等离子处理系统部件分析软件以及生成该软件的方法和系统的制作方法

专利名称：等离子处理系统部件分析软件以及生成该软件的方法和系统的制作方法
等离子处理系统部件分析软件以及生成该软件的方
法和系统
背景技术：
等离子处理的进步为半导体工业的增长做好了准备。随着等离 子处理持续演变，对收集和分析由该等离子处理系统收集到的数据 的定制应用软件的需求也增加。如这里所讨论的，定制应用软件指 的是可以为个人、团队、部门、公司等的具体需要而创建的应用软件。
可出于各种原因而创建定制应用软件。例如，可以创建一个定 制应用软件以简化从等离子处理系统收集和/或取回信息的任务。还
可以创建定制应用软件以提供程序上的指引，如ATAC测试计划。 在另一个示例中，还可创建定制应用專欠件以自动进4亍重复的4壬务。
不管为什么需要定制应用软件，创建定制应用软件的任务是复 杂和复合型的任务，这通常要求编程技能和知识，而这些是非程序 员所不具备的。另外，升级和维护定制应用專欠件的任务也要求编禾呈 技能和知识。所以，创建、维护和升级等离子处理环境中的定制应 用软件变成成本高且库毛时的工作。
一种创建定制应用软件的方法可包括使软件程序员应用文本 编辑器编写软件代码。 一旦完成软件代码，可在生成可执行文件之 前编译该软件代码。这个方法是个耗时的过程，其需要软件程序员 为应用程序的设计和功能编写代码。在一个示例中，用来收集关于
6学生的数据的简单的表单会要求软件程序员编写代码以设计表格 的物理格式以及然后编写代码以控制该表单的功能和行为。
另一种生成等离子处理环境中的定制应用软件的方法可基于
集成开发环境(IDE)。 IDE或者也成为称为编辑器指能够用来开发 其他应用软件的软件。IDE可包括但不限于，用于创建图形用户界 面(GUI)的组件，用于创建和编辑代码的文本编辑器，用于帮助 构建图形用户界面(GUI)的工具，调试器和编i斧器。IDE的示例 包括，但不卩艮于，Microsoft Visual Studio， Borland Delphi,和 National Instrument Lab VIEW 。利用IDE ，可简4匕为应用软件创建 程序代码的工作。在一个示例中，并不是为GUI和应用软件的功能 编写代码，而是IDE可以具有程序员可用来简化创建GUI工作的组 件。然而，即〗吏利用IDE,应用软件的创建者仍必须具有一定的4支 能和知识来编写定义GUI功能的代码。
为了便于讨论，图1示出开发等离子处理环境中的定制应用软 件的简单的开发循环。在第一步102,明确定制应用^:件的需求。 例如，考虑这样一种情况，其中测试员需要应用库欠件创建测试计划。 在4姿下来的步驶《104，程序员可利用IDE (例如，Microsoft Visual Studio, Borland Delphi,和National InstmmentTM Lab VIEW )开士台 创建应用软件的过程。
在接下来的步骤106,程序员可设计应用软件的GUI。在一个示 例中，为了给表格创建GUI，程序员可向IDE添加组件(如文本框、 列表框、复选框等)以创建表格的布局。
在接下来的步骤108,程序员可为应用软件编写代码。这个代 码可包括，但不限于，定义加载^见范、定义功能顺序、定义逻辑夫见 则，识别表格以及用于控制数据进入的代码。在4姿下来的步-骤IIO，考呈序员可编i奪该代i石马以识别出潜在的禾呈 序错误并且创建可执行文件。
在4妄下来的步骤112，该方法可确定这个^码是否包含程序错-误。由于代码是由程序员写的，所以代码很容易受到人为错误的影 响(例如，程序4晉误)。在一个示例中，如果程序员创建用来收集 数据的表单，那么程序员必须知道表格和表格域的名字，其可存储 由该表单收集的数据。当将表格信息写入代码时，程序员会拼4晉表 格域，而导致代码中潜在的程序4普误。
如果代码包含程序错误，那么在接下来的步骤114，该方法可 提供报警。通过接受这个报警，程序员必须调试该代码并且执行修 复，然后进行接下来的步骤110以再次编译代码。步骤110至步骤114 可迭代直到找出所有的程序错误。
如果没有找出额外的程序4普误，然后在4妻下来的步骤116,可 创建可4丸行文^牛。
在接下来的步骤118,可将定制应用软件分发到终端用户。在 一个示例中， 一旦程序员完成为测试员创建应用软件，就可以4吏用 该定制应用^tf牛。
创建定制应用软件的IDE方法要求非程序员所不具备的技能和 知识。此外，对定制应用软件的改变会要求代码改变并且需要重新 编译代码。在一个示例中，程序员可能没有完全理解终端用户的需 求，因此，所创建的应用库欠件可能需要对该应用软件进4于改变。为 了实现这些变化，可能必须编写新的代码并且该代码需要重新编 译
发明内容
在一个实施例中，本发明涉及生成等离子处理系统部件分析软 件的方法。该方法包4舌为多个组件定义组件^见范。该多个组件的每 个实现用于分析等离子处理系统组件的用户界面功能、逻辑才喿作功
能、输入功能和输出功能的至少一个。定义包括从可^L集成"i殳计编 辑器架构(VIDEA)的组件面板中选4奪多个组件。由此4吏得该多个 部件以布局格式设置在该VIDEA中。定义还包括通过执行从预先定 义属性中选l奪以及为属性定义参凄t中的至少 一 个而为该多个组件 的每个指明属性。该方法还包括在定义后以标记语言4呆存该多个组 件，该标记语言配置为可由浏览器执行而不需要预先编译。
在另 一个实施例中，本发明涉及包含程序存储介质的制造品， 该介质上具有嵌入在其中的计算才几可读代码。该计算4几可读^a石马配 置为生成等离子处理系统部件分析软件。该制造品包括计算机可读 代码，用于方使/使用者为多个组件定义组件;現范。该多个组件的每 个为实现分析等离子处理系统部件的用户-界面功能、逻辑操作功能 和输入功能及输出功能中的至少 一个。用于方^f更定义组件规范的计 算机可读代码包括用于从可视集成设计编辑器架构(VIDEA)的组 件面才反选4奪多个组件的计算才几可读^C码，由此4吏得该多个组件以布 局格式设在该VIDEA中。该用于方便定义组件规范的计算机可读代 码还包括通过寺丸行从预先定义属性中选择以及为属性定义参凄t中 的至少一个而为该多个组件的每个指明属性的计算才几可读代码。该 制造品还包括在定义后将该多个组件以标记语言保存的计算机可 读代码，该标记语言配置为可由浏览器执行而不需要预先编i奪。
在又一个实施例中，本发明涉及用于生成等离子处理系统部件 分析软件的装置。该装置包括多个组件。该多个组件的每个实现用 于定义组件规范的用户-界面功能、逻辑操作功能、输入功能和输出 功能中的至少一个。该多个组件可乂人可4见集成i殳计编辑器架构 (VIDEA)的组件面才反选4奪，由此4吏得该多个组件在选l奪之后能够
9以布局才各式"i殳在该VIDEA中。该多个组件的每个的属'I"生可通过执4亍 从预先定义属性中选择和为这些属性定义参数中的至少一个来配 置。该装置还包括运4亍时加载器。该运行时加载器配置为执4亍该多 个组件，这些组件以标记语言保存，该标记语言配置为可通过该运 行时加载器执行而不需要预先编译。
上面的概要仅涉及这里所公开的本发明许多实施例中的 一 个， 并且不是为了限制本发明的范围，此处其范围在权利要求中阐述。 本发明的这些和其他特征将在下面的具体描述中结合附图更详细
地描述。


在附图中，本发明作为示例而不是限制来描述，其中类似的参 考标号指的是类似的要素，并且其中
图l示出用于定制应用软件的简单的开发循环。
图2示出，在本发明一个实施例中，使用VIDEA的用于定制应 用软件的简单的开发循环。
图3示出，在本发明一个实施例中，VIDEA用户界面的示例。
图4示出，在本发明一个实施例中，在编辑器中具有组件的 VIDEA用户界面的示例。
图5示出，在本发明一个实施例中，VIDEA环境中如何定义组
件的示例。
图6示出，在本发明一个实施例中，XML文件的示例。
10图7示出，在本发明一个实施例中，定制应用软件运行时的示
例
图8示出，在本发明一个实施例中，说明总的VIDEA环境的方框图。
具体实施例方式
现在将4艮据其如在附图中i兌明的几个实施方式来具体描述本 发明。在下面的描述中，阐述许多具体细节以^是供对本发明的^f切底 理解。然而，对于本领域技术人员，显然，本发明可不利用这些具 体细节的一些或者全部而实施。在有的情况下，/>知的工艺步艰^和 /或结构没有说明，以避免不必要的混淆本发明。
下面描述多种不同的实施例，包括方法和技术。应当记住本发 明还可覆盖了包括计算机可读介质的制造品，在该介质上存储可用
于才丸行该创新性:汰术的实施例的计算才几可读指令。该计算机可读介 质可包括，例如，半导体、磁性、光学或其他形式的用于存储计算 机可读代码的计算4几可读介质。进而，本发明还可覆盖实施本发明 实施例的设备。这种设备可包括(专用和/或可编程的)电路以冲丸行 与本发明的实施例有关的工作。这种设备的示例包括通用目的计算 机和/或适当编程的专用计算设备，以及可包括适于本发明实施例的 任务的计算机/计算设备与专用/可编程电路的组合。
在本发明一个方面中，在这里发明人认识到创建、维护和升级
定制应用软件的过程可通过提供可视的IDE环境而简化。不像现有
技术那样，发明人认识到代码必须结合进多个组件，这些组件可以 配置以增加或去除功能。按照本发明的实施例，提供可视集成设计编辑器架构
(VIDEA ),其中可才乘作纽J牛和组件属性以创建等离子处理系乡克部 件分析软件。本发明的实施例还提供组件的布局设计和以标记语言
(如可扩展标记语言(XML)文件)存储的组件属性的值。本发明 的实施例进一步提供XML文件通过运行时加载器来实现，如这里所 讨论的，运行时加载器指的是读取文件并且执行XML的软件。
在本发明一个实施例中，4是供VIDEA环境，在其中可创建、维 护和升级定制应用软件(例如，等离子处理系统部件分析软件)。 在本发明一个实施例中，提供实现VIDEA的方法。例如，考虑这种 情况，其中使用者想创建测试计划应用软件。通过采用VIDEA，使 用者可创建多个布局(例如，测试i殳计布局、制法i殳计布局等)。 在一个示例中，使用者可为测试计划应用软件创建测试设计布局。 在一个实施例中，4吏用者可通过向IDE添加(例如，将组件"l也4矢并 放在编辑器上)多个组件(如文本框、列表框、复选框等)而创建 该布局。
不像现有纟支术那样，使用者不必为定义这些组件而编写 码。 利用VIDEA， 1吏用者可没有编程知识而创建定制应用4t件。在一个 实施例中，^吏用者可定义组件^见格(例如，功能)。通过配置每个 组件，功能可包括，〗旦不限于，定义组件的物理特征，定义加载力见 范，定义功能顺序，定义逻辑规则、识别表格和处理数据进入的代 码。由于每个可配置的组件与定义参^t的》见则相关，所以可排除通 过编译器调试程序。
在又一个实施例中，该VIDEA能够通过内化外部^t据而配置这 些组件。在一个示例中，VIDEA可访问多个数据库并且提供域列表， 使用者可从这些列表中选取。在另一个示例中，VIDEA可访问存储 在工具上的数据。通过结合外部数据，VIDEA可为使用者提供动态
12的访问外部数据同时配置这些组件的方法。因此，VIDEA可排除偵:
用者寻找外部数据的需求。
在一个实施例中， 一旦最后确定测试i殳计布局， -使用者可^1夸该 应用软件保存为XML文件。不像现有技术那样，由VIDEA创建的这 个文件不需要编译器来调试程序和/或创建可执行文件。在本发明一 个实施例中，VIDEA环境还可提供运行时加载器，其可用来4丸4亍定 制应用软件。该运行时加载器可读取该XML文件而为终端用户构建 GUI界面以侵 使用。该运行时加载器可用来加载不同的应用软件(例 如，测试i殳计、才艮告i殳计、制法i殳计、构造i殳计等)。在一个实施 例中，同样的布局数据可用于不同的目的。在一个示例中，具有测 试设计布局的XML文件可用来生成测试计划。同样的XML文件可 用来提供由该测试活动收集到的数据的报告。
参考下面的附图和讨论，可更好地理解本发明的特征和优点。
图2示出，奉本发明一个实施例中，使用VIDEA的定制应用软 件的简单的开发循环。图3-7将与图2结合讨论以说明如何应用图2 中的步骤。图3-7中示出的示例具体说明为自动测试和特征化 (ATAC)才匡架。
在第一步202,明确定制应用库欠件的需求。
在接下来的步骤204，使用者可应用VIDEA开始创建该应用软 件的过程。在一个实施例中，使用者可以是程序员或非程序员
图3示出，在本发明一个实施例中，VIDEA用户界面的示例。 在一个实施例中，该VIDEA可包括开源设计者主库(designer host library),如由Microsoft⑧才是供的。该VIDEA可包括编辑器302,组 件框304和属性框306。在接下来的步骤206，〗吏用者可为应用软件i殳计GUI。在一个示 例中，为了创建表单的GUI,程序员可向IDE添加组件(如文本才匡、 列表框、复选框等)以创建用于该表单的布局。
图4示出，在本发明的一个实施例中，在编辑器中具有组件的 VIDEA用户界面的示例。在一个示例中，使用者可通过将组^牛408 (例如，AtacComboBox )从组件框404拖到编辑器402而开始创建
定制应用软件。
在接下来的步骤208,使用者可通过操作和/或选4奪属性(例如， 参#:)来配置每个组件。图5示出，在本发明一个实施例中，如<可 在VIDEA环境中定义组件的示例。编辑器502可包括多个从组件才匡 504拖过来的组件。在一个示例中，文本框(520, 522， 524，和526 ) 是来自组件框504的AtacTextBox的示例，以及表格(530, 532, 534， 536， 538, 540， 542， 544,牙口546)是来自纟且《牛才匡504的AtacLabel 的示例。 一旦将每个组件设在编辑器502上，可围绕编辑器502移动 每个组件以为GUI创建所需要的布局。
对于每个所需布局的组件，可定义每个组件的功能。在一个示 例中，使用者可在属性框506中为每个组件配置属性。在一个实施 例中，使用者可通过从预先定义的列表中(例如，下拉列表)选择 属性来配置每个组件。预先定义的列表可用来最小化人为错误(例 如，打字错误)和问题(例如，不能记住表格域的位置)。在另一 个实施例中，4吏用者可通过才乘作属性来配置每个组件，如通过4建入 参数。可以配置的参数可包括，但不限于，用户-界面功能、逻辑操 作功能、输入功能和输出功能。
在一个实施例中，可配置组件的用户-界面功能。例如，考虑这 种情况，其中正在i殳计ATAC测试计划。4吏用者可配置每个纽/f牛不 同的物理特征以创建视觉上友好的设计布局。可以操作的物理特征
14包括，但不限于，字体大小、字体颜色、背景颜色、文本对齐、边 框颜色等。
在一个实施例中，可配置组件的车命入/输出功能。在一个实施例 中，组件的输入/输出功能可与来自外部源的数据相关。来自外部源 的数据可从数据库和/或外部设备(例如，气体盒、处理才莫块等)生 成。在一个实施例中，使用者可从表格列表和/或表格域列表(如在
数据域列表550中见到的)中选择，因此使得组件的输入/输出能够 与表格关联。在另一示例中，VIDEA可提取关于等离子处理系统的 数据，允许-使用者定义处理室的状况。通过连4妄到外部环境，VIDEA
的信息。
在一个实施例中，可配置组件的逻辑」捧作功能。在一个示例中， 可以定义的逻辑操作功能是执行ATAC测试计划的顺序(例如，在 从数据库中提取测试规范之前确定要测试的部分)。在另 一示例中，
可定义用于才丸4亍该ATAC测试计划一部分的失见则(例如，if-dse条件， do-while循环等)。在又一示例中，定义用于处理数据(例如，数据 收集、手动输入数据、从外部源提取数据等)的代码。
在4妄下来的步4f210,布局i殳计和组件属性可^f呆存为XML文4牛。 这个方法不需要编译器调试程序和/或创建可执行文件。见图6, XML文件的 一 个示例。
在接下来的步骤212,可将定制应用软件分发到终端用户。图7 示出，在本发明一个实施例中，运行时的定制应用软件的示例。
由于VIDEA不需要编程知识并且需要最少的培训时间，所以使 用者可利用VIDEA创建定制应用软件以满足日常使用。另外，改变和/或升级定制应用软件也容易进^f亍而不需要复杂的编程变化和/或 重#斤编-泽。
图8示出，在本发明的一个实施例中，说明总的VIDEA环境的 框图。总的VIDEA环境可分为两个部分-VIDEA部分890和运4亍时加 载器部分892。 VIDEA部分890示出与创建、维护和/或升级定制应用 软件有关的框图。运行时加载器部分892示出与运行该定制应用软
件有关的框图。
VIDEA部分8卯可包括VIDEA 802,其可激活以创建定制应用 软件。利用VIDEA 802, -使用者可通过将组件4也4爽并方文在编辑器上 而布局GUIi殳计。Y吏用者还可为每个组件配置属性以定义每个组件 的功能。在一个实施例中，VIDEA可连接到外部环境810以揭:耳又凄丈 据库信息812和/或关于外部设备814(例如，等离子处理工具、器械、 电子装置等)的数据。 一旦完成GUI的布局，使用者可保存该信息 以创建XML文件。在一个示例中，测试设计布局可保存为XML文 件804。在另 一个示例中，制法i殳计布局可保存为XML文件806。
运4亍时加载器部分892可包括运行时加载器820，其可读取XML 文件(例如804和/或806)而为终端用户重新构建GUI界面822以便 使用。在一个实施例中，终端用户可以是创建该定制的用户界面的 同一人。运行时加载器820可用来加载不同的应用程序(例如，测 试设计、报告设计、制法设计、构造设计等)。换句话说，运行时 加载器820可用来加载任^T类型的定制应用4欠件，只要该定制应用 软件保存为XML4各式。
在一个实施例中，同样的布局数据可用于不同的目的。换句话 会说， 一旦重新构建GUI界面822，可为终端用户提供一个机会来确 定如何使用GUI界面822。在一个示例中，具有测试i殳计布局的XML 文件804可用来生成测试计划832 ，其可在测试部分向终端用户提供
16指导并且收集和存储测试结果。具有测试i殳计布局的同样的XML 文件804可用来提供测试计划和收集到的数据的报告834。另外，具 有测试设计布局的同样的XML文件804生成PDF报告836，其可保存 和/或与其他-使用者共享。在另一个示例中，具有制法i殳计布局的 XML文件806可用来生成构造文件842，其可加载到等离子处理工具 上以便为了处理基片而配置该工具。再者，具有制法设计布局的同 样的XML文件806可用来提供报告844和/或PDF报告846。
正如/人本发明的实施例中可以i人识到的，该VIDEA^是供简单的 可视IDE，其不需要使用者具有编程技能和/或知识。通过简化创建 定制应用软件，创建过程就可以下放到理解应用程序需求的使用者 那里。另外，容易实现对定制应用软件的改变和/或升级，而不需要 调试和/或编译以便执行。因此，该VIDEA可消除高的总开支并且减 少开发时间。
尽管根据多个优选实施例描述了本发明，但是还存在改变、置 换和等同方式，其落入本发明的范围内。而且，为了方《更而在这里
提供了标题、概述和摘要，但不应当用来限制本发明的范围。还应 当注意，有许多实现本发明方法和设备的可选方式。尽管这里提供 了各种不同的示例，但是这些示例是为了说明的而非限制本发明。 进而，在这个申请中， 一组"N"个物品指的是在这个组中包括零 或多个物品。所以，意图是下面所附的权利要求解释为包括所有这 样的改变、置换和等同方式，其落入本发明的主旨和范围内。
权利要求
1. 一种生成等离子处理系统部件分析软件的方法，包括为多个组件定义组件规范，所述多个组件的每个实现用于分析等离子处理系统部件的用户-界面功能、逻辑操作功能、输入功能和输出功能的至少一个，所述定义包括从可视集成设计编辑器架构(VIDEA)的组件面板选择所述多个组件，由此使得所述多个组件以布局格式设在所述VIDEA中，以及通过执行从预先定义属性中选择和为所述属性定义参数中的至少一个来指明所述多个组件的每个的属性；以及在所述定义后以标记语言保存所述多个组件，所述标记语言配置为可由浏览器执行而不需要预先编译。
2. 根据权利要求1所述的方法，其中从所述组件面板选择所述多个组件包括将所述多个组件拖拽并且放在集成的设计编辑器上。
3. 才艮据4又利要求1所述的方法，其中所述用于所述多个组件的预先定义的属性由外部源定义。
4. 根据权利要求3所述的方法，其中所述外部源是数据库。
5. 根据权利要求3所述的方法，其中所述外部源是外部装置。
6. 根据权利要求1所述的方法，其中所述标记语言是可扩展标记"i吾s o
7. 根据权利要求1所述的方法，其中所述浏览器是运行时加载器。
8. —种包含程序存储介质的制造品，该介质中具有嵌入在其中的计算机可读代码，所述计算才几可读代码配置为生成等离子处理系统部件分析软件，该制造品包4舌用于方便由使用者为多个组件定义组件规范的计算机可读代码，所述多个组件的每个实现用于分析等离子处理系统部件的用户-界面功能、逻辑操作功能、输入功能和输出功能的至少一个，所述用于方Y更定义组件爿见范的计算才几可读代J马包括r 用于/人可一见集成i殳计编辑器架构(VIDEA)的组件面板选4奪所述多个组件的计算机可读代码，由此使得所述多个组件以布局格式设在所述VIDEA中，以及用于通过冲丸行从预先定义属性中选择和为所述属性定义参凄t中的至少一个来指明所述多个组件的每个的属性的计算机可读代码；以及用于在所述定义之后以标记"i吾言保存所述多个组件的计算机可读代码，所述标记语言配置为可由浏览器执行而不需要预先编译。
9. 根据权利要求8所述的制造品，其中用于从所述组件面板选择所述多个组件的计算机可读介质包括用于将所述多个组件拖拽并放在集成的设计编辑器上的计算机可读代码。
10. 根据权利要求8所述的制造品，其中所述多个组件的所述预先定义的属性是由外部源定义的。
11. 根据权利要求10所述的制造品，其中所述外部源是数据库。
12. 根据权利要求10所述的制造品，其中所述外部源是外部装置。
13. 根据权利要求8所述的制造品，其中所述标记语言是可扩展标 记语言。
14. 根据权利要求8所述的方法，其中所述浏览器是运行时加载器。
15. —种生成等离子处理系统部件分析软件的装置，包括多个组件，所述多个组件的每个实现用于定义组件失见范 的用户-界面功能、逻辑操作功能、输入功能和输出功能的至少"""""个,其中所述多个组件从可视集成设计编辑器架构 (VIDEA)的组件面板选择，由此使得所述多个组件在 选择后以布局格式设在所述VIDEA中，以及其中可通过寺丸行/人预先定义的属性中选4奪和为所述 属性定义参数中的至少一个来配置所述多个组件的每个 的属性；和运行时加载器，所述运行时加载器配置为执行所述多个 组件，所述多个组件以标记语言保存，所述标记语言可由所述 运行时加载器执行而不需要预先编译。
16. 根据权利要求15所述的装置，其中所述多个组件通过将所述 多个组件拖拽并放在集成的设计编辑器上而从所述组件面板选择。
17. 根据权利要求15所述的装置，其中用于所述多个组件的所述 预先定义的属性由外部源定义。
18. 根据权利要求17所述的装置，其中所述外部源是数据库。
19. 根据权利要求17所述的装置，其中所述外部源是外部装置。
20. 根据权利要求15所述的装置，其中所述标记语言是可扩展标 i己"i吾言。
全文摘要
提供一种生成等离子处理系统部件分析软件的方法。该方法包括为多个组件定义规范。该多个组件的每个实现用于分析等离子处理系统部件的用户-界面功能、逻辑操作功能、输入功能和输出功能的至少一个。定义包括从可视集成设计编辑器架构(VIDEA)的组件面板中选择多个组件。由此使得该多个部件以布局格式设置在该VIDEA中。定义还包括通过执行从预先定义属性中选择以及为属性定义参数中的至少一个而为该多个组件的每个指明属性。该方法还包括在定义后以标记语言保存该多个组件，该标记语言配置为可由浏览器执行而不需要预先编译。
文档编号G06F9/44GK101501638SQ200780029071
公开日2009年8月5日 申请日期2007年7月31日 优先权日2006年8月4日
发明者泰丽莎·森口, 许杰安 申请人:朗姆研究公司