技术特征：
1.一种晶圆盒移载控制方法，其特征在于，应用于存储系统的移载机构，所述晶圆盒移载控制方法包括：当接收到移载指令时，确定所述移载指令对应的第一目标位置和第二目标位置，所述第一目标位置为待取放晶圆盒的初始位置，所述第二目标位置为所述待取放晶圆盒的最终位置；确定第一路程和第一最大速度，其中所述第一路程为在第一移载运动方向上从所述第一目标位置到达所述第二目标位置的路程，所述第一最大速度为在所述第一路程的移载运动中在所述第一移载运动方向的最大速度；根据所述第一最大速度和第一速度分段控制策略，确定在所述第一移载运动方向上的第一移载速度，其中所述第一速度分段控制策略包括在所述第一移载运动方向上，将从所述第一目标位置到达所述第二目标位置的运动过程分为加速阶段、匀速阶段和减速阶段的运动速度控制策略，所述匀速阶段的运动速度与所述第一最大速度满足预设比例关系；根据所述第一移载速度输出速度控制指令，以将所述待取放晶圆盒从所述第一目标位置移载到所述第二目标位置。2.根据权利要求1所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，在确定所述移载指令对应的第一目标位置和第二目标位置时，所述晶圆盒移载控制方法还包括：确定第二路程和第二最大速度，所述第二路程为在接收到所述移载指令时，在所述第一移载运动方向上从当前位置运动到所述第一目标位置的路程，所述第二最大速度为在所述第二路程的移载运动中在所述第一移载运动方向的最大速度；根据所述第二最大速度和第二速度分段控制策略，确定在所述第一移载运动方向上的第二移载速度，以及在所述第二路程的移载运动中，根据所述第二移载速度输出速度控制指令。3.根据权利要求1所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，所述加速阶段包括加加速阶段、匀加速阶段和减加速阶段；和/或，所述减速阶段包括加减速阶段、匀减速阶段和减减速阶段。4.根据权利要求1所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，在将所述待取放晶圆盒从所述第一目标位置移载到所述第二目标位置时，所述晶圆盒移载控制方法还包括：基于预设的寻址方式，在所述第一移载方向上实时采集第一移载位置，所述第一移载位置为在所述运动过程中所述待取放晶圆盒的当前位置；根据所述第一移载速度输出速度控制指令，包括：根据所述第一移载位置和所述第一移载速度调整输出速度控制指令。5.根据权利要求4所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，所述寻址方式包括第一相对寻址方式，所述第一相对寻址方式配置为：通过第一检测器对第一检测片的数量进行检测的寻址方式，所述第一检测片设置于存储系统中的各个库位上，所述第一检测器设置于移载机构上，以当移载机构在所述第一移载方向上运动中，当所述第一检测器每检测到一个所述第一检测片时检测值进行累加计算获得累加结果，所述累加结果用于表征所述第一移载位置。6.根据权利要求5所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，所述第一检测器包括第一光电传感器，所述第一检测片包括用于光电检测的遮挡板。
7.根据权利要求4所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，所述寻址方式包括第二相对寻址方式，所述第二相对寻址方式配置为：通过第二检测器对第二检测片上的标识组合进行检测译码的寻址方式，所述第二检测片设置于存储系统中的各个库位上，所述第二检测片上设置有第一标识组合，所述第一标识组合的编码结果用于表征库位在存储系统中的位置，所述第二检测器设置于移载机构上，以当移载机构在所述第一移载方向上运动中，当所述第二检测器每检测到所述第二检测片上的第一标识组合时，对所述第一标识组合的编码结果进行译码。8.根据权利要求7所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，所述第二检测器包括第二光电传感器，所述第二检测片包括用于光电检测的遮挡板，所述标识组合包括孔组合。9.根据权利要求7所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，对所标识组合的编码结果进行译码，包括：对所标识组合的编码结果进行奇偶校验译码或8421码校验译码。10.根据权利要求1所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，所述寻址方式包括第一绝对寻址方式，所述第一绝对寻址配置为：通过第三检测器对第三检测片上的标识组合进行检测译码的寻址方式，所述第三检测片设置于移载机构运动的轨道上，所述第三检测片上设置有第二标识组合，所述第二标识组合的编码结果用于表征移载机构在所述第一移载方向上沿着轨道运动的位置，所述第三检测器设置于移载机构上，以当移载机构在所述第一移载方向上运动中，所述第三检测器对所述第三检测片上的第二标识组合的编码结果进行译码。11.根据权利要求10所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，所述第三检测器包括激光测距传感器，所述第三检测片包括反光板，其中所述反光板上按预设间距设置有反光膜；其中所述激光测距传感器跟随移载机构运动时，持续发射红外信号光线，并以发射的第一光线作为脉冲计数器的启动信号，以及以反射光线作为脉冲计数器的停止信号，根据启动信号和停止信号之间的计数时间实时获得所述第一移载位置。12.根据权利要求10所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，所述寻址方式包括第二绝对寻址方式，所述第二绝对寻址配置为：通过第四检测器对第四检测片上的标识组合进行检测译码的寻址方式，所述第四检测片设置于与移载机构运动方向平行的一侧机架上或设置于移载机构下方运动轨道上，所述第四检测片上设置有第三标识组合，所述第三标识组合的编码结果用于表征移载机构在所述第一移载方向上沿着轨道运动的位置，所述第四检测器设置于移载机构上，以当移载机构在所述第一移载方向上运动中，所述第四检测器对所述第四检测片上的第三标识组合的编码结果进行译码。13.根据权利要求12所述的晶圆盒移载控制方法，其特征在于，所述第四检测器包括条码读取器，所述第四检测片包括条码板，所述第三标识组合包括条行码。
技术总结
本发明提供一种晶圆盒移载控制方法，应用于存储系统的移载机构。其中，精准移载控制方法包括：当接收到移载指令时，确定移载指令对应的第一目标位置和第二目标位置；确定第一路程和第一最大速度；根据第一最大速度和第一速度分段控制策略，确定在第一移载运动方向上的第一移载速度；根据第一移载速度输出速度控制指令，以将待取放晶圆盒从第一目标位置移载到第二目标位置。通过对移载过程采用距离分段控制结合速度分阶控制，可实现晶圆盒移载过程在较短时间内完成，提高了移载效率，保障了存储系统具有较高吞吐量，而且可以实现移载运行速度的平稳控制，避免加减速变化对晶圆盒造成不必要的振动、冲击而损坏晶片，有利于提升半导体工厂的产能。体工厂的产能。

技术研发人员：成龙 缪峰
受保护的技术使用者：弥费实业（上海）有限公司
技术研发日：2022.03.04
技术公布日：2022/8/30