输送控制装置及输送台车的合流点通过方法与流程

本发明关于输送控制装置及输送台车的合流点通过方法。

背景技术：

在半导体器件的制造设备中，为了在各制造装置间自动输送半导体晶圆，使用对承载于设在各制造装置的装载端口（loadport）上的收纳多块半导体晶圆的晶圆承载器（carrier）进行输送的输送台车。

输送台车由沿着为避免与人或机械的接触而设置在制造设备的上部空间的行驶导轨、即轨道而自驱动的行驶部、和被行驶部支撑的物品收纳部构成，组入有使具备夹住输送对象物的夹紧（chuck）机构的升降体沿着既定的升降路径升降的升降机构。

轨道构成为不仅具备单纯的直线部，也具备曲线、分支部、合流部等的复杂的形状，以按照制造设备的布局输送晶圆承载器，多个输送台车行驶于同一轨道。

近年，为了提高晶圆承载器的输送效率，要求许多输送台车高速行驶于同一轨道，与之相伴在轨道的合流点对输送台车进行有效率的行驶控制成为必要。

在专利文献1（日本国的公开特许公报即特开昭63－73303号公报）中，公开了自动操纵车辆的交叉点控制方式。自动操纵车辆设有：探测对交叉点区的到达或通过的探测单元；接收存在于符合的交叉点区内的其他自动操纵车辆的电波的接收单元；基于由接收单元接收的电波识别交叉点区内有没有存在其他自动操纵车辆的单元；判断进入交叉点的优先顺序，防止多台自动操纵车辆进入交叉点区的单元；以及直至进入交叉点区而通过为止以预先设定的周期间歇地发送的发送单元。

如图8所示，在行驶路径设定有包围交叉点的交叉点区p1和交叉点区p1的跟前侧的进入确认区s1，在各个区的正前面位置配置有由利用自动操纵车辆所具备的探测单元能够探测的光反射带构成的探测体b1、b2。此外，图8所示的标号与在“具体实施方式”一栏中使用的标号无关联性。

关于自动操纵车辆，若利用探测单元判断出自己车辆进入了进入确认区s1，则利用接收单元确认有没有从其他自动操纵车辆发送的电波。电波的频率按每个交叉点区p1设定为不同值，因此基于频率能辨别在符合的交叉点区p1是否存在其他自动操纵车辆。在判断为在符合的交叉点区p1不存在其他自动操纵车辆的情况下，在进入交叉点区p1、直至通过为止的期间，以按每个自动操纵车辆设定的固有的周期间歇地发送在该交叉点设定的频率的电波。

在判断为在符合的交叉点区p1存在其他自动操纵车辆的情况下，在交叉点区p1的正前面停止直至来自其他自动操纵车辆的电波中断为止，若电波中断则进入交叉点区p1。

在交叉点区p1的正前面停止多个自动操纵车辆的情况下，以按每个自动操纵车辆设定的固有的周期交替地进行固定时间的发送和剩余时间的接收，在接收来自其他自动操纵车辆的发送的期间维持停止状态。这样处理，以多个自动操纵车辆不会进入交叉点区p1的方式相互控制。

在专利文献2（日本国的公开特许公报即特开2000－250627号公报）中，公开了无人输送车的行驶控制方法，虽然确实地防止了2台无人输送车同时向合流区域内进入的情况，但是能够控制成为使许多台无人输送车尽可能迅速地进入合流区域内而提高输送效率。

该无人输送车的行驶控制方法是共用输送路径而使多台无人输送车行驶，并且在无人输送车间相互进行利用无线电的通讯而一边限制互相的行驶一边行驶的方法，如以下那样构成。

即，构成为：在输送路径的交叉点的周围设定合流区域，并且在合流区域的各入口的外侧分别设定确认区，对到达确认区的入口的无人输送车，一边交替地进行接收和发送一边进入确认区，在确认区内行驶的过程中，接收来自其他车的信号的情况下，停止发送而使之前进到合流区域的入口后，在入口边继续接收边待机，在待机中接收信号消失的的时刻使之进入合流区域内，不接收来自其他车的信号而到达合流区域的入口的情况下不待机而使之进入合流区域内，在合流区域的出口停止通信动作。

在专利文献3（日本国的公开特许公报即特开2010－257184号公报）中，公开了直接检测交叉点内的障碍物，进行交叉点中的进入、退出的控制的无人输送车的交叉点控制装置及交叉点控制方法。

在设定在行驶路径彼此的交叉部分的第1区、与第1区的外侧相接并设定在行驶路径每一个的第2区、和与第2区的外侧相接并设定在行驶路径每一个的第3区划分交叉点，在交叉点设有探测各区中有没有障碍物及变化的区传感器。

该交叉点控制装置构成为：使进入交叉点的无人输送车在1个第3区待机，并且利用区传感器，进行全区中障碍物的探测，在第1区及第2区没有障碍物的情况下，向待机的无人输送车给予对交叉点的进入许可，在第1区及第2区有障碍物的情况下，不向待机的无人输送车给予对交叉点的进入许可，直至该障碍物从第1区及第2区消失为止。

技术实现要素：

然而，在上述的专利文献1记载的交叉点控制技术中，需要进入到多个进入确认区的全部的自动操纵车辆间歇地发送按每个交叉点区设定的频率的电波，探测接收频率是否为与自己车辆要进入的交叉点区对应的频率。虽然接收电波但因为微弱而不能探测频率的情况下，为了避免冲突，需要继续进行接收操作，直至能够确认不是与交叉点区对应的频率为止。

因此，为了确保系统的稳定性，需要发送固定强度的电波，结果存在从多个交叉点区发出的电波干涉而容易招致干扰的问题。

进而，需要通过接收单方面发送的电波来辨别有没有其他自动操纵车辆，若因干扰而误探测则有多个自动操纵车辆在同时期进入交叉点区的担忧，相反即便在交叉点区不存在其他自动操纵车辆的情况下也有停止在进入确认区的担忧。

在上述的专利文献2记载的交叉点控制技术中，因为是无人输送车交替地进行接收和发送并在接收对象侧的发送的情况下停止自己的发出的构成，各无人输送车的发送定时或接收定时重复的概率并不为零，所以，即便能降低干扰的发生概率，也不能完全防止干扰。另外，在任何情况下，都会接收不特定的对象侧的发出电波而单方面进行动作，因此在确认对象侧而进行动作从而确保可靠性这一观点上有改良的余地。

进而，在上述的专利文献3记载的交叉点控制技术中，存在这样的问题，即需要设置按每个交叉点探测障碍物的区传感器和基于该区传感器进行在交叉点的行驶控制的设备，设备成本上涨。

本发明的目的在于这一点，即鉴于上述问题，提供不会招致设备成本的高涨、或无线电的干扰而能够更加确实且安全地通过合流点的输送控制装置及输送台车的合流点通过方法。

为了达到上述目的，利用本发明的输送控制装置，搭载于输送台车并基于来自系统控制器的指令沿着包括合流点的既定的输送路径进行行驶控制，其特征结构为设有：合流点附近区域进入探测控制部，探测对设定在所述输送路径所包含的各合流点附近的合流点附近区域的进入；障碍物探测部，探测在该输送台车的周边是否存在障碍物；无线通信部，若由所述合流点附近区域进入探测控制部探测到对各合流点附近区域的进入，则使用按每个合流点设定为不同值的共同的频带及共同的识别代码在其他输送台车与本地（local）进行无线通讯；以及合流点通过控制部，在由所述障碍物探测部探测到在所述合流点附近区域存在其他输送台车时，启动所述无线通信部，通过所述无线通信部，在与其他输送台车的信号交换（handshake）成立后按照按每个对该合流点的进入路径设定的优先次序通过合流点。

优选所述无线通信部构成为：进入优先次序高的进入路径的输送台车的输送控制装置成为主控台，进入优先次序低的进入路径的输送台车的输送控制装置成为子控台而进行所述信号交换，所述合流点通过控制部构成为：在所述信号交换成立后如果为进入优先次序高的进入路径的输送台车则优先而通过合流点。

优选构成为：进入优先次序低的进入路径的输送台车，在接收到来自进入优先次序高的进入路径的输送台车的合流点通过完成信号后、或在所述信号交换中断后通过合流点。

优选构成为：所述合流点附近区域进入探测控制部通过探测设置在各合流点的进入路径附近的标志来判定对各合流点附近区域的进入。

优选按每个合流点设定的频带及识别代码、和/或按每个进入路径的优先次序，预先存储在所述输送控制装置所具备的存储部。

优选构成为：在由所述障碍物探测部未探测到存在其他输送台车时，不启动所述无线通信部及所述合流点通过控制部，而通过该合流点。

优选构成为：对被所述输送控制装置控制并进行用于在所述输送台车与转移货物的工位（staion）之间转移货物的通信的光通信部，一体地组入所述无线通信部，若利用所述合流点附近区域进入探测控制部探测到对合流点附近区域的进入，则利用所述输送控制装置代替所述光通信部而启动所述无线通信部，若所述输送台车靠近所述工位，则代替所述无线通信部而启动所述光通信部。

利用本发明的输送台车的合流点通过方法，被搭载于输送台车并基于来自系统控制器的指令沿着既定的输送路径对所述输送台车进行行驶控制的输送控制装置执行，其特征构成为通过所述输送控制装置执行以下步骤：合流点附近区域进入探测控制步骤，探测对设定在所述输送路径所包含的各合流点附近的合流点附近区域的进入；障碍物探测步骤，探测在该输送台车的周边是否存在障碍物；无线通信步骤，若由所述合流点附近区域进入探测控制步骤探测到对各合流点附近区域的进入，则使用按每个合流点设定为不同值的共同的频带及共同的识别代码在其他输送台车与本地进行无线通讯；以及合流点通过控制步骤，在由所述障碍物探测步骤探测到在所述合流点附近区域存在其他输送台车时启动所述无线通信步骤，在通过所述无线通信步骤与其他输送台车的信号交换成立后按照按每个对该合流点的进入路径设定的优先次序通过合流点。

优选所述无线通信步骤构成为：进入优先次序高的进入路径的输送台车的输送控制装置成为主控台，进入优先次序低的进入路径的输送台车的输送控制装置成为子控台而进行所述信号交换，所述合流点通过控制步骤构成为：在所述信号交换成立的情况下进入优先次序高的进入路径的输送台车优先而通过合流点。

优选构成为：进入优先次序低的进入路径的输送台车，在从进入优先次序高的进入路径的输送台车接收到合流点通过完成的信号后、或在所述信号交换中断后通过合流点。

优选所述合流点附近区域进入探测控制步骤构成为：通过探测设置在各合流点的进入路径附近的标志来判定对各合流点附近区域的进入。

优选按每个合流点设定的频带及识别代码、和/或按每个进入路径的优先次序，预先存储在所述输送控制装置所具备的存储部。

优选构成为：在由所述障碍物探测部未探测到存在其他输送台车时，不启动所述无线通信步骤及所述合流点通过控制步骤，而通过该合流点。

利用本发明的输送台车的合流点通过方法，是沿着包括多个合流点的输送路径而自驱动的多个输送台车的合流点通过方法，其特征构成为：各输送台车对所述合流点附近区域进入时若探测到其他输送台车则停止或减速行驶，使用按每个合流点设定为不同值的共同的频带及识别代码来与其他输送台车进行无线通讯，若信号交换成立则按每个对该合流点的进入路径设定的优先次序高的输送台车优先通过合流点，若所述信号交换结束则其后优先次序低的输送台车通过合流点。

优选构成为：各输送台车对所述合流点附近区域进入时如果未探测到其他输送台车，则不停止行驶而通过合流点。

进而，关于其他发明，通过参照以下的实施例而被明确地表示。

附图说明

在附图中，通过举例而非限制的方式示出本公开的一些实施例。

图1是半导体器件的制造设备及输送台车的说明图。

图2是在输送台车与制造装置间进行的晶圆承载器的交接处理的说明图。

图3是输送控制装置的功能块结构图。

图4a、图4b、图4c是各个输送台车的合流点通过方法的说明图。

图5是表示输送控制装置的行驶控制的流程图。

图6是表示输送控制装置的合流点通过控制的流程图。

图7是在合流点附近的输送台车间的通信顺序的说明图。

图8是现有的技术的说明图。

具体实施方式

以下，以半导体器件的制造设备所具备的无人的输送台车为例，说明利用本发明的输送控制装置及输送台车的合流点通过方法。本发明是以在多个输送台车1想要同时进入合流点cp的情况下，事先防止冲突为目的的发明。

如图1所示，半导体器件的制造设备100具备：沿着既定的通路配置并用于对半导体晶圆依次实施既定的处理的各种制造装置1（1a～1l）；以沿着各制造装置1的方式吊设在顶棚的行驶导轨5；以及沿着行驶导轨5行驶并在制造装置1（1a～1l）间自动输送半导体晶圆w的多个输送台车10。各制造装置1（1a～1l）按一系列连贯的每个制造工序分开设置在停车场6、7。

各输送台车10构成为：基于来自系统控制器h的指令，夹持承载于各制造装置1的装载端口2上的收纳多块半导体晶圆w的晶圆承载器3，在与其他制造装置1之间、或与暂时保管晶圆承载器3的储料器st之间往来，使晶圆承载器3承载于输送目的地的装载端口2上。

行驶导轨5不仅具备单纯的直线部，而且具备曲线、分支部、合流部等而构成。例如，由连结各停车场6、7间的工序间导轨5a、连结设置在各停车场6、7的制造装置1间的工序内导轨5b、连结工序间导轨5a和工序内导轨5b的分支导轨5c、使行驶于工序内导轨5b内的输送台车10暂时退避的退避导轨5d、用于输送台车10向储料器st装卸晶圆承载器3的分流导轨5e等构成。

分支导轨5c是连接工序间导轨5a和工序内导轨5b的导轨，行驶的输送台车10沿着分支导轨5c行驶，从而在工序间导轨5a与工序内导轨5b互相往来。

退避导轨5d从工序内导轨5b分支而设，例如，在以下情况被使用，即为了输送台车10的维护等，使输送台车1暂时从工序内导轨5b退避。

分流导轨5e从工序间导轨5a分支，用于将被行驶于工序间导轨5a的输送台车1夹持的晶圆承载器3暂时在储料器st保管的情况等。

分支导轨5c与工序间导轨5a的连接点、分支导轨5c与工序内导轨5b的连接点、退避导轨5d与工序内导轨5b的连接点、分流导轨5e与工序间导轨5a的连接点成为合流点cp（图1中，以单点划线的圆圈标识表示）。

如图2所示，行驶导轨5由在下壁形成沿着长度方向的狭缝状的开口5a的截面矩形的管状体构成。输送台车10夹着该狭缝5a而由沿着管状体的下壁的内侧上表面行驶的行驶部10a、和经由连结件与行驶部10a连结并且位于管状体的下壁的下方的把持部10b构成。

行驶部10a设有：在行驶基座前后安装一对车轮并且驱动车轮的行驶马达、把持晶圆承载器3并输送到目的制造装置1的输送控制部、探测存在于前进方向的障碍物的障碍物探测部、供电部等。在管状体的侧壁内表面沿着长度方向配设有供电线，构成为经由行驶基座所具备的供电部能够从供电线接受电力。进而构成为以供电线为通信介质在系统控制器h与输送控制部之间能够进行数据通信。

此外，系统控制器h与输送控制部之间的数据通信并不限于以供电线为通信介质的情况，也可以构成为用以电磁波为通信介质的无线电进行。即便在以下的说明中，代替以供电线为通信介质的数据通信而采用利用以电磁波为通信介质的无线电的数据通信的方式也可。

作为障碍物探测部使用在光源上使用近红外线的激光二极管的扫描型测距装置，探测在前进方向前方是否有障碍物（参照图3的标号26）。

在把持部10b组入有升降机构10e，其具备使具备用于夹持晶圆承载器3的夹紧机构10c的升降体10d沿着既定的升降路径升降的带（belt）及提升马达。

利用上述行驶马达、输送控制部、障碍物探测部、供电部来构成输送控制装置c。输送控制装置c基于经由供电线接收的来自系统控制器h的指令，总括地控制输送台车10，以从既定的制造装置1接受既定的晶圆承载器3，输送到输送目的地的制造装置1，在该制造装置1的装载端口提交晶圆承载器3。

在图3表示输送控制装置c的主要部分的功能块结构。输送控制装置c具备：对输送台车10进行行驶控制到作为目的的制造装置1，并且对该制造装置1的装载端口转移控制晶圆承载器3的输送控制部20；以及在与制造装置1之间或与其他输送台车10之间进行本地通信的本地通信部30。

输送控制部20具备高功能微型计算机及由存储器、或输入输出电路等的周边电路而成的硬件而构成，由用高功能微型计算机的cpu执行存放在存储器的控制程序而实现期望的功能的电子电路构成。

若分为功能块来说明输送控制部20，则具备：经由供电线与系统控制器h进行通信的主机接口21；由存储来自系统控制器h的发送信息或各种控制信息的半导体存储器构成的存储部22；在与制造装置1之间进行晶圆承载器3的转移处理的转移控制部23；基于来自系统控制器h的指令使输送台车10向目的制造装置1等进行行驶控制的行驶控制部24；以及与本地通信部30进行通信的串行通信接口27等。

本地通信部30具备具备发光二极管及光敏晶体管的光通信电路、具备无线天线和振荡器和调制解调器的无线通信电路、控制光通信电路及无线通信电路的低功能微型计算机及存储器等的硬件而构成，由低功能微型计算机的cpu执行存放在存储器的控制程序而进行光通信功能或无线通信。

若分为功能块来说明本地通信部30，则具备：在与设在输送控制部20的串行通信接口27之间进行通信的串行通信接口31；在与设在制造装置1的光通信部2c之间进行光通信的光通信部34；在与其他输送台车10之间进行无线通信的无线通信部35；控制光通信部34及无线通信部35的通信控制部33；由存储经由串行通信接口31从输送控制部20得到的数据、在光通信部34及无线通信部35使用的收发数据等的半导体存储器构成的存储部32等。

通信控制部33构成为：基于经由串行通信接口31、27从输送控制部20发送的指令，驱动光通信部34或无线通信部35而向通信对象发送必要的数据，并且将从通信对象接收的数据向输送控制部20发送。

在主机接口21上使用tcp/ip协议，在串行通信接口27、31上使用利用rs232c的非同步串行通信协议。进而，光通信部34构成为基于semie84－0200a接口标准等而动作，无线通信部35使用既定的频带及既定的ssid（也称为“识别代码”。）进行一方为主控台而另一方为子控台的分组通信。

行驶控制部24按照从系统控制器h发送并存储在存储部22的行驶路线对输送台车10进行行驶控制，若靠近成为目的的制造装置1附近则减速并启动光通信部34。

在制造装置1所具备的光通信部2c与本地通信部30所具备的光通信部34之间开始进行光通信，在随着输送台车10的移动而光轴一致、从而确立光通信的位置利用输送控制部使输送台车10停止。利用此时的光通信，互相确认彼此为成为目的的制造装置1，为接纳用的输送台车10。

其后，启动转移控制部23而进行晶圆承载器3的转移处理。此外，图2中，标号r表示配置各制造装置1（1a、1b、1c、1d）的通路。若利用转移控制部23的转移处理结束，则行驶控制部24向下一个制造装置1开始行驶控制。

在存储部22预先存放有经由主机接口21从系统控制器h发送的路线信息。行驶控制部24基于设在车轮的回转式编码器的输出掌握如何在由路线信息表示的任何地点行驶，通过读取在行驶导轨5的侧壁内表面的重要地点所具备的光反射型标志，一边进行位置确认一边行驶控制至目的地。

那样的光反射型标志的一部分配置在图1所示的由以合流点cp为中心的既定的半径描绘的合流点附近区域的跟前及正后面。即，当探测到跟前的标志时能够识别出靠近向合流点的进入路径，若探测到正后面的标志则能够识别出进入了从合流点的退出路径。

行驶控制部24构成为：在行驶于行驶导轨5的合流点cp时，以在合流点不与行驶于其他行驶导轨5的其他输送台车10发生冲突或接触事故的方式，控制成以预先决定的既定的程序通过合流点cp。以下，详细描述利用行驶控制部24执行的合流点通过控制。

行驶控制部24具备：合流点附近区域进入探测控制部24a、无线通信部24b、以及合流点通过控制部24c。合流点附近区域进入探测控制部24a具备由反射型光敏传感器构成的合流点标志探测部25、和探测合流点附近区域是否存在其他输送台车的障碍物探测部26。作为无线通信部24b使用上述无线通信部35。

合流点附近区域进入探测控制部24a在基于来自合流点标志探测部25的输出探测到对设定在各合流点附近的合流点附近区域的进入时，若基于来自障碍物探测部26的输出判断为在该合流点附近区域不存在其他输送台车，则保持原状通过合流点cp。

如图4a所示，合流点附近区域进入探测控制部24a基于来自合流点标志探测部25的输出探测对设定在各合流点附近的合流点附近区域9的进入。此时，若基于来自障碍物探测部26的输出判断为在该合流点附近区域9存在其他输送台车10，则经由串行通信接口27启动本地通信部30的无线通信部35（24b），并且在比合流点cp更靠跟前即能够避免冲突的位置停止输送台车10的行驶。图4a中，标号m表示标志。

在存储部22预先存储经由主机接口21从系统控制器h发送的路线信息，而且还存储按每个合流点cp为不同值的本地通信用的频带数据及识别代码，并且存储有对进入各合流点的路线附上的优先次序数据。此外，路线信息以外的信息、即按每个合流点cp为不同值的本地通信用的频带数据及识别代码或优先次序数据，也可以预先在存储部中作为默认值而设定。

合流点附近区域进入探测控制部24a若探测到对合流点附近区域9的进入，则从存储部22读出按每个合流点cp设定为不同值的频带及识别代码并向通信控制部33发送。通信控制部33向存储部32存储该频带及识别代码，并且启动无线通信部24b，使用该频带及识别代码在与其他输送台车10的无线通信部24b之间进行无线通讯。

此时，按照对进入各合流点的路线附上的优先次序数据，行驶于优先次序高的路线的输送台车10成为无线主控台，行驶于优先次序低的路线的输送台车10成为无线子控台，互相进行无线通讯。

无线主控台和无线子控台两者以按每个合流点cp设定的固有的频带及识别代码进行无线通讯，因此无需担忧与在其他合流点所使用的频带的信号的干扰，因而也可以不是强度那么高的电波。另外按每个合流点cp以共同的识别代码进行无线通讯，因此能确实地保证为在该合流点cp的无线通讯，可靠性也提高。

若通过无线通信部24b与其他输送台车的信号交换成立，则该主旨从通信控制部33经由串行通信接口31、27向行驶控制部24的合流点附近区域进入探测控制部24a发送，其结果，启动合流点通过控制部24c，按照按每个对该合流点cp的进入路径设定的优先次序通过合流点。

即，如图4b所示，优先次序高的输送台车10构成为：一边维持信号交换状态一边优先通过合流点cp，若对合流点cp的通过结束，则切断无线通信。

而且，如图4c所示，进入优先次序低的进入路径的输送台车10构成为：若信号交换中断或者通信结束，则判断为优先次序高的输送台车10对合流点cp通过的结束，其后通过合流点cp。

图4a、图4b、图4c中，以标号10a表示从优先次序高的路线进入合流点附近区域9的输送台车10，以标号10b表示从优先次序低的路线进入合流点附近区域9的输送台车10。

依据上述的构成，按照预先按每个进入路径决定的优先次序，优先次序高的输送台车成为主控台，优先次序低的输送台车成为子控台而进行无线通讯，因此能够流畅地进行信号交换。

此外，也可以优先次序高的输送台车10构成为：不是若对合流点cp的通过结束则切断无线通信，而是探测从合流点的退出路径所具备的标志并在判断为对合流点cp的通过结束时，利用无线通信发送合流点的通过完成信号，而进入优先次序低的进入路径的输送台车10构成为：若接收到合流点的通过完成信号并结束通信，则其后通过合流点cp。

根据利用无线通讯信号交换是否成立，两者能够识别存在其他输送台车，因此无需轻率地单方面发出电波。因此几乎不存在电波干扰的担忧，也能降低无线通讯所需要的电力。

在本实施方式中，能够使用对具备基于现有的semie84－0200a接口标准等进行动作的光通信部34及其通信控制部33等的通信器件，进一步组入无线通信部35而作为本地通信部30具备两个功能的通信器件。

即，构成为：对被输送控制部20控制并且进行用于在输送台车10与转移货物的工位1之间转移货物3的通信的光通信部34，一体地组入无线通信部35，若通过合流点附近区域进入探测控制部探测到对合流点附近区域的进入，则利用输送控制部20代替光通信部34而启动无线通信部35，若输送台车10向工位1靠近，则代替无线通信部35而启动光通信部34。

因而，输送控制部20和光通信部34及无线通信部35间的通信接口能够简化而为一个串行通信接口31，变得能够减小通信器件的安装空间。此外，光通信部34和无线通信部35不会同时动作，因此即便组入为一体也不会增大控制它们的微型计算机等的控制负担，变得能够采用廉价的微型计算机而实现两者功能。

如图5所示，行驶控制部24若经由主机接口21接收到从系统控制器h发送的转送目的地的制造装置1的信息，则向该制造装置1进行行驶控制（sa1），并且向本地通信部30的通信控制部33进行指示，以使光通信部34切换到激活状态而以光通信模式进行动作（sa2），使输送台车10向转送目的地的制造装置1进行行驶控制（sa3）。

若在行驶中利用合流点标志探测部25探测到合流点标志m（sa4，是（y）），则以使无线通信部35切换到激活状态以无线通信模式进行动作的方式向本地通信部30的通信控制部33进行指示而减速（sa10）。其后，执行利用合流点附近区域进入探测控制部24a的合流点通过控制（sa11），若通过合流点，则以使光通信部34切换到激活状态以光通信模式进行动作的方式向本地通信部30的通信控制部33进行指示（sa12），执行步骤sa5以后的处理。

在行驶中利用合流点标志探测部25探测到合流点标志m之前（sa4，否（n）），若到达转送目的地的制造装置1附近（sa5，是（y）），则使输送台车减速，并且经由光通信部34在与转送目的地的制造装置1的光通信部2c之间进行光通信（sa6），若光通信成功而能够确认为转送目的地的制造装置1（sa7），则停止行驶（sa8），进行晶圆承载器的转移处理（sa9），重复从步骤sa1开始的处理。

图6中，表示图5中说明的步骤sa11的合流点通过控制的详细情况。行驶控制部24（合流点附近区域进入探测控制部24a）若基于来自障碍物探测部26的输出判断为在该合流点附近区域9存在其他输送台车10（参照图4a）（sb1），则经由本地通信部30的无线通信部35开始既定的无线通信处理（sb2）。

若能够确认与其他输送台车10之间利用无线通信的信号交换（sb3，是（y）），则如果为主控台侧的输送台车10、即为行驶于优先次序高的路线的输送台车10（参照图4b的标号10a）（sb4，是（y）），则向合流点cp进行行驶控制，若通过合流点cp（sb5），则结束无线通信处理（sb6）。

若步骤sb3中信号交换花费时间，则在合流点附近区域9停止，在预先设定的等待时间的期间重复进行无线发送，若经过等待时间（sb7），则判断为发生错误而紧急停止（sb8），经由主机接口21向系统控制器h发送发生异常状态的主旨的信号（sb9）。

在步骤sb3中，子控台侧的输送台车10、即行驶于优先次序低的路线的输送台车10（参照图4b的标号10b），在合流点附近区域9停止，一边等待来自主控台的存在确认通知一边执行步骤sb7以后的时间错误处理。

在步骤sb4中，如果为子控台侧的输送台车10、即为行驶于优先次序低的路线的输送台车10（参照图4b的标号10b）（sb4，否（n）），则在与主控台之间的利用无线电的通讯的继续过程中，维持在合流点附近区域停止的状态，若切断与主控台之间的无线通信（sb10），则判断为主控台侧的输送台车10通过合流点cp，其后通过合流点（sb11）。

在步骤sb1中，若基于来自障碍物探测部26的输出判断为在该合流点附近区域9不存在其他输送台车10，则不在合流点附近区域减速、停止而通过合流点cp（sb5）。此外，在该情况下，不会执行步骤sb6。

在图7中，表示了对置的输送台车10分别具备的行驶控制部24（合流点附近区域进入探测控制部24a）及无线通信部35（24b）彼此的收发序列等。

若利用合流点标志探测部25探测到合流点标志m，基于来自障碍物探测部26的输出判断为在合流点附近区域9存在其他输送台车10，则以优先次序高的行驶路径靠近合流点附近区域9的输送台车10a的行驶控制部24，经由串行通信接口27、31（参照图3）向通信控制部33发送利用无线通信部35的通信模式的设定信息。

具体而言，发送作为通信主控台进行动作的主旨的设定信息（sc1），若探测到来自通信控制部33的应答（sc2），则发送按每个合流点附近区域9设定为固有值的信道信息（频带）及id信息（识别代码）（sc3），探测来自通信控制部33的应答（sc4）。在该状态下被通信控制部33控制的无线通信部35作为主控台而成为能够无线通信的状态。

在优先次序低的行驶路径上靠近合流点附近区域9的输送台车10b的行驶控制部24，经由串行通信接口27、31（参照图3）向通信控制部33发送利用无线通信部35的通信模式的设定信息。

具体而言，发送作为通信子控台进行动作的主旨的设定信息（sd1），若探测到来自通信控制部33的应答（sd2），则发送按每个合流点附近区域9设定为固有值的信道信息（频带）及id信息（识别代码）（sd3），探测来自通信控制部33的应答（sd4）。在该状态下被通信控制部33控制的无线通信部35作为子控台而成为能够进行无线通信的状态。

成为主控台的无线通信部35，使用以设定的频带设定的识别代码，对子控台侧的无线通信部35进行信标（beacon）通信、即发送存在确认通知，直至有来自子控台侧的无线通信部35的回信为止（se10）。接收主控台侧的存在确认通知的子控台侧的无线通信部35，使用相同的频带且相同的识别代码回信为在制造设备100适当地进行动作的正常的输送台车的主旨的认证分组（se11）。

接收来自子控台侧的认证分组的主控台侧也发送为在制造设备100适当地进行动作的正常的输送台车的主旨的认证分组（se12）。若接收认证分组，则互相发送应答（se13、se14）。在达到该状态的时刻，互相靠近相同的合流点附近区域，确立识别到两者存在而匹配的状态、即信号交换。

主控台侧及子控台侧的通信控制部33经由串行通信接口27、31，向行驶控制部24发送信号交换完成报告（sc5、sd5）。

其后，主控台侧的行驶控制部24和子控台侧的行驶控制部24，经由各自的无线通信部35、35重复既定的指令的收发（sc6、7、sd6、7）。具体而言主控台侧的行驶控制部24向子控台侧的行驶控制部24发送合流点待机指令，以通过合流点cp的方式行驶控制，子控台侧的行驶控制部24向主控台侧的行驶控制部24发送合流点通过请求指令，在合流点附近区域9停止。

主控台侧的行驶控制部24若对合流点cp的通过结束，则结束经由无线通信部35的对子控台侧的发送，向转送目的地制造装置1行驶。子控台侧的行驶控制部24若切断经由无线通信部35的来自主控台侧的接收，则判断为主控台侧的输送台车10a对合流点cp的通过结束并向合流点cp开始行驶。

如以上说明的那样，利用本发明的输送台车的合流点通过方法构成为具备：合流点附近区域进入探测控制步骤，探测对设定在输送路径所包含的各合流点附近的合流点附近区域的进入；障碍物探测步骤，探测该输送台车的周边是否存在障碍物；无线通信步骤，若由合流点附近区域进入探测控制步骤探测到对各合流点附近区域的进入，则使用按每个合流点设定为不同值的共同的频带及共同的识别代码在其他输送台车与本地进行无线通讯；以及合流点通过控制步骤，当由障碍物探测步骤探测到在合流点附近区域存在其他输送台车时启动无线通信步骤，在通过无线通信步骤与其他输送台车的信号交换成立后按照按每个对该合流点的进入路径设定的优先次序通过合流点。

而且，无线通信步骤构成为：进入优先次序高的进入路径的输送台车的输送控制装置成为主控台，进入优先次序低的进入路径的输送台车的输送控制装置成为子控台而进行信号交换，合流点通过控制步骤构成为：在信号交换成立的情况下进入优先次序高的进入路径的输送台车优先而通过合流点。

另外，构成为：进入优先次序低的进入路径的输送台车，在从进入优先次序高的进入路径的输送台车接收到合流点通过完成的信号后、或在信号交换中断后通过合流点。

另外，合流点附近区域进入探测控制步骤构成为：通过探测设置在各合流点的进入路径附近的标志来判定对各合流点附近区域的进入。

进而，优选构成为：在由障碍物探测部未探测到存在其他输送台车时，不启动无线通信步骤及合流点通过控制步骤，而通过该合流点。

在上述实施方式中，说明了作为标志使用光反射型标志，作为合流点标志探测部使用反射型光敏传感器的例子，但是标志并不限于光反射型标志，另外合流点标志探测部也不限于反射型光敏传感器。例如，也可以标志使用二维条形码，合流点标志探测部使用条形码读出器，也可以标志使用磁体，合流点标志探测部使用簧片开关。

在上述实施方式中，说明了合流点附近区域进入探测控制部基于来自合流点标志探测部的输出探测对设定在各合流点附近的合流点附近区域的进入，且，基于来自障碍物探测部的输出判断为在该合流点附近区域存在其他输送台车时，启动无线通信部，并且在比合流点更靠跟前即能够避免冲突的位置停止输送台车的行驶的例子，但是本发明的障碍物探测部并不是必需的。

例如，若基于来自合流点标志探测部的输出探测到对设定在各合流点附近的合流点附近区域的进入，则启动无线通信部，并且在比合流点更靠跟前即能够避免冲突的位置停止输送台车的行驶也可。

在该情况下，也可以构成为：在启动无线通信部后仅在预先设定的固定时间尝试信号交换，在信号交换不成立的情况下，判断为在该合流点附近区域不存在其他输送台车而通过合流点cp。

即便在该情况下，如果信号交换成立就变得能精度良好地识别存在其他输送台车。

如以上说明的那样，依据本发明，变得能够提供不会招致设备成本的高涨、或无线电的干扰而能够更加确实且安全地通过合流点的输送控制装置及输送台车的合流点通过方法。

上述实施方式全都不过是本发明的一个实施例，本发明的范围并不因该记载而受限定，输送台车的各部分的具体构成、输送控制装置的功能块构成等能够在发挥利用本发明的作用效果的范围内进行适当变更这一点无需赘述。