本发明的一个特征在于可以对与真空管100的密封相应的排气进行分析。也就是说，气体可以在真空管100的密封过程中通过操作涡轮分子泵29和30和遗留气体分析器10而予以分析。
另外，与温度的变化相应的真空管100的排气可以通过适当地调整简化炉1的温度而予以分析。
根据目前这个用于真空管的排气分析器，可以对与各个气室22、23和24内的压力变化相应的真空管100内的排气进行分析。也就是说，由于模拟室21的压力可以通过将如N2的气体经由阀21a输入其内而改变，因此气室22、23和24内的压力也可以调整。这样，与不同压力相应的遗留气体的分析也就可能了。
此外，本发明的用于真空管的排气分析器可以通过使用一个所谓的泵速罩对流动的排气量予以测量，该泵速罩包括第一主气室22，第二主气室23和在二者之间的第一锐孔27。当第一主气室22和第二主气室23的压力分别为P1和P2时，每单位时间通过第一锐孔27的流量Q由下式表示Q＝C(P1-P2)式中，C代表锐孔系数。
此外，排气可以根据排气时间通过适当地调整涡轮分子泵29和30的泵速予以分析。
如上所述，本发明的用于真空管的排气分析器可以在与制造真空管工序中相同的条件下分析排气。还有，排气的特征可以通过在真空管排气过程中调节温度而得知，另外，与压力变化相应的排气的分析工作可以通过调节气室内的压力而完成。因此，本发明能够根据制造方法和温度，压力和时间定出最佳的排气条件。
应当注意到本发明并不局限于上述的优选实施例，显然，熟悉本专业的人员都能够在附属的权利要求所限定的本发明的精神和范围内作出各种变异和变更。
权利要求
1.一种用于真空管的排气分析器，它包括一个简化炉其中装有一个真空管；一个连接在所述真空管的一个排气出口上的模拟气室；一个连接在所述模拟气室上允许气体从中通过的第一主气室；一个通过一个第一锐孔连接在所述第一主气室上以允许气体从中通过的第二主气室；一个通过一个第二锐孔连接在所述第二主气室上以允许气体从中通过的第三主气室；至少一个连接在所述气室中至少一个上的涡轮分子泵用以抽空每个所述第一、第二和第三主气室；和一个连接在所述第三主气室上的遗留气体分析器用以分析排气。
2.如权利要求1中所述的用于真空管的排气分析器，其特征在于其中一个用于输入或排出气体的阀装在所述模拟气室上。
3.如权利要求1中所述的用于真空管的排气分析器，其特征在于其中一个用于堵塞气体流动的第一闸阀装在所述模拟气室和所述第一主气室之间。
4.如权利要求2中所述的用于真空管的排气分析器，其特征在于其中一个在气体泄漏或爆炸时用以堵塞气流以避免损伤所述遗留气体分析器的第二闸阀装在所述第二主气室和所述第三主气室之间。
5.如权利要求1中所述的用于真空管的排气分析器，其特征在于其中用于显示每个所述气室内压力的压力表分别装在相应的所述气室上。
全文摘要
一种用于真空管的排气分析器，包括一个其中装有一真空管的简化炉；一个接在真空管的一排气出口上的模拟气室；一个接在该气室上允许气体通过的第一主气室；一个通过一第一锐孔接在第一主气室上允许气体通过的第二主气室；一个通过一第二锐孔接在第二主气室上允许气体通过的第三主气室；至少一个接在气室中至少一个上的涡轮分子泵用以抽空第一、第二和第三主气室；和一个接在第三主气室上用以分析排气的遗留气体分析器。
文档编号G01N33/00GK1163400SQ9710458
公开日1997年10月29日 申请日期1997年3月28日 优先权日1997年3月28日
发明者文成周, 金都永 申请人:三星电管株式会社