专利名称：将制造设备的服务请求者与服务提供者关联的调度装置的制作方法
技术领域：
概括而言，本发明涉及制造自动设备，具体涉及制造半导体装置的自动化过程。
背景技术：
半导体制造是极其复杂、多步骤的过程，它要服从严格的制造要求和生产进度。这些制造过程一般在大型制造设备中进行，而所述设备往往结合了大量包含在各个制造过程阶段的工具。
一般的半导体装置是利用复杂的工序制造出来的，这些工序例如包括大量的氧化、刻蚀和光刻过程。利用图1中的过程10对该过程或服务计划的一个例子作了描述。过程10中的每一步一般都需要对产品和工艺进行高度控制。例如，必需严格控制杂质和微粒污染。类似地，还必需密切监视诸如温度、压力、气体流速、处理时间间隔、和输入的溅射能之类的控制加工参数。
对于复杂情况，过程10的每一步骤都依次需要成百的其它错综复杂的操作或子步骤，它们中的任何一步都高度依赖于一个或多个在前步骤。例如，在光刻工序中，让晶片相对掩膜精确排列是非常严格的。排列过程中或刻蚀掩膜叠置时的误差将在非常密集的装配内连线之间形成电短路缺陷。因此必需严密监视制造过程中的每一步骤，小心地调节材料，谨慎地控制时限。
为了满足这些要求，已经实现了自动化系统或半导体制造执行系统(MES)，用以让工艺工程师和设备操作员控制和监视整个制造过程。这些MES一般通过单用户接口进行访问，它们允许厂长以集中方式管理工具和批次(lot)数据、协调诸如服务请求者和服务提供者之类的资源、排定调度服务的进度等，从而实现过程自动化。
虽然这些系统允许排定并协调设备中的各种工具和材料，但这些MES是静态的，它们仅能领会简单的生产任务。例如，仅能提供极少或根本不提供执行控制，结果，加工过程需要由工艺工程师或操作员作决定。于是，要求每个工艺工程师或操作员启动每个单独操作，例如让需要特定服务的批次或材料与提供并能提供相应操作的工具或机器匹配。但是，把作出决定的责任推给操作员和工程师，就会在无意中让自动化目标落空。
另外，这些MES不能解决执行该加工的过程中的设备状况和机器有效性问题。因此，有关特定工具状况的紧急信息经常是隐蔽或得不到的。工具的不定期维护或停机时间导致工艺流程间断。结果，会频频产生“瓶颈”，最终降低了加工设备的晶片加工产量。
因此，在服务计划执行过程中需要能监视诸如工具和材料之类的设备资源的、以便提供有关资源状况和/或机器状态的信息的制造模式。类似地，在服务计划执行过程中需要一种能利用该信息动态地让当前能提供特定服务的服务提供者与需要该服务的服务请求者匹配或相关的方法。
发明内容
本发明通过提供能动态地让服务请求者与当前能提供该被请求服务的服务提供者匹配的系统、方法和媒介，由此提高了制造设备的效率和生产率。特别是，开始时，由服务提供者发出表示它们能提供一项或多项服务的信息或讯息。然后通过监视各服务提供者确定或识别能够提供的每项服务。例如，监控有关服务提供者的任何更新的机器状态，帮助识别当前能提供的实际服务。服务请求者按照类似于从服务提供者接收信息的方式而发出请求所需服务的请求。接着，在与对应服务类型(例如刻蚀)相关的调度站中列入被提供的服务和被请求的服务。在调度站，将被提供的服务和被请求的服务组合在一起，形成服务请求者/服务提供者组(例如这样的一个例子可以是与一个或多个刻蚀服务提供者成对的刻蚀请求)。由此，为服务请求者/服务提供者组定级，并将其设置为调度选项。然后，通过自动、半自动、或人工方式选择一组服务请求者/服务提供者组，并在进行调度以满足服务要求之前根据用户定义的操作标准加以验证。
图1是现有技术的半导体制造过程；图2描绘了适合实施并利用本发明的各个方面和原理的制造设备的一个例子；图3描绘了表示可用于实施本发明各原理的图2计算系统中实施的各种计算过程的方框图的一个例子；图4描述了本发明的资源协调部件或装置(component)中使用的一组调度站的一个例子；图5描述了用于为图2制造设备的服务计划建模型的建模过程的一个例子；图6～8描述了用于在图2制造设备的操作时间内调度并执行服务的过程的例子；图9是描述图2制造设备中用于建立模型、调度和执行服务的处理程序的流程图；图10是描述图9程序中实施的建模过程的流程图；图11是依照本发明的原理用于将服务请求者与服务提供者匹配起来的过程的流程图；图12是描述依照本发明的原理用于选择调度选项的多个调度模式的流程图；图13是表示可在图2的制造设备中使用的计算系统的一个例子的方框图；以及图14表示用于存储本发明的计算机执行程序的存储媒介的一个例子。
具体实施例方式
图2表示适合实施并利用本发明各原理的制造设备的一个例子。现在参照图2描述自动化的半导体制造设备200，它通过执行一个或多个制造服务计划而用于半导体装置的制造过程中。设备200包括大量资源节点202，每个节点借助数据总线220与另一节点相连，它还具有大量用户接口224和计算主服务器228。每个资源节点202(即，下面所述的服务提供者或服务请求者)都与制造设备200关联，用于监视资源。在本发明考虑的实施例中，资源节点202通过位于它们各自的资源中或与之相连的计算机程序或计算服务器来执行任务。例如，资源节点包括例如可在资源处的计算处理器中执行任务的硬件或软件。在其它例子中，资源节点包括用于读取或监视信息的计算处理器和/或接口，所述信息例如写在材料载体等上面的条形编码数据。与资源节点202相关联的资源包括普通半导体加工厂中使用的各种加工工具以及实体或材料批次(material lots)。根据资源是请求服务还是能够提供服务，可将资源分为服务提供者或服务请求者。例如，资源节点204可与大量刻蚀部件或装置实体相关联。当刻蚀部件或装置提供刻蚀服务的物资供应时，它们是服务提供者。相反，当刻蚀器应当得到维护或修理时，它们变为服务请求者。对于节点206、208和210也是一样，它们与示范设备200的其它工具(例如氧化、光刻、注入部件或装置等)相连。另一方面，节点212和214与需要上面所列服务提供者提供的那些服务之类的服务的具体批次或材料相连。这些情况下，如上面所述，材料或批次一般都存储在载体等上面，所述载体都带有例如可借助光笔或其它类似部件或装置采集的关于批次的信息。
还要注意的是，尽管将图2的实施例描述为可在半导体制造设备中实施，但本发明的原理还可类似地用于其它部件或装置。例如，本发明的方法和原理可用于其它任何自动化制造设备，例如汽车制造厂、食物或饮料加工厂、家具加工厂等。
除了资源节点202和与其相连的资源之外，制造设备200还包括大量用户接口224，有利的是在执行设备服务计划过程中它们用于监视设备200的各部件或装置的状况。类似地，正如下面要描述的，例如制造工程师或操作员还可利用用户接口224来输入模型数据，选择特定资源以达到某些结果。
依照本发明的原理，设备服务计划的各操作或服务以及对资源的操作或加工可通过在主计算服务器228(或多个计算服务器)内执行的一个或多个计算程序来协调，图3中示出了它们的一个例子。现在参照图3，将制造执行系统(MES)310表示为正在主计算机服务器228中实施。尤其是，本发明的实施例考虑到让MES310担负起对执行或完成设备服务计划所需的每项服务和资源实现自动化、一体化、以及协调的责任。
在图3所示的示范性实施例中，MES310包括大量计算部件或装置。例如，MES310包括调度部件或装置(dispatching component)320，工作管理部件或装置350，设备管理部件或装置355，以及过程控制部件或装置360。而调度部件或装置320又包括资源协调部件或装置325，调度处理部件或装置330，事件管理器335，操作标准部件或装置340，以及服务管理部件或装置345。有利的是，调度部件或装置320与其它MES310部件或装置一起有助于操作时间之前为设备资源建立模型，所述资源包括每个服务请求者和服务提供者的，接着按照让请求特定服务的服务请求者与当前能够提供该被请求的服务的服务提供者相匹配的方式执行设备服务计划。
特别是，在服务计划建模过程中(下面结合图5描述的例子)，将过程控制部件或装置360用作编辑器，用以接收工作流程或一项工作的预排步骤序列。例如，在某些实施例中，操作员或工程师利用过程控制部件或装置360输入任何或所有这样的建模数据。例如，过程控制部件或装置360接收可控制特定工具(即材料或实体工件)操作的步骤。类似地，可将这些步骤导入某批次或材料(即材料或批工件)所需的服务中。同样，这些步骤包括实施单项服务(即操作工件)所需的每项任务。然后，在操作时间内，过程控制部件或装置360执行这些工作流程或工作。更具体来说，正如下面要讨论的，过程控制部件或装置360接收来自工作管理部件或装置350或设备管理部件或装置355的请求，开展这些工作，从而满足该服务请求。
另一方面，例如设备管理部件或装置355可允许操作员定义能够由特定服务提供者(例如特定的工具或机器)提供的服务的列表。另外，设备管理部件或装置355还用于限定实施每项服务时的条件或机器状态。例如，在建模过程中，操作员指示为了让特定刻蚀器提供某项刻蚀服务，刻蚀器必需至少具备两个当前能运转的腔室。如果这些腔室不能运转，那么刻蚀器就不能提供该刻蚀服务。然后在操作时间内，通过询问设备管理部件或装置355获得例如提供某项服务的每个服务提供者的当前有效性。另外，还是在操作时间内，利用设备管理部件或装置355(结合过程控制部件或装置360)开始或启动有关特定服务提供者的工作流程。
在建模阶段还可以利用类似的设备管理部件或装置355和工作管理部件或装置350。但是，可让工作管理部件或装置350针对服务请求者(例如特定产品)而不是建模服务提供者。例如，在建模过程中，利用工作管理部件或装置350定义特定批次或材料的属性。于是，将诸如芯片之类的特定产品所需的每个属性输入工作管理部件或装置350中。
如图3中所描绘的，调度部件或装置320例如包括5个单独的部件或装置，每个部件或装置都负责各种处理功能。例如，服务管理部件或装置345用于为设备加工过程中使用的服务列表建立模型。为了作到这些，可以预见的是，可将通过执行而产生最终产品时实现计划所需的服务输入到服务管理部件或装置345中。例如，输入制造特定产品所需的每个步骤，它们包括任何需要的或必需的命令或序列(即，任何连续步骤)。另外，这些步骤可以是需要满足某些技术标准或要求的条件步骤。例如，在让工序进行到淀积步骤前，需要重复刻蚀服务，直至满足某些技术标准。另外，操作标准部件或装置340执行一套用于管理每项服务计划的操作或业务标准。更具体而言，可执行这些操作标准来提高效率或用于类似目的。例如，一项操作标准可要求特定刻蚀器在开始刻蚀服务之前至少要装载三个批次。按照同样方式，另一操作标准可要求仅对非试验批次实施服务。再一示范性的操作标准包括用于特定批次的共用工具技巧。还可衡量这些操作标准，以便识别实施某项服务的最佳方法。例如，优选使用仅用单个腔室提供特定服务的第一刻蚀器而不是需要两个腔室的第二刻蚀器实施服务。该情况下，服务的操作标准将为第一刻蚀器加上较大砝码或等级。在这些实施例中，例如操作员或工程师可借助用户接口224等在建模过程中输入这些标准。操作时，操作标准部件或装置340产生由加权了的服务请求者/服务提供者组组成的调度列表。(象前面在概述部分讨论的那样，下面将进一步讨论)一旦由MES 340以自动方式或由操作员以人工方式(下面还要提及)选出一组服务请求者/服务提供者组，就利用操作标准部件或装置340验证或保证所选组预所有适用的操作标准相符。
调度部件或装置320还包括资源协调部件或装置325。在建模过程中，资源协调部件或装置325接收到与大量用户定义的调度站相关的信息。例如，用户愿意定义包括位于设备200的特定位置的所有服务提供者的调度站。用户按照相同方式定义包括大量类似工具(例如大量刻蚀器)的调度站。无论什么情况，都要在资源协调部件或装置325内实施这些调度站，它们有助于根据所提供的相应服务或请求的相应服务来匹配或组合服务提供者与服务请求者。正如下面所讨论的，操作时，资源协调部件或装置325分别从服务提供者和服务请求者接收代表当前能够提供的服务和被请求的服务的信息或请求。将被提供的服务和被请求的服务置于对应的调度站中或让它们关联起来。一旦将它们加入调度站，资源协调部件或装置325就公布表示调度站已更新的讯息。然后，如果由于加入调度站而最终产生了有效的资源请求者/资源提供者组，那么资源协调部件或装置325就通过请求过程控制部件或装置360开始一项操作工作。这些完成以后，资源协调部件或装置325从它们的调度站释放出与完成工作相关联的资源。
用事件管理器335或事件管理器335的专用实例监视由资源协调部件或装置325公布的讯息。事件管理器335一接到讯息就调用调度处理部件或装置330，让它向资源协调部件或装置325询问选项或候选资源的列表。然后事件管理器335将该列表传给操作标准部件或装置340，部件或装置340再产生调度优化的选项列表。正如下面要讨论的，每个来自调度站的、根据标准操作部件或装置340执行的操作标准加权了的资源请求者/资源提供者的组，包括这些调度选项。在本发明的完全自动化实施例中，除了向标准部件或装置340询问优化的调度选项之外，调度处理部件或装置330还自动地从调度列表中选择第一或最高等级的选项加以验证和调度。另外，正如下面要讨论的，还可以有半自动和人工方式的实施例。在前一情况下，例如，将定级了的调度选项表呈给操作员，他再选择一个选项进行验证和调度。在人工方式的实施例中，操作员无需借助调度部件或装置320的帮助选择选项。正如上面所提到的，每项工作由标准操作部件或装置340来验证，通过调用资源导致部件或装置325启动调度。
尽管将处理设备200描述为要结合图3的310MES操作，但要理解的是其它选择方案也是可行的。在这一点上，要理解的是使用图3的特殊处理部件或装置仅是为了方便，任意数量的计算程序只要易于实施就可以。例如，图3的任何一个部件或装置或任何部件或装置的组合都可用任何一个或多个类似的计算程序(computing processes)代替。例如，可用单个程序来代替资源协调部件或装置325和过程控制部件或装置360。同样，可用两个功能不同的程序代替事件管理器335。也可以有其它选择方案。另外，在本发明的发明内，图3的部件或装置也可以位于物理地不同的计算节点或系统中，例如用于分布式计算环境的某些类型中。例如，操作标准部件或装置340可以在部件或装置外的系统内执行。类似地，设备管理部件或装置335可在资源节点处执行。
参照图4，本发明的实施例考虑到在资源协调部件或装置325内设置多个调度站410。正如上面所提到的，每个调度站410都与一项或多项服务相关，它们代表需要优化工作的工厂内的点。例如，在建模阶段可由工艺工程师或操作员定义与每个调度站410相关的服务。作为一个例子，可将服务与其它类似的服务组合在一起。于是可将大量的刻蚀服务组合到一个调度站中。同样，将大量氧化服务组合到第二个不同的调度站中。另一个例子是，可根据物理位置对这些服务进行组合。于是，可将位于设备200的一个位置上的所有资源置于一个调度站中，将第二个位置上的所有资源置于第二调度站中。
每个调度站410用作将服务请求与服务供应匹配起来的交换器或市场，匹配是通过管理服务列表和每项服务的资源列表(即服务提供者/服务请求者)来进行。例如，操作时，由资源协调部件或装置325接收的服务提供和服务请求与适当的调度站410相关联，在此将它们匹配起来。如图4所示，每个调度站410提供服务列表420，该列表上的每项服务又支持资源列表。在接收到服务提供和服务请求时，对它们进行设置或者让它们与适当的服务关联。于是，来自服务提供者和请求者的服务提供和请求就被设置在与该被提供的服务相关联的每个调度站的特定服务资源表中。
服务提供者与服务请求者之间的每个匹配都构成了匹配的服务提供者/服务请求者组，然后将它们列为调度列表430中的一个调度选项。例如，如果刻蚀器10能提供对批次A、B和C的服务A，那么调度表上服务A的那个调度选项就表示刻蚀器10能够提供由批次A、B和C请求的服务。类似地，如果能由刻蚀器20为批次A、E、F和G提供相同服务，那么同一列表中第二调度选项就表示刻蚀器20能够提供批次A、E、F和G请求的服务。在本发明考虑的实施例中，如果选择了调度表并启动了操作工作开始执行，这些服务提供者和服务请求者就会保留在已开始操作工作的调度站的资源列表中用于特定服务，直至操作工作已完成了它们的服务。此时释放出资源。
现在参照图5，其描绘了本发明所用的建模步骤的一个例子。在该步骤中，输入有关服务计划的信息和数据。例如，将与设备资源有关的数据输入工作管理部件或装置350和设备管理部件或装置355中。特别是，将处理批次或材料所需的操作或服务输入到工作管理部件或装置350中(步骤502)。同样地，将包括能由工具提供的服务以及提供这些服务的条件的工具或机器标准输入设备管理部件或装置355中(步骤506)。另外，将操作、材料和实体工作或工作流程输入过程控制部件或装置360中(步骤510)。将包括与每个调度站410相关联的服务的调度站信息输入资源协调部件或装置325中(步骤514)。另外，将操作标准输入标准部件或装置340中(步骤518)。建模完成之后，过程继续到启动被建模的材料和工具的工作流程(或工作)。
现在参照图6-9描述执行一项服务或操作的例子。如图6所示，在启动了材料的工作流程之后，借助过程控制部件或装置360从批次节点212向资源协调部件或装置325发送请求，要求特定的服务(步骤602)。借助过程控制部件或装置360向资源协调部件或装置325发送表示可以提供一项或多项服务的类似请求或信息(步骤S606)。除了该信息之外，工具节点204还向设备管理部件或装置355报告它的状况或机器状态的任何变化(步骤610)。例如，此时刻蚀器报告它的一个腔室正在使用中。在收到工具节点的报告后，设备管理部件或装置355向资源协调部件或装置325提供能由该工具提供的新服务列表(步骤614)。通过这样作，资源协调部件或装置325识别当前能由单个工具提供的实际服务。利用该信息，资源协调部件或装置325将每项服务关联或分配到适当调度站(未示出)中。在其它实施例中，信息包括要被联接的调度站的表示。
如图7所示，在将资源加到调度站中之后，资源协调部件或装置325就公布资源事件(步骤702)。除了调度站改变之外，资源协调部件或装置325还响应过程中的暂停或者如果过程停止而公布事件。类似地，在完成操作工作后从调度站释放出资源时，也公布资源事件。支持资源协调部件或装置进行公布的是事件管理器335。在该例子中，事件管理器335一接到公布就调用调度处理部件或装置330，试图执行操作工作(步骤706)。响应该事件管理器的调用，调度处理部件或装置330首先向资源协调部件或装置325询问调度列表(步骤710)。接着，选择一项调度选项(即服务请求者/服务提供者组)。按照下面所描述的，用于选择选项的方法取决于是否使用自动、半自动或人工模式。不管使用何种方法，接着由操作标准部件或装置340验证所选的调度选项(步骤714)。正如上面所提到的，操作标准部件或装置340保证所选的调度选项与每项服务标准相符。
参照图8，在验证了所选的调度选项之后，资源协调部件或装置325通过请求过程控制部件或装置360调度所选项的操作工作(步骤804)。由此，过程控制部件或装置360例如通过请求材料机械手将批次或材料移到机器上来执行服务条款，并开始执行操作工作以满足服务要求。服务一旦完成，过程控制部件或装置360就通知资源协调部件或装置325(步骤808)。作为响应，资源协调部件或装置325将每项资源释放回过程控制部件或装置360(步骤812)。另外，从与启动了操作工作的调度站相关的服务资源列表中清除与所完成的服务相关的每项资源。
现在参照图9-12描述本发明未进行的处理过程。参照图9作为概括，处理过程由为材料和工具的工作流程以及操作工作建立模型而开始(步骤904)。接着，执行工作流程(步骤908)。在处理或执行过程中，调度一项或多项操作工作来实施大量被请求的服务(步骤912)。
图10表示本发明的建模阶段或过程。从工具或服务提供者开始，将能由特定资源提供的每项服务输入设备管理部件或装置355(步骤1010)。接着，输入为了让特定资源能提供它的每项服务所必需满足的条件(步骤1012)。按照同样的方式将每个批次或材料所需的服务输入工作管理部件或装置350(步骤1020)。同样，将服务计划中使用的每项操作标准输入标准部件或装置340(步骤1030)。如上所述，这些操作标准可用于通过在调度一项工作之前要求一致来管理每项服务计划。另外，还要将操作、材料和实体工作或工作流程随调度站信息、包括与每个站410关联的服务一起输入进去(步骤1040)。一旦输入了上述信息，建立模型过程就终止。
在完成了建模之后，启动工作流程。参照图11，通过步骤1110-1114描述了实物/工具/服务提供者工作流程或工作的一个例子。更具体而言，工作流程控制工具与调度站结合，提供出一项或多项服务(步骤1110)。按照下面所描述的，然后将工具或服务提供者与一个或多个服务请求者匹配起来，在它最后被释放出来之前提供服务(见步骤1120-1138)。释放后，工具的工作流程检查是否应当维护(步骤1112)。如果不应当维护，工具的工作流程就回到步骤1110，再次促使工具与调度站结合以提供服务。该工作流程一直重复直至终止。但是，如果应当维护，工具就与一个调度站结合并作出维护请求(步骤1114)。至此，工具或服务提供者变为批次或服务请求者，其遵从材料或批次的工作流程而不是工具的工作流程。
通过步骤1150-1154来描述材料/批次/服务请求者工作流程或工作的一个例子。开始时，批次或材料向工作管理部件或装置350询问它的下一次被请求的操作或服务(步骤1150)。在识别了下一次被请求的服务或操作之后，控制该材料或批次向资源协调部件或装置325请求它被要求的服务(步骤1152)。由此，正如下面所讨论的，该材料或批次与服务提供者匹配，而在它最终被释放出来之前，可能会有其它的服务请求者接受服务(见步骤1122-1138)。在资源协调部件或装置325释放出批次或材料之后，材料的工作流程检查计划是否完成(步骤1154)。如果计划完成，过程就终止。但是，如果计划未完成，材料的加工过程在计划完成之前继续提供所需的剩余服务。
在指示提供服务之后(步骤1110)，工具向资源协调部件或装置325表示它现在能提供服务(步骤1120)。于是，象上面所讨论的，资源协调部件或装置325根据工具状况确定的内容确认当前能由设备管理部件或装置355提供哪项服务。接着，将能够提供的服务置于每个与该服务相关的调度站中(步骤1124)。
同样，在指示请求服务后，批次向资源协调部件或装置325发送请求(步骤1122)。然后，将请求置于每个与该被请求的服务相关的调度站中(步骤1126)。
由此，每项服务请求都与服务提供匹配，这形成了大量调度选项或服务提供者/服务请求者组(步骤1128)。另外，重要的是要注意到一个组能包含任意数量的服务请求者和/或服务提供者。例如，单个刻蚀器能够为三个批次提供被请求的刻蚀服务。于是该服务提供者/服务请求者组包括四项资源。接着，根据操作标准部件或装置340的操作标准为调度选项或服务提供者/服务请求者组定级(步骤1130)。
如上所述，然后系统以自动方式自动、结合操作员以半自动方式、或者由操作员以人工方式选择一个调度选项，然后利用操作标准部件或装置340进行验证(步骤1132)。验证后，在从启动了操作工作的调度站释放出服务提供者/服务请求者(步骤1138)之前，启动(步骤1134)并完成(步骤1136)操作工作。
现在参照图12描述上面提到的调度模式。开始时，过程识别或判断出操作工作是否以人工、半自动或自动方式来调度(步骤1204)。如果调度是以人工方式作出，那么工艺工程师或操作员就不用借助系统的帮助，而是借助例如用户接口224人工地选择用于实施特定服务的工具(步骤1208)。如果调度是半自动的，就将加权的调度选项提供给操作员，然后他根据有效选项进行选择(步骤1224)。如果调度是自动或全自动的，就由调度处理部件或装置330自动选择最高等级的选项(步骤1230)。另外，如果有多个选项的级别相等，调度处理部件或装置330就根据先进先出原则(FIFO)或其它类似方法选择选项。选择选项之后，操作标准部件或装置340验证所选的选项，以保证其与过程标准相符(步骤1240)。
应当理解的是，此处所述的流程图实际上都是示范性的。在不脱离本发明精神的情况下可对这些附图作一些变化。例如，这些步骤可按照不同的顺序执行，或者可以添加、删除或修改一些步骤。因此，要理解的是，在所附权利要求的范围内，可按照具体描述之外的其它方式实施本发明。
图13表示图2主计算服务器228的内部硬件的一个例子的方框图。总线1356用作连接系统228的其它部件或装置的主信息干线。CPU1358是系统的中央处理单元，其实施执行本发明的过程以及其它程序所需的计算或逻辑操作。系统的主存储器包括只读存储器(ROM)1360和随机存取存储器(RAM)1362。磁盘控制器1364将一个或多个磁盘驱动器连接到系统总线1356上。例如执行磁盘驱动器是软盘驱动器1370、或CD ROM、或DVD(数字化视频光盘)驱动器1366、或内、外部硬盘驱动器1368。这些各式各样的磁盘驱动器或磁盘控制器都是任选部件或装置。
显示器接口1372对接显示器1348，其让来自总线1356的信息在显示器1348上显示出来。显示器1348也是任选的附件。例如，可以代替或省略显示器1348。例如，利用通信端口1374可产生与诸如系统的上述其它部件或装置之类的外部部件或装置的通信。例如，端口1374与图2的总线/网络220连接。可利用光纤、和/或电缆、和/或导体、和/光学通信(例如红外等)、和/或无线通信(例如射频(RF)等)作为外部部件或装置与通信端口1374之间的传输媒介。外围接口1354与键盘1350和鼠标1352连接，用以允许向总线1356发送输入数据。除了这些部件或装置之外，系统228还任选地包括外围发射机1378和/或红外接收机1376。当计算机系统与借助红外信号发射来发射/接收数据的一个或多个处理部件或装置/站结合使用时，可任选地利用红外发射机。可代替使用红外发射机或红外接收机的是，计算机系统还任选地利用低功率无线电发射机1380和/或低功率无线电接收机1382。低功率无线电发射机发射出由生产过程部件或装置接收的信号，并借助低功率无线电接收机从这些部件或装置接收信号。低功率无线电发射机和/或接收机是工业中的标准部件或装置。
尽管将图13中的系统228表示为具有单个处理器、单个硬盘驱动器和单个本机存储器，但系统228还可任选地适当装配任意多个处理器或存储部件或装置、或者它们的组合。例如，系统228可由能依照本发明的原理操作的任何适宜的处理系统来代替或与它们结合，它们包括高级计算器、和手提式、膝上型/笔记本、微型计算机、大型计算机和超级计算机、以及由这些计算机组合起来的处理系统网络。
图14是用于存储计算机可读编码或指令的示范性计算机可读存储介质1484的举例说明。作为一个例子，媒介1484可与图13所示的磁盘驱动器一起使用。一般而言，诸如软盘、或CD ROM、或数字化视频光盘之类的存储器媒介例如包括单字节语言的多字节地区(locale)和用于控制上述系统以保证计算机执行此处所述的功能的程序信息。可以选择的是，图13中所示的ROM1360和/或RAM1362还可用于存储用来命令中央处理单元1358执行有关紧急处理的操作的程序信息。用于此处信息的适当计算机可读媒介的其它例子包括磁、电、或光学(包括全息)存储器、它们的某些结合等。
通常来说，应当强调的是，本发明实施例的各部件或装置可用硬件、软件或它们的结合来实施。在这些实施例中，将在硬件和/或软件实施这些各种各样的部件或装置和步骤，用以执行本发明的功能。在本发明的这些实施例中可以采用任何现在可得的或将来开发的计算机软件语言和/或硬件部件或装置。例如，考虑到所用的处理器，可利用VisualBasic、C、C++、或者任何适宜的汇编语言实施至少一部分上述功能。它还可以用诸如Java之类的解释环境来编写，并将它们传输到各用户的目标文件中。
还要广泛懂得和理解的是，以上描述的本发明的具体实施例都仅是对本发明概括原理的说明。本领域的技术人员可以作出与上文阐述的原理相符的各种改进。
权利要求
1.一种将服务提供者与多个服务请求者中的一个关联起来的方法，所述方法包括以下步骤(1)从服务提供者接收信息，所述信息包括表示能由服务提供者实施的一项或多项服务的列表；(2)将服务提供者提供的每项服务器联入一个或多个调度站；(3)从多个服务请求者的每一个中接收服务请求；(4)将每项服务请求分配给所述一个或多个调度站；以及(5)利用所述一个或多个调度站中的一个将多个服务请求者中的一个与服务提供者匹配起来，所述一个或多个调度站与所述的能提供所述被请求服务的服务提供者相关联，由此形成了匹配的服务请求者/服务提供者组。
2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括以下步骤根据用于与其它等级的匹配服务请求者/服务提供者的组作比较的一个或多个操作标准，为所述匹配的服务请求者/服务提供者的组划分等级。
3.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括在将服务提供与调度站关联起来或将服务请求分配给调度站后公布资源事件的步骤。
4.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括以下步骤(6)在将服务提供与调度站关联或为调度站分配了服务请求之后试图调度一项服务。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述步骤(2)的每个调度站都包括对应于与之关联的每项服务的服务列表，每个服务列表的每项登记都包括资源列表，所述每个资源列表中的每项登记都与一个或多个服务提供者或服务请求者相关。
6.根据权利要求5所述的方法，其中资源列表中所列的服务提供者和服务请求者至少构成了匹配的服务提供者/服务请求者的组的一部分。
7.一种执行制造设备过程计划的方法，所述制造设备包括多项资源，这些资源包括提供服务的服务提供者和请求服务的服务请求者，所述制造设备还具有一个或多个调度站，它们将服务请求者与服务提供者匹配起来，所述方法包括以下步骤(1)为所述过程计划建立模型，其包括产生(a)所述过程计划所需的服务列表；(b)资源提供者信息，其标识能由所述资源提供者提供的每项所述服务和提供每项所述服务的条件，(c)调度站信息，其包括与所述一个或多个调度站关联的服务列表，以及(d)管理所述过程计划的执行的操作标准列表；以及(2)通过实施所述过程计划所需的所述服务执行所述过程计划，所述执行步骤包括以下子步骤(a)根据所述资源提供者信息确定的内容，将当前能由所述服务提供者提供的每项服务与对应的调度站关联起来；(b)将由所述服务请求者请求的每项服务与对应的调度站关联起来；(c)在每个调度站中，通过对请求服务的服务请求者与能够提供所述相同服务的服务提供者进行组合，形成匹配的服务请求者/服务提供者的组；(d)根据所述操作标准识别实施每项服务的一组匹配的服务请求者/服务提供者的组；(e)验证所述的那组匹配的服务请求者/服务提供者的组是否与所述操作标准相符；以及(f)调度每组匹配的服务请求者/服务提供者的组。
8.根据权利要求7所述的方法，其中所述与每个调度站相关联的服务列表是用户定义的。
9.根据权利要求7所述的方法，其中所述步骤(2)进一步包括以下步骤(g)调度完成以后，让匹配的服务请求者/服务提供者组的每项服务与对应的调度站脱离关系。
10.一种将服务请求者与服务提供者关联起来的方法，所述方法包括以下步骤(1)由多项资源的每一项接收信息，每项资源包括服务请求者或服务提供者，每条信息还包括一项被提供或被请求的服务；(2)将每项资源与多个调度站中与所述资源提供或请求的服务相关联的每个调度站关联起来；以及(3)在所述一个或多个调度站的每个站中，根据所述被提供的和所述被请求的服务让服务请求者与服务提供者匹配起来，由此形成了一组或多组匹配的服务请求者/服务提供者的组。
11.根据权利要求10所述的方法，其中所述步骤(1)的信息还包括与所述资源关联的一个或多个调度站的表示。
12.一种在制造设备中协调资源的方法，所述资源包括多个服务提供者和多个服务请求者，所述方法包括以下步骤(1)接收服务提供者和服务请求者信息，该信息包括当前能够由服务提供者提供的服务和服务请求者请求的服务；(2)根据当前能够由服务提供者提供的所述服务和由服务请求者请求的所述服务将服务请求者与服务提供者匹配起来，形成一个或多个服务提供者/服务请求者的组；(3)识别所选的服务请求者/服务请求者的组；(4)验证所选服务提供者/服务请求者的组是否与一项或多项操作标准相符；以及(5)如果所述选定的服务提供者/服务请求者的组与所述一项或多项操作标准相符，就开始所述选定的服务提供者/服务请求者组的工作流程。
13.根据权利要求12所述的方法，其中所述选定的服务提供者/服务请求者的组是通过根据所述一项或多项操作标准为所述一组或多组服务提供者/服务请求者的组排定等级来识别，然后自动地选择最高级别的组。
14.根据权利要求12所述的方法，其中所选服务提供者/服务请求者组是让用户从根据所述一项或多项操作过程定了等级的所述一组或多组服务提供者/服务请求者组的列表中进行选择来识别。
15.一种制造资源协调系统，它包括多个服务提供者的服务器，每个服务提供者的服务器都监视一个服务提供者，它们能发送表示所述一个服务提供者能提供一项或多项服务的信息；多个服务请求者的服务器，每个服务请求者的服务器都监视着一个服务请求者，它们能发送表示由所述一个服务请求者请求服务的服务请求；资源协调器，用以将服务请求者与服务提供者关联起来，所述资源协调器包括处理器，该处理器从每个服务提供者的服务器接收包括当前能够由所述服务提供者提供的服务列表的信息，并从每个服务请求者的服务器接收服务请求，所述资源协调器还包括存储器，用以提供能将一个或多个服务请求者与服务提供者关联起来的一个或多个调度站；以及其中所述处理器将每个提供者提供的每项服务与调度站关联起来，将每个服务请求者请求的每项服务与所有关联了能够提供所述被请求服务的服务提供者的调度站关联起来，从而形成了一组或多组匹配的服务请求者/服务提供者的组。
16.根据权利要求15所述的系统，它还包括标准部件，用以根据一项或多项操作标准为所述匹配的服务请求者/服务提供者组排列等级，所述操作标准用于将所述一组或多组定了等级的匹配的服务请求者/服务提供者的组彼此作比较。
17.根据权利要求15所述的系统，其中所述处理器在将服务提供与调度站关联起来或将服务请求分配给调度站后公布资源事件。
18.根据权利要求15所述的系统，其中所述处理器试图在将服务提供与调度站关联起来或将服务请求分配给调度站后调度一项服务。
19.根据权利要求15所述的系统，其中每个调度站都包括服务列表，该服务列表对应于与之相关的每项服务，所述服务列表中的每项登记都包括资源列表，每个资源列表中的每项登记都与一个或多个服务提供者或服务请求者相关。
20.根据权利要求19所述的系统，其中资源列表中所列的服务提供者与服务请求者至少构成了匹配的服务提供者/服务请求者组的一部分。
21.一种执行制造设备过程计划的系统，所述系统包括多项资源，它们包括提供服务的服务提供者与请求服务的服务请求者；计算处理器，用以提供一个或多个调度站，每个调度站被设置成能将服务请求者与服务提供者匹配起来，所述处理器包括建模部件，用以产生执行所述过程计划所需的服务列表，资源提供者信息识别能由所述资源提供者提供的每项服务以及提供每项服务的条件，调度站信息包括与每个调度站关联的服务列表以及管理执行所述过程计划的操作标准列表；以及调度部件，用以通过实施所述过程计划所需的每项服务来执行所述过程计划，其中所述调度部件通过以下步骤执行所述过程根据所述资源提供者信息确定的内容将当前能由所述服务提供器提供的每项服务与对应的调度站关联起来；将所述服务请求者请求的每项服务与对应的调度站关联起来；在每个调度站中通过将服务请求者请求的服务与能够提供该项服务的服务提供者组合起来而形成匹配的服务请求者/服务提供者的组；根据所述操作标准识别实施每项服务的那组匹配的服务请求者/服务提供者的组；验证所述那组匹配的服务请求者/服务提供者的组是否与所述操作标准相符；以及调度每组匹配的服务请求者/服务提供者的组。
22.根据权利要求21所述的系统，其中所述与每个调度站关联的服务列表是用户定义的。
23.根据权利要求21所述的系统，其中所述调度部件还在调度完成后解除匹配的服务请求者/服务提供者组的每项服务与对应调度站的关联。
24.一种制造资源协调系统，其包括多个资源服务器，每个资源服务器与一项资源关联，每项资源包括服务请求者或服务提供者，每个所述资源服务器能够发送包含被请求或被提供的服务的信息；资源协调器，用以将服务请求者与服务提供者关联起来，所述资源协调器包括从所述资源服务器接收所述信息的处理器，以及提供多个调度站的存储器，其中每个调度站与一项或多项服务关联；其中，所述处理器一接到所述信息，就将每项资源与对应的调度站关联起来，并在每个所述调度站中根据所述被提供和所述被请求的服务，将服务请求者与服务提供者匹配起来，从而形成一组或多组匹配的服务请求者/服务提供者的组。
25.根据权利要求24所述的系统，其中所述信息还包括与所述资源相关联的一个或多个匹配站的指示。
26.一种协调部件，它包括计算处理器，它能接收服务提供者的信息和服务请求者的信息，所述服务提供者信息包括当前能由服务提供者提供的服务，所述服务请求者信息包括由服务请求者请求的服务；存储器，它提供了一个或多个调度站，所述调度站能根据当前能由服务提供者提供的所述服务和服务请求者请求的所述服务将服务请求者与服务提供者匹配起来，从而形成一组或多组服务提供者/服务请求者的组；以及其中处理器一旦识别了所选服务提供者/服务请求者的组，并验证了所述选定的服务提供者/服务请求者的组与一项或多项操作标准的相符性，所述处理器就开始启动所述选定的服务请求者提供者/服务请求者的组的工作流程。
27.根据权利要求26所述的部件，其中所述处理器根据所述一项或多项操作标准，通过为所述一组或多组服务提供者/服务请求者的组排列等级来识别所述选定的服务提供者/服务请求者的组，然后自动地选择最高等级的组。
28.根据权利要求26所述的部件，其中通过允许用户从根据所述一项或多项操作标准定了等级的所述一组或多组服务提供者/服务请求者的组的列表中进行选择，所述处理器能够识别所述选定的服务提供者/服务请求者的组。
29.一种将服务请求者与服务提供者关联起来的装置，所述装置包括从多个服务提供者中的每一个接收信息的装置，每条信息都包括当前能由对应的服务提供者实施的一项或多项服务的列表；将由所述多个服务提供者提供的每项服务关联到一个或多个调度站中的装置；从多个服务请求者中的每一个接收服务请求的装置；将每项服务请求分配给已让能提供所述被请求的服务的一个或多个服务提供者与之相关联的一个或多个调度站的装置；以及将所述服务请求者与一个或多个调度站中的每个服务提供者匹配起来的装置，其中所述调度站已让能提供所述被请求的服务的一个或多个服务提供者与之关联起来，从而形成一组或多组匹配的服务请求者/服务提供者的组。
30.根据权利要求29所述的装置，它还包括能根据一项或多项操作标准为所述匹配的服务请求者/服务提供者的组排定等级的装置，以及能将所述一个或多个定了等级的匹配服务请求者/服务提供者的组彼此作比较的装置。
31.根据权利要求29所述的装置，它还包括在将服务提供与调度站关联起来或将服务请求提供给调度站后公布资源事件的装置。
32.根据权利要求29所述的装置，它还包括在将服务提供与调度站关联起来或将服务请求提供给调度站后试图调度一项服务的装置。
33.根据权利要求29所述的装置，其中每个调度站包括服务列表，所述服务列表对应于与之相关的每项服务，所述服务列表中的每项登记都包括资源列表，所述资源列表中的每项登记都与一个或多个服务提供者或服务请求者相关联。
34.根据权利要求33所述的装置，其中资源列表中所列的服务提供者和服务请求者至少构成了匹配的服务提供者/服务请求者的组的一部分。
35.一种执行制造设备过程计划的装置，所述制造设备包括多项资源，所述资源包括提供服务的服务提供者和请求服务的服务请求者，所述制造设备还具有一个或多个调度站，用以将服务请求者与服务提供者匹配起来，所述装置包括用于为所述过程计划建立模型的装置，它包括产生所述过程计划所需的服务列表、资源提供者信息和调度站信息，资源提供者信息用于识别能由所述服务提供者提供的每项服务以及提供每项服务的条件，调度站信息包括与每个调度站相关的服务列表和管理所述过程计划的执行的操作标准列表；以及通过实施所述过程计划所需的每项服务来执行所述过程计划的装置，所述执行装置包括将根据所述资源提供者信息确定的当前能由所述服务提供者提供的每项服务与对应的调度站关联起来的装置，将由所述服务请求者请求的每项服务与对应的调度站关联起来的装置，在每个调度站中形成匹配的服务请求者/服务提供者组的装置，它通过将服务请求者请求的服务与能够通过该项服务的服务提供者组合起来实施上述匹配，根据所述操作标准识别实施每项服务的那组匹配的服务请求者/服务提供者的组的装置，验证所述那组匹配的服务请求者/服务提供者的组与所述操作标准是否相符的装置，以及调度每组匹配的服务请求者/服务提供者的组的装置。
36.根据权利要求35所述的装置，其中所述与每个调度站关联的服务列表是用户定义的。
37.根据权利要求35所述的装置，其还包括在完成调度后解除匹配的服务请求者/服务提供者的组中的每项服务与对应的调度站的关联的装置。
38.一种将服务请求者与服务提供者关联起来的装置，所述装置包括从多项资源中的每项资源中接收信息的装置，每项资源都包括服务请求者或服务提供者，每条信息还包括一项被提供或被请求的服务；将每项资源与多个调度站中已关联了由所述资源提供或请求的服务的每个调度站关联起来的装置；以及根据所述被提供和所述被请求的服务，将服务请求者与所述一个或多个调度站中每一个的服务提供者关联起来、从而形成一组或多组匹配的服务请求者/服务提供者的组的装置。
39.根据权利要求38所述的装置，其中所述信息还包括与所述资源关联的一个或多个调度站的表示。
40.一种用于协调制造设备中的资源的装置，所述资源包括多个服务提供者和多个服务请求者，所述装置包括接收服务提供者和服务请求者信息的装置，所述信息包括当前能由服务提供者提供的服务和由服务请求者请求的服务；根据所述能由服务提供者提供的当前服务和由服务请求者请求的所述服务将服务请求者与服务提供者匹配起来、从而形成一组或多组服务提供者/服务请求者组的装置；识别所选的服务提供者/服务请求者组的装置；验证所述选定的服务提供者/服务请求者组是否与一项或多项操作标准相符的装置；以及如果所述选定的服务提供者/服务请求者组与所述一项或多项操作标准相符，就启动所述选定的服务提供者/服务请求者组的工作流程的装置。
41.根据权利要求40所述的装置，其中所述识别装置还包括根据所述一项或多项操作标准为所述一组或多组服务提供者/服务请求者的组定等级的装置，以及自动选择最高级别的组的装置。
42.根据权利要求40所述的装置，其中所述识别装置还包括根据所述一项或多项操作标准为所述一组或多组服务提供者/服务请求者组定等级的装置，以及允许用户从所述一组或多组服务提供者/服务请求者组的定级列表中进行选择的装置。
43.一种包含在计算机可读媒介中的计算机程序，用于将服务请求者与服务提供者关联起来，所述程序包括可从多个服务提供者的每一个中接收信息的计算机可读指令，每个信息包括当前能由对应的服务提供者实施的一项或多项服务的列表；可将由所述多个服务提供者提供的每项服务关联到一个或多个调度站中的计算机可读指令；从多个服务请求者中的每一个中接收服务请求的计算机可读指令；将每项服务请求分配给已让能提供所述被请求的服务的一个或多个服务提供者与之关联起来的一个或多个调度站的计算机可读指令；以及在已让能提供所述被请求的服务的一个或多个服务提供者与之关联的所述一个或多个调度站中，将所述服务请求者与每个服务提供者匹配起来、由此形成一个或多个匹配的服务请求者/服务提供者组的计算机可读指令。
44.根据权利要求43所述的计算机程序，其还包括根据一项或多项操作标准为所述匹配的服务提供者/服务请求者组定等级的计算机可读指令，以及将所述一组或多组定了等级的匹配的服务提供者/服务请求者组彼此作比较的计算机可读指令。
45.根据权利要求43所述的计算机程序，其还包括在将服务提供与调度站关联起来或将服务请求分配给调度站之后公布资源事件的计算机可读指令。
46.根据权利要求43所述的计算机程序，其还包括在将服务提供与调度站关联起来或将服务请求分配给调度站之后试图调度一项服务的计算机可读指令。
47.根据权利要求43所述的计算机程序，其中每个调度站包括服务列表，所述服务列表对应于与之关联的每项服务，服务列表中的每项登记都包括资源列表，所述资源列表中的每项登记都与一个或多个服务提供者或服务请求者相关联。
48.根据权利要求47所述的计算机程序，其中资源列表中所列的服务提供者与服务请求者至少构成了匹配的服务提供者/服务请求者组的至少一部分。
49.一种包含在计算机可读媒介中的用于执行制造设备过程计划的计算机程序，所述制造设备包括多项资源，所述资源包括提供服务的服务提供者和请求服务的服务请求者，所述制造设备还提供了将服务请求者与服务提供者匹配起来的调度站，所述程序包括为所述过程计划建立模型的计算机可读指令，它包括产生所述过程计划所需的服务列表、资源提供者信息和调度站信息，资源提供者信息用于识别能由所述服务提供者提供的每项服务以及提供每项服务的条件，调度站信息包括与每个调度站相关的服务列表和管理所述过程计划的操作标准列表；以及通过实施所述过程计划所需的每项服务来执行所述过程计划的计算机可读指令，用于执行的所述计算机可读指令包括用于将根据所述资源提供者信息确定的当前能由所述服务服务器提供的每项服务与对应的调度站关联起来的计算机可读指令；用于将所述服务请求者请求的每项服务与对应的调度站关联起来的计算机可读指令，在每个调度站中用于通过将服务请求者请求的服务与能提供所述服务的服务提供者组合起来而形成匹配的服务请求者/服务提供者组的计算机可读指令，用于根据所述操作标准识别用于实施每项服务的那组匹配服务请求者/服务提供者组的计算机可读指令，用于验证所述那组匹配的服务请求者/服务提供者组是否与所述操作标准相符的计算机可读指令，以及用于调度每组匹配的服务请求者/服务提供者组的计算机可读指令。
50.根据权利要求49所述的计算机程序，其中与每个调度站相关的所述服务列表是用户定义的。
51.根据权利要求49所述的计算机程序，其还包括在调度完成后解除匹配的服务请求者/服务提供者组的每项服务与对应调度站的关系的计算机可读指令。
52.一种包含在计算机可读媒介中、用于将服务请求与服务提供者关联起来的计算机程序，所述程序包括用于从多项资源的每一项中接收信息的计算机可读指令，每项资源包括服务请求者或服务提供者，每项信息还包括一项被提供的或被请求的服务；将每项资源与多个调度站中与由所述资源提供或请求的服务相关的每个调度站关联起来的计算机可读指令；在所述一个或多个调度站的每一个中根据所述被提供和被请求的服务将服务请求者与服务提供者匹配起来、由此形成一个或多个匹配的服务请求者/服务提供者组的计算机可读指令。
53.根据权利要求52所述的计算机程序，其中所述信息还包括与所述资源相关的一个或多个调度站的标识。
54.一种包含在计算机可读媒介中用于协调制造设备中的资源的计算机程序，所述资源包括多个服务提供者和多个服务请求者，所述程序包括用于接收服务提供者和服务请求者信息的计算机可读指令，所述信息包括当前能由服务提供者提供的服务和服务请求者请求的服务；用于根据当前能由服务提供者提供的所述服务和服务请求者请求的所述服务将服务请求者与服务提供者匹配起来从而形成一组或多组服务提供者/服务请求者组的计算机可读指令；用于识别所选的服务提供者/服务请求者组的计算机可读指令；用于验证所述选定的服务提供者/服务请求者组是否与一项或多项操作标准相符的计算机可读指令；以及如果所述选定的服务提供者/服务请求者组与所述一项或多项操作标准相符，就启动所述选定的服务提供者/服务请求者组的工作流程的计算机可读指令。
55.根据权利要求54所述的计算机程序，其进一步包括用于根据所述一项或多项操作标准为所述一组或多组服务提供者/服务请求者组定等级的计算机可读指令，以及自动选择最高等级的组的计算机可读指令。
56.根据权利要求54所述的计算机程序，其进一步包括用于根据所述一项或多项操作标准为所述一组或多组服务提供者/服务请求者组定等级的计算机可读指令，以及允许用户在所述一组或多组服务提供者/服务请求者组的等级列表中进行选择的计算机可读指令。
57.一种计算机可读的媒介，其包含能通过以下步骤将服务提供者与多个服务请求者中的一个关联起来的计算机程序(1)从服务提供者接收信息，所述信息包括表示能由服务提供者提供的一项或多项服务的列表；(2)将服务提供者提供的每项服务关联到一个或多个调度站中；(3)从多个服务请求者的每一个中接收服务请求；(4)将每项所述服务请求分配给所述一个或多个调度站；以及(5)利用所述的一个或多个调度站中的一个调度站将多个服务请求者中的一个与服务提供者匹配起来，而所述一个或多个调度站中的那个调度站与能提供所述被请求的服务的服务提供者相关，由此形成了匹配的服务请求者/服务提供者组。
58.根据权利要求57所述的计算机程序，其还包括以下步骤(6)根据一项或多项操作标准为所述匹配的服务请求者/服务提供者组排定等级，用以将所述一组或多组定级的匹配服务请求者/服务提供者组彼此作比较。
59.根据权利要求57所述的计算机程序，其还包括以下步骤(6)在将服务提供关联给调度站或将服务请求分配给调度站后公布资源事件。
60.根据权利要求57所述的计算机程序，其还包括以下步骤(6)在将服务提供关联给调度站或将服务请求分配给调度站后试图调度一项服务。
61.根据权利要求57所述的计算机程序，其中每个调度站包括服务列表，所述服务列表对应于与之相关的每项服务，所述服务列表中的每项登记包括资源列表，所述资源列表中的每项登记与一个或多个服务提供者或服务请求者相关。
62.根据权利要求61所述的计算机程序，其中资源列表中所列的服务提供者和服务请求者至少构成了匹配的服务提供者/服务请求者组的一部分。
全文摘要
通过提供动态地将服务请求者与服务提供者匹配起来的程序提高了制造设备的效率和生产率。另外，本发明的实施例将当前能够提供被请求的服务的那些服务提供者与服务请求者匹配起来。特别是，在过程计划执行过程中，由服务提供者发出有助于识别当前能够提供的服务的信息或讯息。类似地，服务请求者发出服务请求。接着，将服务提供和服务请求置于与被请求的服务相关联的调度站中。在此将服务请求者与服务提供者组合起来形成服务请求者/服务提供者的组。然后为服务请求者/服务提供者的组定级，将其作为调度选项。定级后，以自动方式选取一组服务请求者/服务提供者的组，根据用户定义的操作标准进行验证，然后调度它来满足服务要求。
文档编号G06Q50/00GK1452733SQ01815270
公开日2003年10月29日 申请日期2001年9月5日 优先权日2000年9月6日
发明者Y·T·迟, P·C·M·霍金斯, C·Q·黄, Q·金, S·莫罕, N·A·沃德 申请人:应用材料有限公司