硅末圈游丝平衡弹簧的制作方法

文档序号:6254463阅读:206来源:国知局
硅末圈游丝平衡弹簧的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种产生具有用于调节机械钟表的末圈游丝部分的一体式形成的硅平衡弹簧的方法,所述方法包括以下步骤:提供硅平衡弹簧的步骤,所述硅平衡弹簧具有主体部分,以及用于形成为末圈游丝部分的外部部分,其中所述外部部分从所述主体部分的最外匝径向向外延伸,并且其中所述主体部分以及所述外部部分由硅基材料一体地形成并且以共面配置形成;在相对于且离开所述主体部分的平面的方向上以及在朝向经过所述主体部分且朝向所述主体部分的所述平面的方向上移动所述外部部分;以及向所述平衡弹簧提供应力松弛过程以便减轻在所述平衡弹簧内所诱发的内部应力;其中在所述外部部分移动到所述主体部分的所述平面中之后,所述外部部分相对于所述主体部分以末圈游丝配置定位。
【专利说明】硅末圈游丝平衡弹簧

【技术领域】
[0001]本发明涉及硅基末圈游丝平衡弹簧。确切地说,本发明涉及硅末圈游丝弹簧以及制造此类弹簧的方法。

【背景技术】
[0002]钟表的调节组合件通常包括摆轮以及平衡弹簧,所述摆轮是惯性飞轮,所述平衡弹簧是谐振器。这两个组件确定钟表的工作质量以及精度。平衡弹簧和摆轮系统的谐振频率控制钟表运动的工作以及调节。
[0003]将硅用作制造平衡弹簧的材料在钟表簧领域中是已知的。由于IC产业发展所取得的进展,此类制造工艺的超高制造精度提供了平衡弹簧的尺寸的高精度。此外,硅是非磁性材料,这提供了在钟表制造过程中的优点。
[0004]已知平面平衡弹簧的线圈在平衡弹簧正工作中时偏心地变形,这导致平衡弹簧的重心不对应于摆轮以及平衡弹簧的旋转中心。这改变了摆轮以及平衡弹簧的设置,并且导致不同步的运动。
[0005]尽管平衡弹簧的重心可以通过被转移而被任意返回到中心,但这并不解决此缺点。因为在平衡弹簧的工作期间,重心将移动,因此这将不再与初始重心重合。
[0006]在现有技术中已经提出不同的解决方案以减少上述缺点并且以便使得平衡弹簧线圈的变形更加同心。
[0007]此类现有技术的实例包括:
[0008](i)具有所谓的菲利普斯(Philips)曲线的宝玑(Breguet)末圈游丝平衡弹簧,其中将外曲线提升到在平衡弹簧上方的第二平面中,以及
[0009](ii)施特劳曼(Straumann)双平衡弹簧,其中布置了制造为匹配对的两个平衡弹簧,使得它们以彼此相反的方向偏置而振荡,以便消除或减少此类效果。
[0010]第一实例(i)针对修改初始平面平衡弹簧,使得它变成占据多个平面的平衡弹簧。宝巩(Breguet)已经利用娃基材料制造了宝?几(Breguet)末圈游丝平衡弹簧,由此所述平衡弹簧由两个或两个以上零件形成为经组装的末圈游丝弹簧。
[0011]第二实例(ii)由两个平衡弹簧构成,所述平衡弹簧被制造为匹配对。它们经布置以彼此相反的方向偏置而振荡,使得当它们振荡时,所述两个弹簧的重心在相反的对称路径上向外以及向内移动,以便使所述两个弹簧的累积重心保持朝向心轴的中心。然而因为在此振荡系统中存在两个平衡弹簧,所以这导致更多的能量消耗。


【发明内容】

[0012]本发明旨在提供平衡弹簧,所述平衡弹簧克服了如现有技术的那些平衡弹簧所显现的不足中的至少一些或使其最小化。
[0013]在第一方面中,本发明提供了一种产生具有用于调节机械钟表的末圈游丝部分的一体式形成的硅平衡弹簧的方法,所述方法包括以下步骤:
[0014](i)提供硅平衡弹簧,所述硅平衡弹簧具有主体部分,以及用于形成为末圈游丝部分的外部部分,其中外部部分从主体部分的最外匝径向向外延伸,并且其中所述主体部分以及所述外部部分由硅基材料一体地形成并且以共面配置形成;
[0015](ii)在相对于且离开所述主体部分的平面的方向上以及在朝向经过所述主体部分且朝向主体部分的平面的方向上移动所述外部部分;以及
[0016](iii)向平衡弹簧提供应力松弛过程以便减轻从步骤(ii)在平衡弹簧内所诱发的内部应力;
[0017]其中在所述外部部分移动到所述主体部分的平面中之后,外部部分相对于所述主体部分以末圈游丝配置定位。
[0018]所述步骤(ii)的移动可以在朝向经过所述主体部分且朝向所述主体部分的平面的方向上递增地发生。在步骤(ii)的递增步骤之间或期间,可以使步骤(iii)发生。
[0019]优选地,在发生步骤(ii)之前,至少外部部分的氧化步骤会发生,以去除应力集中的缺陷或使其最小化。优选地,氧化步骤包括暴露于氟化氢溶液中。
[0020]所述方法可以包括通过至少一个180°匝扭曲外部部分的步骤,其中所述至少一个180°匝围绕所述外部部分的纵向轴线,并且其中所述外部部分在与所述主体部分的外部匝邻近的区域中扭曲。
[0021]优选地应力松弛过程在超过500°C的温度下、更加优选地在超过700°C的温度下、并且更加优选地在超过1100°C的温度下进行。
[0022]优选地应力松弛过程进行至少10小时、更加优选地至少20小时、并且更加优选地至少30小时。
[0023]优选地平衡弹簧通过微制造技术、更加优选地通过深反应离子蚀刻(DRIE)技术来形成。
[0024]在第二方面中,本发明提供了一种当根据第一方面形成具有末圈游丝部分的一体式形成的硅平衡弹簧。
[0025]优选地,平衡弹簧经大小设定以适用于钟表上。
[0026]在第三方面中,本发明提供了一种硅基平衡弹簧,其包含:
[0027]主体部分,所述主体部分具有用于提供恢复扭矩以用于调节机械钟表的弹簧布置,以及
[0028]末圈游丝部分,其中所述末圈游丝部分在相对于且离开所述主体部分的平面的方向上以及在朝向经过所述主体部分且朝向主体部分的平面的方向上延伸;
[0029]其中所述主体部分以及所述末圈游丝部分一体式形成。
[0030]优选地平衡弹簧通过微制造技术、并且更加优选地通过深反应离子蚀刻(DRIE)技术来形成。

【专利附图】

【附图说明】
[0031]下文将通过实例并且参考附图来进一步详细说明本发明的优选实施例,在所述附图中:
[0032]图1a以及图1b描绘了在末圈游丝布置形成之前的根据本发明的平衡弹簧的一个实施例的透视图和俯视图;
[0033]图2a以及图2b描绘了具有部分配置的末圈游丝布置的图1a和图1b的平衡弹簧的实施例的透视图和俯视图;
[0034]图3a以及图3b描绘了具有进一步部分配置的末圈游丝布置的图2a和图2b的平衡弹簧的实施例的透视图和俯视图;
[0035]图4a以及图4b描绘了具有完整配置的末圈游丝布置的图1a至图3b的平衡弹簧的实施例的透视图和俯视图;
[0036]图5,图6,图7,图8以及图9描绘了图1a到4b的平衡弹簧的形成;以及
[0037]图10描绘了根据本发明的平衡弹簧的线圈匝的横截面视图的SEM图。
[0038]图1la描绘了在末圈游丝布置形成之前的根据本发明的平衡弹簧的进一步的实施例的俯视图;
[0039]图1lb描绘了具有部分配置的末圈游丝布置的图1la的平衡弹簧的实施例的透视图;
[0040]图1lc以及图1ld描绘了具有完整配置的末圈游丝布置的图1la至图1lb的平衡弹黃的实施例的俯视图和侧视图;
[0041]图12a描绘了在末圈游丝布置形成之前的根据本发明的平衡弹簧的另一实施例的俯视图;
[0042]图12b描绘了具有部分配置的末圈游丝布置的图12a的平衡弹簧的实施例的透视图;
[0043]图12c以及图12d描绘了具有完整配置的末圈游丝布置的图12a至图12b的平衡弹簧的实施例的俯视图和侧视图。

【具体实施方式】
[0044]本发明提供了平面的硅平衡弹簧,所述平衡弹簧具有主体以及一体地形成的末圈游丝部分,以便改进当在钟表中使用时此弹簧的同心度以及等时性。
[0045]平衡弹簧包括其实现所述在同心度以及等时性上的改进的末圈游丝部分,所述末圈游丝部分与平衡弹簧的主体一体地形成,并且以离开平面的末圈游丝布置以及通过用于其形成的制造工艺从平衡弹簧的主体的外围延伸。
[0046]本发明提供了一种制造末圈游丝平衡弹簧的方法,由此所述平衡弹簧由硅基材料形成,其提供了一体式形成的硅末圈游丝平衡弹簧,而不需要如先前提到的由宝玑(Breguet)制造的硅末圈游丝平衡弹簧所需的任何连接单元,US7950847。
[0047]根据本发明,提供由硅基材料形成的平衡弹簧,由此所述平衡弹簧包括主体部分以及末圈游丝部分。
[0048]平衡弹簧初始形成并且配备有采用共面形式的各部分,并且通过包括光刻以及深反应离子蚀刻(DRIE)的微制造技术形成,由此主体部分、筒夹部分以及末圈游丝部分是共面的。
[0049]利用如下文所描述以及如参考附图所描述的根据本发明的技术以及工艺,所述末圈游丝部分经提供离开所述平面并且根据如用于增加平衡弹簧同心度的平衡弹簧的末圈游丝部分来提供,但不包含平衡弹簧的机械完整性并且不必将单独的末圈游丝部分邻接到主体部分上。
[0050]根据本发明,平衡弹簧的各部分的形状以及配置可以通过利用热技术来修改,而不会损害如在钟表中使用期间所需的平衡弹簧的必需的机械特性。
[0051]在本发明中,提供了一种用于生产具有末圈游丝部分以及自其产生的弹簧的一体式形成的硅平衡弹簧的方法,由此平衡弹簧初始形成,所述平衡弹簧具有主体部分以及外部部分,所述主体部分用于提供恢复扭矩以调节机械钟表的弹簧布置,所述外部部分用于形成末圈游丝部分,其中所述外部部分从主体部分的最外匝径向向外延伸。所述主体部分以及所述外部部分由硅基材料一体地形成并且以共面配置形成。
[0052]在相对于所述主体部分且离开所述主体部分的平面的方向上以及在朝向经过所述主体部分且朝向主体部分的平面的方向上移动外部部分。
[0053]向平衡弹簧提供应力松弛过程以便减轻在平衡弹簧内所诱发的内部应力,并且在所述外部部分移动到所述主体部分的平面中之后,所述外部部分相对于所述主体部分以末圈游丝配置定位。
[0054]本发明的实施例以及实例如下所述。
[0055]参考如图1a到图4b中描绘的实施例,如图1a及图1b中所示在末圈游丝部分以扭曲运动形成之前具有主体部分23及外部部分22的原有平衡弹簧2,并且其具有“C”形扭曲区域21。由此平衡弹簧2以初始平面配置提供,以及外部部分23和主体部分23 —体地由单一材料形成,并且是共面的。扭曲区域的半径Rl略小于第二最外部线圈的半径R2。此设计有助于最终的末圈游丝平衡弹簧的扭曲区域21遵循阿基米德螺线(从俯视图看)。
[0056]如图2a、图2b、图3a、图3b、图4a以及图4b中所示,描绘了平衡弹簧2的形状变化以形成末圈游丝部分,由此通过在相对于且离开所述主体部分的平面的方向上以及在朝向经过所述主体部分且朝向所述主体部分的所述平面的方向上移动所述外部部分而发生形状变化以形成末圈游丝部分,从而引起逐步扭曲外部部分22使之远离所述主体部分。
[0057]在外部部分22被朝向弹簧主体的平面移动之后,所描绘的原始平衡弹簧2形状转换成末圈游丝平衡弹簧,如图4a以及图4b中所示,外部部分22在相对于邻近弹簧的主体的最外匝以180°被扭曲由此形成末圈游丝部分。
[0058]根据本发明的平衡弹簧的其他几何形状的其他相关实施例讨论如下。
[0059]参考图5到图9,描绘了根据本发明可以操控图1a到4b的平衡弹簧的方式以提供了一个单一形成的末圈游丝平衡弹簧。
[0060]为了实现平衡弹簧2的移动以及扭曲过程,有必要利用固持器61、62来抓紧主体部分23以及外部部分22。在本实施例中,平衡弹簧2的外部部分22需要被翻转180°,并且此过程需要高定位精度。
[0061]为此实施例的设计,提供了用于维持位置精度所需的两个固持器,如图5到9中所示。第一固持器61用于固持除外部部分22包括作为“C”形扭曲区域21的外部部分之外的平衡弹簧2主体部分23的所有中心线圈,并且第二固持器62用于固持平衡弹簧2的外部部分22。
[0062]在本实施例中,固持器61、62都通过DRIE由硅形成,并且通过热氧化被氧化。用于固持平衡弹簧2主体部分23的中心线圈的第一固持器61是用几乎与平衡弹簧2的主体部分23的线圈相同的一系列沟槽制成。沟槽配备有略大于平衡弹簧线圈的线宽的宽度。当在扭曲区域21上施加扭矩时,这能帮助平衡弹簧主体部分23的中心线圈维持其原始形状。
[0063]用于固持外部部分22的第二固持器62同样配备有经大小设定以便容纳线圈外部部分的沟槽。在第二固持器62上应用与第一固持器61相同的处理。
[0064]在移动过程期间,除扭曲区域21之外的所有匝需要通过固持器来固定。如图6中所示,平衡弹簧2的主体部分23的中心线圈以及外部部分22分别地安装到第一固持器61以及第二固持器62中,根据本发明描述平衡弹簧随后被移动。
[0065]图6、7、8和9渐进地描绘了末圈游丝部分的形成的移动过程。在如图9中所示将平衡弹簧移动成末圈游丝形状之后,将所述平衡弹簧与固持器一起转移到退火炉中。
[0066]为了实现具有低内部应力的末圈游丝平衡弹簧,高温以及长持续时间退火是优选的,如果将样本放置在没有N2或Ar保护的炉子中,那么温度应该低于硅的氧化温度以避免使平衡弹簧粘附到固持器上,并且800°C的温度适用于此应用。在冷却之后,原始平衡弹簧2被提供为末圈游丝平衡弹簧。
[0067]对于不同的平衡弹簧尺寸以及大小,可能存在一些情况,其中平衡弹簧2的扭曲区域21不能承受较大的扭曲角度。在这些情况下,退火过程可在递增步骤来提供,其中在若干步骤中完成平衡弹簧的外部部分的移动。
[0068]如图6中所示在将平衡弹簧2定位到两个固持器61、62中之后,如图7中所示将平衡弹簧外部部分22扭曲60°,并且随后利用下文所论述的退火条件来退火。
[0069]在第一次退火之后,平衡弹簧2改变成经扭曲构造,如图2中所示。随后在经扭曲平衡弹簧2上施加第二次另一 60°的扭曲,如图7中所示,并且随后退火。
[0070]此退火过程产生进一步经扭曲的平衡弹簧2,如图2中所示。在先前的两次退火过程之后对经扭曲平衡弹簧2进行最终的剩余60°的扭曲,如图8中所示。
[0071]随后将平衡弹簧2以及固持器61、62转移到炉子中进行最终退火。在去除固持器61,62之后,硅平衡弹簧2永久地变换成末圈游丝平衡弹簧。
[0072]硅在室温下是脆性材料,然而在520°C到600°C之间的温度下,硅遵循从脆性到延性特性的转变。在高于700°C的温度下,已发现必要量的塑性变形是可能的。
[0073]尽管本实施例描述了经过主体部分的外部部分的递增式运动,这在其他实施例中可以是连续的运动,其可以包括递增式或连续式热处理。
[0074]根据本发明并且参考上述实施例并且同样适用于如参考图1la至12d在下文所述的其它或替代实施例,在经DRIE (深反应离子蚀刻)蚀刻的硅平衡弹簧2的氧化过程之前将硅平衡弹簧准备好,将平衡弹簧的外部部分扭曲到另一平面上,并通过使用石英夹具来固定它。
[0075]氧化温度优选地为约1100°C,并且保持该温度固定不变约30小时。在氧化过程之后,已经证实,所述平衡弹簧的外部部分的形状通过石英夹具改变成预设形状。
[0076]为了确认形状改变并非由于氧化物层导致,将平衡弹簧浸没在氟化氢(HF)溶液中。当从平衡弹簧表面去除氧化物层时,平衡弹簧的形状保持与被氧化时相同。
[0077]因此,可以证实在氧化过程期间晶体结构改变,这导致永久性形状改变。
[0078]参考在平衡弹簧的外部部分的移动以及扭曲期间所诱发的应力,以下计算证实了该机制以及应力。
[0079]为了简化对扭曲角度以及剪应力的计算,待扭曲的平衡弹簧的外部部分将被看作是直梁,其中梁宽度为t以及h,且梁长度为I。
[0080]扭曲角度Φ是剪模量G、极惯性矩Ip、在梁上施加的扭矩Mt,以及梁长度I的函数。我们得出Φ = Mt.1/G.Ip。
[0081]在扭曲期间梁中的最大剪应力是τ = 3Mt/h.t20
[0082]随后可以发现Φ与τ之间的关系,τ = 3Φ.G.Ιρ/1.h‘t 2。
[0083]于具有矩形横截面的梁,极惯性矩是Ip = K.h.t3其中K是与h/t的比例相关的常数。
[0084]我们得出τ =3K.C>.G.t/l,Hh = 2.5t = 100 μ m, I = 5mm,G = 69GPa 为例,我们得出K = 0.249。
[0085]因此,对于梁的给定参数,最大应力是τ = 400C>(MPa)。
[0086]对于180°的扭曲角度,平衡弹簧线圈内部的最大应力是约1.3GPa。根据皮尔逊(Pearson)等人(1957年4月,第4期,第5卷,第181到191页),在室温下较细娃棒的断裂应力是约3GPa。
[0087]此外,由IBM (IBM研究发展杂志(IBM J.RES.DEVELOP),1980年9月第5号,第24卷,第631到637页)制造的硅扭曲扫描镜也证明,正如研究人员所制造并且测试,较细硅棒可以承受较大的断裂应力,并且发现,这个值是这样使得平衡弹簧足够强能够承受180°的扭曲。
[0088]优选地,在完成平衡弹簧的外部部分的移动/扭曲之前,利用氧化处理。
[0089]在氧化期间,氧原子穿透先前形成的氧化物层以与硅原子发生反应以形成氧化硅。在平衡弹簧的尖锐拐角处,由于相对较大的表面积,该穿透更加容易发生,并且因此产生更厚的氧化物层,这使硅与氧化硅的界面平滑。
[0090]参照图1la至Ild中示出和描述了本发明的进一步实施例,并参照图12a至12d中示出和描述了本发明的另一个实施例。
[0091]图1la至Ild中示出了具有一个主体部分112和外部部分113的平衡弹簧111的进一步实施例。本实施例中类似于图1a至4b在上文所述,但是外部部分113呈相反扭曲方向。至于具有“C”形180°扭曲区域的图1a至4b所示的实施例,外部部分113远离主体部分112的平面和离开纸张的方向被扭曲。然而,相比之下,对于本实施例中,“S”形180°扭曲区域,外部部分113朝向纸张和进入纸张的方向被扭曲。
[0092]如图12a至12d所描绘的具有主体部分122和外部部分123的平衡弹簧121的另一实施例。扭曲前的原有平衡弹簧121于图12a中示出,其具有一个扭曲区域和一个弯曲区域。远离及朝着纸的平面扭曲和提高外部部分123之后,外部部分123经过主体部分122被弯折以形成末圈游丝平衡弹簧的形状。
[0093]本领域技术人员应当理解,本发明存在着平衡弹簧的其他及替代实施例,由此相对于所述主体部分的外部部分的结构可以改变,以及外部部分远离主体部分及经过主体部分的运动模式可以改变,以便形成末圈游丝部分,因而形成末圈游丝平衡弹簧,除了所描绘及描述的示例性实施例,而不脱离本发明的范围。
[0094]当浸到HF溶液中时,硅平衡弹簧的初始尖锐拐角利用氧化物层来去除,如图10中的经氧化硅平衡弹簧的横截面的SEM图像中可见。
[0095]如可见,其中11是硅核心,12是氧化物层,侧壁粗糙度已经大大减少,并且横截面的拐角已经磨圆。
[0096]在较大角度扭曲之前所进行的氧化过程可以去除由DRIE过程产生的缺陷以及横截面的尖锐拐角,这由于应力集中的减小使得平衡弹簧更加耐用。
[0097]本发明提供了具有以下优点的平衡弹簧:
[0098]⑴精密制造;
[0099](ii)大量同心度补偿;
[0100](iii) 一体式构造并且没有所需附着到弹簧上的额外部分;
[0101](iv)由于不存在接合部件而可能有恒定的横截面积,因此:
[0102]a、恒定的第二面积力矩,因此更加均匀的硬度;
[0103]b、恒定的横截面积,因此在利用氧化物层以便于热补偿。
【权利要求】
1.一种产生具有用于调节机械钟表的末圈游丝部分的一体式形成的硅平衡弹簧的方法,所述方法包括以下步骤: (i)提供硅平衡弹簧,所述硅平衡弹簧具有主体部分,以及用于形成为末圈游丝部分的外部部分,其中所述外部部分从所述主体部分的最外匝径向向外延伸,并且其中所述主体部分以及所述外部部分由硅基材料一体地形成并且以共面配置形成; (ii)在相对于且离开所述主体部分的平面的方向上以及在朝向经过所述主体部分且朝向所述主体部分的所述平面的方向上移动所述外部部分;以及 (iii)向所述平衡弹簧提供应力松弛过程以便减轻从步骤(ii)在所述平衡弹簧内所诱发的内部应力; 其中在所述外部部分移动到所述主体部分的所述平面中之后,所述外部部分相对于所述主体部分以末圈游丝配置定位。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述步骤(ii)的所述移动在朝向经过所述主体部分且朝向所述主体部分的所述平面的方向上递增地发生。
3.根据权利要求2所述的方法,其中在步骤(ii)的递增步骤之间或期间,发生所述步骤(iii)。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法,其中在发生步骤(ii)之前,至少所述外部部分的氧化步骤会发生,以去除应力集中的缺陷或使其最小化。
5.根据权利要求4所述的方法,其中所述氧化步骤包括暴露于氟化氢溶液中。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法,其进一步包括通过至少一个180°匝扭曲所述外部部分的步骤,其中所述至少一个180°匝围绕所述外部部分的纵向轴线,并且其中所述外部部分在与所述主体部分的外部匝邻近的区域中扭曲。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法,其中所述应力松弛过程在超过500°C的温度下进行。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的方法,其中所述应力松弛过程在超过700°C的温度下进行。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的方法,其中所述应力松弛过程在超过1100°C的温度下进行。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的方法,其中所述应力松弛过程进行至少10小时。
11.根据权利要求1-10中任一项所述的方法,其中所述应力松弛过程进行至少20小时。
12.根据权利要求1-11中任一项所述的方法,其中所述应力松弛过程进行至少30小时。
13.根据权利要求1-12中任一项所述的方法,其中所述平衡弹簧通过微制造技术来形成。
14.根据权利要求1-13中任一项所述的方法,其中所述平衡弹簧通过深反应离子蚀刻技术来形成。
15.一种根据权利要求1-14中任一项所述的方法形成的具有末圈游丝部分的一体式形成的硅平衡弹簧。
16.根据权利要求15所述的一体式形成的硅平衡弹簧,其中所述平衡弹簧经大小设定以适用于钟表上。
17.—种娃基平衡弹簧,其包含: 主体部分,所述主体部分具有用于提供恢复扭矩以用于调节机械钟表的弹簧布置,以及 末圈游丝部分,其中所述末圈游丝部分在相对于且离开所述主体部分的平面的方向上以及在朝向经过所述主体部分且朝向所述主体部分的所述平面的方向上延伸,其中所述主体部分以及所述末圈游丝部分一体式形成。
18.根据权利要求17所述的硅基平衡弹簧,其中所述平衡弹簧通过微制造技术来形成。
19.根据权利要求17或权利要求18所述的硅基平衡弹簧,其中所述平衡弹簧通过深反应离子蚀刻技术来形成。
【文档编号】G04B17/06GK104345628SQ201410366303
【公开日】2015年2月11日 申请日期:2014年7月29日 优先权日:2013年7月29日
【发明者】王英男, 程浩 申请人:动力专家有限公司
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