一种管理设备状态转换关系的方法
【专利摘要】一种管理设备状态转换关系的方法，应用于管理若干同一种类的设备的不同状态之间的切换，且每个设备均与一状态机通信连接，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤S1，将预先定义的若干基于不同种类设备的状态转换规则存储至对应的状态机中；步骤S2，任意状态机均判断其对应的当前设备是否可以正常运作，若是，则正常进行生产，若否，则进行步骤S3；步骤S3，状态机根据其内部存储的状态转换规则，将当前设备切换至符合该状态转换规则的对应状态。通过引入状态机的概念，对于不同设备来兴的设备状态转换规则的管理或转换会泽发生变化的管理通过新增或更改配置文件即可，非常灵活快捷高效。
【专利说明】一种管理设备状态转换关系的方法【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造执行系统领域，尤其涉及一种管理设备状态转换关系的方法。
【背景技术】
[0002]为了确保设备在安全正确的状态加工产品，目前芯片生产工厂对于半导体设备的状态划分的非常细化精准，其中SEMI关于设备状态的定义为ElOstate，其有如图1所示的6中状态，而且具体到实际芯片生产工厂其对每一种ElOstate还有不同的细化分类。由于芯片生产工厂内有多种不同的设备，如工艺加工设备，量测设备，存储设备，辅助检测设备等，每种设备类型的设备状态划分和设备状态之间的转换规则不一样，以及可能由于设备管理操作流程的变化导致设备状态之间的转换规则的变化等，所以如何灵活有效的管理设备状态显得极为复杂。
[0003]中国专利(CN102467414A)记载了一种状态机控制方法、装置及状态机系统，A，将状态机的当前活跃状态更新为所述状态机的初态，获得输入所述状态机的基础事件，将所述基础事件与当前活跃状态的各个迁移条件分别进行匹配；C，根据匹配成功的迁移条件，对所述状态机执行状态迁移，并根据迁移结果对当前活跃状态进行更新；D，判断当前活跃状态是否为所述状态机的终态，如果是，则结束所述状态机的运行，否则返回步骤B。
[0004]中国专利(CN101588203)记载了一种网络系统、状态机及状态机的切换方法，涉及通信【技术领域】，以稳定高效的实现纤缆搜索，所述状态机设有第一定时器，且所述状态机还设有正常态、请求态和响应态三种工作状态；所述状态机的切换方法包括:所述状态机处于正常态或请求态时， 接收到对端网络设备的纤缆搜索请求报文，切换到响应态，启动所述第一定时器，向对端网络设备回复纤缆搜索响应报文；所述状态机处于响应态时，再次接收到对端网络设备的纤缆搜索请求报文，重启所述第一定时器，再次回复纤缆搜索响应报文；在所述第一定时器超时后，所述状态机切换到正常态。
【发明内容】
[0005]本发明公开了一种管理设备状态转换关系的方法，应用于管理若干同一种类的设备的不同状态之间的切换，且每个所述设备均与一状态机通信连接，其特征在于，该方法包括以下步骤:
[0006]步骤SI，将预先定义的若干基于不同种类设备的状态转换规则存储至对应的所述状态机中；
[0007]步骤S2，任意所述状态机均判断其对应的当前设备是否可以正常运作，若是，则正常进行生产，若否，则进行步骤S3 ；
[0008]步骤S3，所述状态机根据其内部存储的状态转换规则，将当前设备切换至符合该状态转换规则的对应状态。
[0009]上述的方法，其特征在于，通过在所述状态机中的配置文件以对不同种类设备的状态转换规则进行管理。
[0010]上述的方法，其特征在于，通过对所述配置文件进行修改，以修改所述状态转换规则。
[0011]上述的方法，其特征在于，通过对所述配置文件的数量进行增加，以修改所述状态转换规则。
[0012]上述的方法，其特征在于，每个设备均至少包括以下状态；设备生产状态、设备闲置状态、设备维护状态、设备计划停工状态、设备非计划停工状态和关机状态。
[0013]上述的方法，其特征在于，所述状态转换规则根据若干时间规格进行制定。
[0014]上述的方法，其特征在于，所述若干时间规格包括:设备生产时间规格、设备闲置时间规格、设备维护时间规格、设备计划停工时间规格、设备非计划停工时间规格和关机时间规格。
[0015]通过引入状态机的概念，对于不同设备来兴的设备状态转换规则的管理或转换会泽发生变化的管理通过新增或更改配置文件即可，非常灵活快捷高效。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1是半导体设备划分的状态示意图；
[0017]图2是同一设备间不同状态转换规则示意图；
[0018]图3是工厂内同一设备的设备状态划分示意图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图对本发明的【具体实施方式】作进一步的说明:
[0020]其中，图1所示为一生产设备的基本状态，在同一设备中至少设有设备生产状态，设备闲置状态，设备维护状态，设备计划停工状态，设备非计划停工状态和关机状态。
[0021]一种管理设备状态转换关系的方法，应用于管理若干同一种类的设备的不同状态之间的切换，且每个设备均与一状态机通信连接，该方法包括以下步骤:步骤Si，将预先定义的若干基于不同种类设备的状态转换规则存储至对应的状态机中；步骤S2，任意状态机均判断其对应的当前设备是否可以正常运作，若是，则正常进行生产，若否，则进行步骤S3 ;步骤S3，状态机根据其内部存储的状态转换规则，将当前设备切换至符合该状态转换规则的对应状态。
[0022]如图2所示，一设备设有若干状态ID，每个ID都有一个对应的配置文件，通过状态机中的配置文件以对不同种类设备的状态转换规则进行管理，通过对配置文件的数量的增加和修改来修改状态转换规则，这些状态转换规则是根据若干时间规格进行制定的，这些时间规格至少包括有设备生产时间规格、设备闲置时间规格、设备维护时间规格、设备计划停工时间规格、设备非计划停工时间规格和关机时间规格。当该设备中的一工作状态出现故障的时候，可以根据预先设定的状态装换规则选择可切换的另一种工作状态。当该设备中的设备状态I出现故障，根据图3中对设备预先设定的设备状态划分设定状态装换规则，再根据状态转换规则可以选择设备状态2、3、4、5、6和12进行切换，依次类推，若设备其他状态出现故障也可以根据转换规则进行自由切换，非常的灵活快捷高效。
[0023]每个设备均至少包括以下状态；设备生产状态、设备闲置状态、设备维护状态、设备计划停工状态、设备非计划停工状态和关机状态。
[0024]通过引入状态机的概念，对于不同设备来兴的设备状态转换规则的管理或转换会泽发生变化的管理通过新增或更改配置文件即可，非常灵活快捷高效。
[0025]通过说明和附图，给出了【具体实施方式】的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。
[0026]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
【权利要求】
1.一种管理设备状态转换关系的方法，应用于管理若干同一种类的设备的不同状态之间的切换，且每个所述设备均与一状态机通信连接，其特征在于，该方法包括以下步骤: 步骤SI，将预先定义的若干基于不同种类设备的状态转换规则存储至对应的所述状态机中； 步骤S2，任意所述状态机均判断其对应的当前设备是否可以正常运作，若是，则正常进行生产，若否，则进行步骤S3 ； 步骤S3，所述状态机根据其内部存储的状态转换规则，将当前设备切换至符合该状态转换规则的对应状态。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过在所述状态机中的配置文件以对不同种类设备的状态转换规则进行管理。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，通过对所述配置文件进行修改，以修改所述状态转换规则。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，通过对所述配置文件的数量进行增加，以修改所述状态转换规则。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，每个设备均至少包括以下状态；设备生产状态、设备闲置状态、设备维护状态、设备计划停工状态、设备非计划停工状态和关机状态。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述状态转换规则根据若干时间规格进行制定。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述若干时间规格包括:设备生产时间规格、设备闲置时间规格、设备维护时间规格、设备计划停工时间规格、设备非计划停工时间规格和关机时间规格。
【文档编号】G06F9/48GK104021038SQ201410163886
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日
【发明者】杨习刚 申请人:上海华力微电子有限公司