专利名称：集群设备控制系统及其调度方法
技术领域：
本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种集群设备控制系统及其调度方法。
背景技术：
随着微电子制造技术的不断发展和进步，微电子制造设备的复杂程度也越来越高。集簇设备控制软件，例如刻蚀软件系统，是一个稳定高效的分布式系统。如图1所示，为现有集簇设备控制软件架构图。该软件由五个独立又紧密相关的子系统组成，包括 PMC(Process Module Controller,工艺模块控制系统)、TMC(Transport ModuleController,传输模块控制系统)、CTC (Cluster Tool Controller,集群设备控制系统)、FA(Factory Automation、工厂自动化软件系统)和APC(Advanced Process Controller、先进工艺控制系统)。其中，CTC软件是集簇设备控制软件的一部分，CTC软件向上与工厂接口软件连接，通过工厂接口软件将设备的相关信息传送给工厂控制中枢；CTC软件向下与TMC、PMC软件连接，控制TMC、PMC软件的协调工作，使机台达到较高的产率。目前的CTC软件分为Communicator (通信)、Coordinator (协作)、Bridge (桥接)、CTCGUI (CTC 图形用户界面)四个模块，四个模块各为一个独立的进程，进程间通过.Net Remoting进行通信。其中，CTC软件的启动顺序依次为Communicator、Coordinator、Bridge和CTCGUI。后续的进程需要用到前面进程的信息，所以每个进程必须在前一个进程完全启动后再启动。需要说明的是，对于CTCGUI模块来说，其最先启动，而最后完成启动，因此将其排在最后。目前启动CTC软件，是由软件人员手动依次启动各个进程。每个进程由软件人员根据相关的提示信息，判断进程是否启动完毕，如果该进程启动完毕，然后再手动启动下一个进程，依次启动，直到所有进程均启动成功。现有技术的缺点是1、CTC软件各个模块的进程的启动，必须由对进程比较熟悉的人员自己判断各个进程是否启动完毕。如果某个进程未启动完毕就启动后续进程，会导致系统启动不成功。并且当非软件人员想使用该软件系统，需要了解各个进程的启动顺序，及如何判断某个进程是否启动成功，不方便相关人员的使用。2、手动依次启动各进程，难免会出现启动延时，会极大地降低启动速度，从而造成生产效率的降低。
发明内容
本发明的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一，特别提出了一种集群设备控制系统及其调度方法。本发明实施例提出了一种集群设备控制系统的调度方法，所述集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序，所述CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序互为独立的进程，所述方法包括以下步骤:启动所述CTCGUI程序；按照所述预定启动顺序通过对应的公共接口调用所述Communicator程序；在所述Communicator程序启动完成之后,所述Communicator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按照所述预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用所述Coordinator程序；在所述Coordinator程序启动完成之后,所述Coordinator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按照所述预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用所述Bridge程序；在所述Bridge程序启动完成之后,所述Bridge程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；以及所述CTC⑶I程序完成应用程序的全部启动。在本发明的一个实施例中，在所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序启动时，所述CTCGUI程序处于暂停状态，当所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序启动均完成之后，所述CTCGUI程序结束启动。本发明另一方面还提出了一种集群设备控制系统，所述集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序模块、Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块，所述CTCGUI程序模块、Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块互为独立的进程,所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块通过各自的通道与所述CTCGUI程序模块通信，且所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块与所述CTCGUI程序模块之间具有公共接口，所述CTCGUI程序模块通过所述公共接口对所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块进行调用，其中:所述CTCGUI程序模块，用于按照所述预定启动顺序通过对应的公共接口调用所述Communicator程序模块，并在所述Communicator程序模块启动完成之后，继续通过对应的公共接口调用所述Coordinator程序模块,且在所述Coordinator程序模块启动完成之后，继续通过对应的公共接口调用所述Bridge程序模块，以及在所述Bridge程序模块启动完成之后，完成应用程序的全部启动；所述Communicator程序模块,用于在所述Communicator程序模块启动完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块；所述Coordinator程序模块，用于在所述Coordinator程序模块启动完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块；所述Bridge程序模块，用于在所述Bridge程序模块启动完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块。在本发明的一个实施例中，在所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块启动时,所述CTCGUI程序模块处于暂停状态，当所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块启动均完成之后，所述CTCGUI程序模块结束启动。本发明实施例还提出了一种集群设备控制系统的调度方法，所述集群设备控制系统包括多个具有预定退出顺序的Bridge程序、Coordinator程序、Communicator程序和CTCGUI程序，所述Bridge程序、Coordinator程序、Communicator程序和CTCGUI程序互为独立的进程，所述方法包括以下步骤:所述CTCGUI程序按照所述退出顺序通过对应的公共接口通知所述Bridge程序退出；在所述Bridge程序退出完成之后，所述Bridge程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGW程序按照所述预定退出顺序继续通过对应的公共接口通知所述Coordinator程序退出；在所述Coordinator程序退出完成之后，所述Coordinator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；所述CTCGUI程序按照所述预定退出顺序继续通过对应的公共接口通知所述Communicator程序退出；在所述Communicator程序启动退出之后，所述Communicator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；以及所述CTCGUI程序退出。在本发明的一个实施例中，在所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序关闭时，所述CTCGUI程序处于暂停状态，当所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序关闭均完成之后,所述CTCGUI程序关闭。本发明实施例还提出了一种集群设备控制系统，所述集群设备控制系统包括多个具有预定退出顺序的Bridge程序模块、Coordinator程序模块、Communicator程序模块和CTCGUI程序模块，所述Bridge程序模块、Coordinator程序模块、Communicator程序模块和CTCGUI程序模块互为独立的进程，所述Bridge程序模块、Coordinator程序模块、Communicator程序模块通过各自的通道与所述CTCGUI程序模块通信，且所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块与所述CTCGUI程序模块之间具有公共接口，所述CTCGUI程序模块通过所述公共接口对所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块进行退出通知，其中:所述CTCGUI程序模块，用于按照所述预定退出顺序通过对应的公共接口通知所述Bridge程序模块退出，并在所述Bridge程序模块退出完成之后，继续通过对应的公共接口通知所述Coordinator程序模块退出，且在所述Coordinator程序模块退出完成之后，继续通过对应的公共接口通知所述Communicator程序模块退出，以及在所述Communicator程序模块退出完成之后，控制所述CTCGUI程序退出；所述Bridge程序模块，用于在所述Bridge程序模块退出完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块；所述Coordinator程序模块，用于在所述Coordinator程序模块启动完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块；所述Communicator程序模块,用于在所述Communicator程序模块退出完成之后,通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块。在本发明的一个实施例中，在所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块关闭时,所述CTCGUI程序模块处于暂停状态，当所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块退出均完成之后，所述CTCGUI程序关闭。通过本发明实施例，通过本发明实施例只需要启动/关闭一个进程，即启动/关闭CTCGUI进程，就可以将所有其他进程依次启动/关闭，而不需要专业技术人员通过人为判断是否启动/关闭其他进程，从而减少了繁琐的启动/退出步骤，加大地加快了集群设备控制系统的启动/退出速度，提高了生产效率。本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1为现有集簇设备控制软件架构图；图2为.NET Remoting程序的体系结构图；图3为本发明实施例集群设备控制系统的调度方法流程图；图4为本发明实施例CTC系统各个程序的启动顺序图；图5为本发明实施例的集群设备控制系统的调度装置结构图；图6为本发明实施例的集群设备控制系统退出方法示意图。
具体实施例方式下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。本发明实施例通过采用.Net Remoting技术的按引用列集方式(MarshalByRefObject)，建立相应的公共接口、属于服务器应用程序域的CTCGUI程序和属于客户端应用程序域的Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序。当Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序的某个进程启动完毕后会通知CTCGUI程序的进程，从而可以由CTCGUI程序的进程按照预定顺序启动Communicator程序、Coordinator程序或Bridge程序的进程，当该Communicator程序、Coordinator程序或Bridge程序的进程启动完毕之后会又再次通知CTCGUI程序的进程，并由CTCGUI程序的进程根据该启动完毕的通知，来依次启动所有进程。同样地，各个模块退出的过程也与其相似。在本发明的实施例中，CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序均运行在同一个设备之中。如图2所示，为.NET Remoting程序的体系结构图。客户端应用程序域包括客户端对象、服务器代理和远程系统，服务器应用程序域包括服务器对象和远程系统。在本发明的实施例中，分布式系统包括多个具有预定启动顺序的多个应用程序，且多个应用程序互为独立的进程，例如CTCGUI程序,Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序等。其中，应用程序中最先启动CTCGUI程序，其属于.NET Remoting程序中的服务器应用程序域。而应用程序中的其他多个应用程序，例如Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序，均属于.NET Remoting程序中的多个客户端应用程序域。在本发明的一个实施例中，多个客户端应用程序域通过各自的通道与服务器应用程序域通信，即在本发明实施例中存在多个通道，每个属于不同客户端应用程序域的Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序均有一个通道与CTCGUI程序相连。且多个客户端应用程序域与服务器应用程序域之间具有公共接口，同样地，每个属于不同客户端应用程序域的Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序均有一个公共接口，服务器应用程序域通过该公共接口对所述多个客户端应用程序域中的多个应用程序进行调用或关闭。其中，.NET Remoting程序中是通过通道来实现应用程序域之间通信的。当客户端应用程序域要调用远程对象时，由于远程对象不在Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序进程中运行，而且通常运行在不同的系统中，因此客户端应用程序域不能直接调用该远程对象，而需要使用服务器代理来解决此问题。当服务器代理被调用时，该服务器代理就会创建消息。通过使用格式化程序类，可以串行化这些消息，并将这些消息发送到与Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序相连的通道中。Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序的通道会和CTCGUI程序的通道进行通信，以便通过网络传递消息。CTCGUI程序的通道则使用格式化程序并行化消息，以便将其发送给Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序想要调用的远程对象。通过服务器代理，客户端应用程序就可以像使用本地对象一样来操作远程对象了，例如开启或关闭该远程对象。在本发明的一个实施例中，CTCGUI程序激活方式中的Singleton模式，即在任何时候CTCGUI程序只有一个实例是活动的，所有Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序访问的是CTCGUI程序的同一个实例。这样Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序通过.NET Remoting技术访问通道获得服务器端对象，再通过代理解析为客户端对象。然后，Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序通过.NET Remoting连接CTCGUI程序,获得该服务对象并通过序列化在Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序运行。如图3所示，为本发明实施例集群设备控制系统的调度方法流程图，同时参照图4，为本发明实施例CTC系统各个程序的启动顺序图。其中，集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序,且CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序互为独立的进程。该方法包括以下步骤: 步骤S301，启动CTCGUI程序。步骤S302,按照预定启动顺序通过对应的公共接口调用Communicator程序。同时，CTCGUI程序进入暂停状态。步骤S303,在Communicator程序启动完成之后，Communicator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知CTCGUI程序。步骤S304，CTCGUI程序按照预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用Coordinator 程序。步骤S305,在Coordinator程序启动完成之后，Coordinator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知CTCGUI程序。步骤S306，CTCGUI程序按照预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用Bridge程序。步骤S307，在Bridge程序启动完成之后，Bridge程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知CTCGUI程序。CTCGUI程序完成应用程序的全部启动。在Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序启动时，CTCGUI程序处于暂停状态，当Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序启动均完成之后，CTCGUI程序结束启动。本发明实施例还提出了一种集群设备控制系统，如图5所示，所述集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序模块100、Communicator程序模块200、Coordinator 程序模块 300 和 Bridge 程序模块 400。CTCGUI 程序模块 100、Communicator程序模块200、Coordinator程序模块300和Bridge程序模块400互为独立的进程。Communicator程序模块200、Coordinator程序模块300和Bridge程序模块400通过各自的通道与CTCGUI程序模块100通信，且Communicator程序模块200、Coordinator程序模块300和Bridge程序模块400与CTCGUI程序模块100之间具有公共接口。CTCGUI程序模块100通过公共接口对Communicator程序模块200、Coordinator程序模块300和Bridge程序模块400进行调用。CTCGUI程序模块100用于按照预定启动顺序通过对应的公共接口调用Communicator程序模块200,并在Communicator程序模块200启动完成之后,继续通过对应的公共接口调用Coordinator程序模块300,且在Coordinator程序模块300启动完成之后，继续通过对应的公共接口调用Bridge程序模块400，以及在Bridge程序模块400启动完成之后，完成应用程序的全部启动。Communicator程序模块200用于在Communicator程序模块200启动完成之后，通过通道通知CTCGUI程序模块100。Coordinator程序模块300用于在Coordinator程序模块300启动完成之后，通过通道通知CTCGUI程序模块100。Bridge程序模块400用于在Bridge程序模块400启动完成之后，通过通道通知CTCGUI程序模块100。如图6所示，为本发明实施例的集群设备控制系统退出方法示意图，其中，所述集群设备控制系统包括多个具有预定退出顺序的Bridge程序、Coordinator程序、Communicator 程序和 CTCGUI 程序，所述 Bridge 程序、Coordinator 程序、Communicator 程序和CTCGUI程序互为独立的进程。该方法包括以下步骤:步骤S601，CTCGUI程序按照所述退出顺序通过对应的公共接口通知所述Bridge程序退出。步骤S602，在Bridge程序退出完成之后，Bridge程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知CTCGUI程序。步骤S603，CTCGUI程序按照预定退出顺序继续通过对应的公共接口通知所述Coordinator程序退出。步骤S604,在Coordinator程序退出完成之后，Coordinator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知CTCGUI程序。步骤S605，CTCGUI程序按照所述预定退出顺序继续通过对应的公共接口通知Communicator 程序退出。步骤S606,在Communicator程序启动退出之后，Communicator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知CTCGUI程序。步骤S607, CTCGUI 程序退出。其中，在 Communicator 程序、Coordinator 程序和Bridge程序关闭时，所述CTCGUI程序处于暂停状态，当Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序关闭均完成之后，CTCGUI程序关闭。本发明实施例还提出了一种集群设备控制系统，所述集群设备控制系统包括多个具有预定退出顺序的Bridge程序模块400、Coordinator程序模块300、Communicator程序模块200和CTCGUI程序模块100。Bridge程序模块400、Coordinator程序模块300、Communicator程序模块200和CTCGUI程序模块100互为独立的进程。Bridge程序模块400、Coordinator程序模块300、Communicator程序模块200通过各自的通道与CTCGUI程序模块100通信。且Communicator程序模块200、Coordinator程序模块300和Bridge程序模块400与CTCGUI程序模块100之间具有公共接口，CTCGUI程序模块100通过公共接口对Communicator程序模块200、Coordinator程序模块300和Bridge程序模块400进行退出通知。CTCGUI程序模块100用于按照预定退出顺序通过对应的公共接口通知Bridge程序模块400退出，并在Bridge程序模块400退出完成之后，继续通过对应的公共接口通知Coordinator程序模块300退出，且在Coordinator程序模块300退出完成之后,继续通过对应的公共接口通知Communicator程序模块200退出，以及在Communicator程序模块200退出完成之后，控制CTCGUI程序模块100退出。Bridge程序模块400用于在Bridge程序模块400退出完成之后，通过通道通知CTCGUI程序模块100。Coordinator程序模块300用于在Coordinator程序模块300启动完成之后，通过通道通知所述CTCGUI程序模块100。Communicator程序模块200用于在Communicator程序模块200退出完成之后，通过通道通知CTCGUI程序模块100。其中，在Communicator程序模块200、Coordinator程序模块300和Bridge程序模块400关闭时，CTCGUI程序模块100处于暂停状态，当Communicator程序模块200、Coordinator程序模块300和Bridge程序模块400退出均完成之后，CTCGUI程序I吴块loo关闭。通过本发明实施例，通过本发明实施例只需要启动/关闭一个进程，即启动/关闭CTCGUI进程，就可以将所有其他进程依次启动/关闭，而不需要专业技术人员通过人为判断是否启动/关闭其他进程，从而减少了繁琐的启动/退出步骤，加大地加快了集群设备控制系统的启动/退出速度，提高了生产效率。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同限定。
权利要求
1.一种集群设备控制系统的调度方法，所述集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序,所述CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序互为独立的进程,其特征在于，所述方法包括以下步骤: 启动所述CTCGUI程序； 按照所述预定启动顺序通过对应的公共接口调用所述Communicator程序； 在所述Communicator程序启动完成之后,所述Communicator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序； 所述CTCGUI程序按照所述预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用所述Coordinator 程序； 在所述Coordinator程序启动完成之后,所述Coordinator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序； 所述CTCGUI程序按照所述预定启动顺序继续通过对应的公共接口调用所述Bridge程序; 在所述Bridge程序启动完成之后，所述Bridge程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；以及 所述CTCGUI程序完成应用程序的全部启动。
2.如权利要求1所述的集群设备控制系统的调度方法，其特征在于，在所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序启动时，所述CTCGUI程序处于暂停状态，当所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序启动均完成之后,所述CTCGUI程序结束启动。
3.一种集群设备控制系统，所述集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序模块、Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块，所述CTCGUI程序模块、Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块互为独立的进程，其特征在于，所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块通过各自的通道与所述CTCGUI程序模块通信，且所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块与所述CTCGUI程序模块之间具有公共接口，所述CTCGUI程序模块通过所述公共接口对所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块进行调用，其中: 所述CTCGn程序模块，用于按照所述预定启动顺序通过对应的公共接口调用所述Communicator程序模块,并在所述Communicator程序模块启动完成之后,继续通过对应的公共接口调用所述Coordinator程序模块,且在所述Coordinator程序模块启动完成之后，继续通过对应的公共接口调用所述Bridge程序模块，以及在所述Bridge程序模块启动完成之后，完成应用程序的全部启动； 所述Commun icator程序模块，用于在所述Commun icator程序模块启动完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块； 所述Coordinator程序模块,用于在所述Coordinator程序模块启动完成之后,通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块； 所述Bridge程序模块，用于在所述Bridge程序模块启动完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块。
4.如权利要求3所述的集群设备控制系统,其特征在于，在所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块启动时，所述CTCGUI程序模块处于暂停状态，当所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块启动均完成之后，所述CTCGUI程序模块结束启动。
5.一种集群设备控制系统的调度方法，所述集群设备控制系统包括多个具有预定退出顺序的Bridge程序、Coordinator程序、Communicator程序和CTCGUI程序,所述Bridge程序、Coordinator程序、Communicator程序和CTCGUI程序互为独立的进程,其特征在于，所述方法包括以下步骤: 所述CTCGUI程序按照所述退出顺序通过对应的公共接口通知所述Bridge程序退出；在所述Bridge程序退出完成之后，所述Bridge程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序； 所述CTCGUI程序按照所述预定退出顺序继续通过对应的公共接口通知所述Coordinator程序退出； 在所述Coordinator程序退出完成之后,所述Coordinator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序； 所述CTCGUI程序按照所述预定退出顺序继续通过对应的公共接口通知所述Communicator 程序退出； 在所述Communicator程序启动退出之后,所述Communicator程序通过其与CTCGUI程序之间独立的通道通知所述CTCGUI程序；以及所述CTCGUI程序退出。
6.如权利要求11所述的集群设备控制系统的调度方法，其特征在于，在所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序关闭时，所述CTCGUI程序处于暂停状态，当所述Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序关闭均完成之后,所述CTCGUI程序关闭。
7.一种集群设备控制系统，所述集群设备控制系统包括多个具有预定退出顺序的Bridge程序模块、Coordinator程序模块、Communicator程序模块和CTCGUI程序模块，所述Bridge程序模块、Coordinator程序模块、Communicator程序模块和CTCGUI程序模块互为独立的进程，其特征在于，所述Bridge程序模块、Coordinator程序模块、Communicator程序模块通过各自的通道与所述CTCGUI程序模块通信，且所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块与所述CTCGUI程序模块之间具有公共接口，所述CTCGUI程序模块通过所述公共接口对所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块进行退出通知，其中: 所述CTCGn程序模块，用于按照所述预定退出顺序通过对应的公共接口通知所述Bridge程序模块退出，并在所述Bridge程序模块退出完成之后，继续通过对应的公共接口通知所述Coordinator程序模块退出，且在所述Coordinator程序模块退出完成之后,继续通过对应的公共接口通知所述Communicator程序模块退出，以及在所述Communicator程序模块退出完成之后，控制所述CTCGn程序退出； 所述Bridge程序模块，用于在所述Bridge程序模块退出完成之后，通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块； 所述Coordinator程序模块,用于在所述Coordinator程序模块启动完成之后,通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块； 所述Communicator程序模块,用于在所述Communicator程序模块退出完成之后,通过所述通道通知所述CTCGUI程序模块。
8.如权利要求7所述的集群设备控制系统,其特征在于，在所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块关闭时，所述CTCGUI程序模块处于暂停状态，当所述Communicator程序模块、Coordinator程序模块和Bridge程序模块退出均完成之后，所述CTCGUI程序关闭。
全文摘要
本发明公开了一种集群设备控制系统的调度方法和装置。集群设备控制系统包括多个具有预定启动顺序的CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序，所述CTCGUI程序、Communicator程序、Coordinator程序和Bridge程序互为独立的进程。通过本发明实施例，可以将所有其他进程依次启动/关闭，从而减少了繁琐的启动/退出步骤，加大地加快了集群设备控制系统的启动/退出速度，提高了生产效率。
文档编号G06F9/46GK103186420SQ20111045917
公开日2013年7月3日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者梁小祎 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司