干涉式光学检测系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种干涉式光学检测系统，属于红外光学检测领域。
【背景技术】
[0002]早在一个世纪之前，人们就已经对红外进行探测，热辐射探测器因用途广泛而备受关注。红外探测技术在军事上起到了很重要的作用，一切军事目标，如空中的飞机、导弹，海洋中的军舰，陆地上部队和装甲车辆，都发射出大量的红外辐射。利用红外探测技术可以侦察、跟踪和监视这些目标。上世纪50年代，红外寻地对空导弹投入实战。在70年代开始使用红外预警卫星用以获取军事情报。随后，热成像夜视装置开始大量出现在军事设备上。在军事上，红外成像、红外制导、红外预警、红外侦察等技术发挥着越来越重要的角色。在军事上的迫切需求同时促进了能对目标物体进行成像的红外系统的发展。随着技术的发展和红外探测器价格的不断降低，红外探测技术在民用领域也得到了广泛的应用。如热源探测、医疗检测、海上搜救、汽车监控、电力监测等。
[0003]目前，光学读出方式的研宄仅有十几年。研宄展示了将双材料微悬臂梁用作红外探测器的可行性，但是目前的方法依然存在一系列的问题，比如系统结构过于复杂、检测精度较低、稳定性和鲁棒性较差等等。
【实用新型内容】
[0004]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0005]本实用新型提供了一种干涉式光学检测系统，主要包括光源、第一光阑、第一透镜、分光镜、第二透镜、第二光阑、电荷親合器件和反射镜，所述第一透镜设置在光源的光线出射方向，分光镜设置在第一透镜后方，第二透镜的法线方向与第一透镜的法线方向相互垂直，所述电荷耦合器件设置在第二透镜的后侧，所述反射镜设置在分光镜的后侧。
[0006]优选的，上述第一光阑设置在光源和第一透镜之间。
[0007]优选的，上述第二光阑设置在第二透镜和电荷耦合器件之间。
[0008]优选的，上述系统还包括检测器，设置在分光镜与第二透镜相对的另一侧。
[0009]优选的，上述光源发出的光线经过第一透镜后由分光镜分成两部分，一部分到达反射镜，另一部分到达检测器。
[0010]优选的，经过上述反射镜和检测器反射回来的光干涉后通过第二透镜后到达电荷親合器件。
[0011]本实用新型提供的干涉式光学检测系统通过设置结构来对光线进行干涉，将被检测面处放置焦平面阵列，来实现红外图像的探测，实现了微悬臂梁的旋转大小与干涉条纹的分布有关，从而提尚了精度。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型结构示意图。
[0013]附图标记:1_光源；2_第一光阑；3_第一透镜；4_分光镜；5_第二透镜；6_第二光阑；7_电荷耦合器件；8_反射镜；9_检测器。
【具体实施方式】
[0014]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0015]本实用新型提供的干涉式光学检测系统，主要包括光源1、第一光阑2、第一透镜3、分光镜4、第二透镜5、第二光阑6、电荷親合器件7和反射镜8，所述第一透镜3设置在光源I的光线出射方向，分光镜4设置在第一透镜3后方，第二透镜5的法线方向与第一透镜3的法线方向相互垂直，所述电荷耦合器件7设置在第二透镜5的后侧，所述反射镜8设置在分光镜4的后侧。
[0016]第一光阑2设置在光源I和第一透镜3之间。第二光阑6设置在第二透镜5和电荷耦合器件7之间。系统还包括检测器9，设置在分光镜4与第二透镜5相对的另一侧。光源I发出的光线经过第一透镜3后由分光镜4分成两部分，一部分到达反射镜8，另一部分到达检测器9。经过反射镜8和检测器9反射回来的光干涉后通过第二透镜5后到达电荷親合器件7。
[0017]其工作原理是:微悬臂梁在吸收面吸收红外辐射时，会产生形变。光源I发出的光经第一光阑2和第一透镜3的作用变成平行光射出，照射在分光镜4上，分光镜4将这束光分为两部分，一部分射向反射镜8，另一部分垂直向下射向被检测面的检测器9。反射镜8和检测器9反射回来的光再次相遇时发生干涉，并且通过第二透镜5成像在电荷耦合器件7上。在这个系统中，还可以将被检测器9处放置焦平面阵列，来实现红外图像的探测。其微悬臂梁的旋转大小与干涉条纹的分布有关。
[0018]本实用新型提供的干涉式光学检测系统通过设置结构来对光线进行干涉，将被检测面处放置焦平面阵列，来实现红外图像的探测，实现了微悬臂梁的旋转大小与干涉条纹的分布有关，从而提尚了精度。
[0019]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种干涉式光学检测系统，其特征在于:所述干涉式光学检测系统主要包括光源(I)、第一光阑(2)、第一透镜(3)、分光镜(4)、第二透镜(5)、第二光阑(6)、电荷親合器件(7)和反射镜(8)，所述第一透镜(3)设置在光源(I)的光线出射方向，分光镜(4)设置在第一透镜(3)后方，第二透镜(5)的法线方向与第一透镜(3)的法线方向相互垂直，所述电荷耦合器件(7)设置在第二透镜(5)的后侧，所述反射镜(8)设置在分光镜(4)的后侧。2.根据权利要求1所述的干涉式光学检测系统，其特征在于:所述第一光阑(2)设置在光源⑴和第一透镜⑶之间。3.根据权利要求2所述的干涉式光学检测系统，其特征在于:所述第二光阑(6)设置在第二透镜(5)和电荷耦合器件(7)之间。4.根据权利要求1所述的干涉式光学检测系统，其特征在于:所述系统还包括检测器(9)，设置在分光镜(4)与第二透镜(5)相对的另一侧。5.根据权利要求1-4之一所述的干涉式光学检测系统，其特征在于:所述光源(I)发出的光线经过第一透镜(3)后由分光镜(4)分成两部分，一部分到达反射镜(8)，另一部分到达检测器(9)。6.根据权利要求5所述的干涉式光学检测系统，其特征在于:经过所述反射镜(8)和检测器(9)反射回来的光干涉后通过第二透镜(5)后到达电荷耦合器件(7)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种干涉式光学检测系统，主要包括光源(1)、第一光阑(2)、第一透镜(3)、分光镜(4)、第二透镜(5)、第二光阑(6)、电荷耦合器件(7)和反射镜(8)，所述第一透镜(3)设置在光源(1)的光线出射方向，分光镜(4)设置在第一透镜(3)后方，第二透镜(5)的法线方向与第一透镜(3)的法线方向相互垂直，所述电荷耦合器件(7)设置在第二透镜(5)的后侧，所述反射镜(8)设置在分光镜(4)的后侧。本实用新型提供的干涉式光学检测系统通过设置结构来对光线进行干涉，将被检测面处放置焦平面阵列，来实现红外图像的探测，实现了微悬臂梁的旋转大小与干涉条纹的分布有关，从而提高了精度。
【IPC分类】G01J5/10, G01J5/08
【公开号】CN204679170
【申请号】CN201520204083
【发明人】陈帅
【申请人】陈帅
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2015年3月30日