一种自动探针台配方管理方法
【专利摘要】本发明公开了一种自动探针台配方管理方法，包括服务器，若干探针台，若干自动测试仪，将某一台自动测试仪的主机作为所有自动探针台的服务器，所有自动探针台的配方集中在该服务器上进行管理，所述方法的步骤为：步骤一：自动测试仪向探针台发送需要下载的探针台配方指令；步骤二：探针台自动从服务器上下载该配方指令；步骤三：如果探针台已有该配方指令，则服务器上的指令替换掉该探针台上已有的配方指令，探针台反馈给自动测试仪，自动测试仪进行测试；步骤四：如果服务器上没有该配方指令，则下载失败，探针台反馈给自动测试仪，自动测试仪暂停测试。
【专利说明】一种自动探针台配方管理方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种WAT测试【技术领域】，尤其涉及一种自动探针台配方管理方法。
【背景技术】
[0002]自动探针台的配方主要完成探针卡的对位，wafer的对位等功能；现有WAT测试的自动探针台的配方都存放在自动探针台本机上，当由于wafer本身问题或其它一些特殊外部因素引起问题时需要工程师去调试配方或更改配方的某些设置后继续进行测试，一次测试需要几个小时甚至几天的时间，因此工程师常常会忘掉删除为特殊情况下而调试的配方导致正常lot测试时再次出现问题；有些配方的设置(例如扎针深度，清针频率等)并不能在接下来的测试中立刻反映出来，往往等上很长一段时间以后才发现某台自动探针台的配方设置跟其它机台不一致；目前在某一台自动探针台上建立完配方还需手动传送到其它自动探针台，在其它机台正在测货时是不能传送的，往往需要等很长时间才能完成全部机台的传送。
[0003]专利(
【发明者】周波, 莫保章 申请人:上海华力微电子有限公司