一种晶圆图谱的绘制方法与流程

1.本发明涉及半导体器件芯片制造技术领域，具体涉及一种晶圆图谱的绘制方法。


背景技术：

2.在半导体芯片制造过程中，工程技术人员会根据产品参数标准调整工艺参数或者做一些工艺试验，都需要对调整后的结果做出判断，目前广泛使用的数据分析软件是mintab、spss和jmp等，这些分析软件只是对数据的频次和因果关系做出分析，欠缺对晶圆数据分布的分析。


技术实现要素：

3.为了克服现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆图谱的绘制方法，采用excel常用办公软件，使用vba编程技术，实现对晶圆图谱的自动绘制。
4.为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
5.一种晶圆图谱的绘制方法，包括：
6.首先根据芯片上晶圆的排布规则将芯片边缘区域的晶圆数量手工输入到excel表格中，从芯片的平边位置开始输入的数量作为基准，逐行向下，如果下一行晶圆数量比上一行晶圆数量增加则输入增加数量的1/2数值，如果下一行晶圆数量与上一行晶圆数量相同则输入0，如果下一行晶圆数量比上一行晶圆数量减少则输入减少数量的-1/2数值，最终形成一列数据；
7.再运行编好的vba程序，程序会根据上一步输入的晶圆数量数据以逐行扫描方式，从芯片平边位置开始自动绘制晶圆图谱，将晶圆在图谱上的实际位置用一种指定的颜色做出标记；
8.晶圆图谱绘制后再运行vba程序，根据上一步标记好的单元格颜色，返回图谱上每个晶圆所在的管芯坐标数据；
9.最后将需要使用晶圆图谱分析的数据依次对应坐标粘贴到excel表格中，运行编好的vba程序，程序自动填充数据到已经绘制的晶圆图谱上；
10.技术人员根据个人分析要求输入对数据的筛选条件，运行编好的vba程序，程序根据输入的筛选条件以扫描方式对晶圆图谱上的数据进行分析并按筛选条件着上不同的颜色。
11.优选地，所述平边位置为芯片的定位边。
12.优选地，所述vba程序设有筛选模块，不同的数据类型，定义有相对应的颜色。
13.本发明的有益效果为：
14.本发明采用excel常用办公软件，使用vba编程技术，实现对晶圆图谱的自动绘制，并根据绘制出来的晶圆图谱提取管芯坐标，再根据管芯坐标将测试完的数据填写到刚刚绘制好的晶圆图谱上，工程技术人员可以根据输入的筛选条件对晶圆map图做出直观性的分析，此方法简洁，生成图谱直观并兼顾着筛选功能，为技术人员提供较好的数据分析的技术
支持。
附图说明
15.图1为本发明方法的流程图；
16.图2为实施例的示意图。
具体实施方式
17.以下结合附图对本设计方案进行详细说明。
18.如图1所示，按照其流程进行晶圆图谱的绘制，首先根据芯片上晶圆的排布规则将芯片边缘区域的晶圆数量手工输入到excel表格中，从芯片的平边位置开始输入的数量作为基准，平边位置为芯片的定位边，逐行向下，如果下一行晶圆数量比上一行晶圆数量增加则输入增加数量的1/2数值，如果下一行晶圆数量与上一行晶圆数量相同则输入0，如果下一行晶圆数量比上一行晶圆数量减少则输入减少数量的-1/2数值，最终形成一列数据；
19.再运行编好的vba程序，程序会根据上一步输入的晶圆数量数据以逐行扫描方式，从芯片平边位置开始自动绘制晶圆图谱，将晶圆在图谱上的实际位置用一种指定的颜色做出标记；
20.晶圆图谱绘制后再运行vba程序，根据上一步标记好的单元格颜色，返回图谱上每个晶圆所在的管芯坐标数据；
21.最后将需要使用晶圆图谱分析的数据依次对应坐标粘贴到excel表格中，运行编好的vba程序，程序自动填充数据到已经绘制的晶圆图谱上；
22.技术人员根据个人分析要求输入对数据的筛选条件，运行编好的vba程序，vba程序设有筛选模块，不同的数据类型，定义有相对应的颜色，程序根据输入的筛选条件以扫描方式对晶圆图谱上的数据进行分析并按筛选条件着上不同的颜色。
23.实施例
24.如图2所示，打开excel表格，首先根据芯片上晶圆的排布规则将芯片边缘区域的晶圆数量手工输入到excel表格中，从定位边位置开始绘制图谱，第一排图形数14粒，就用黄色格子直接涂上24粒，数量作为基准以此数量作为基准，下一行数量比第一行多4个，在此行对应的表中输入2，以此类推，当输入到芯片的下半部时，晶圆数量减少，则输入相对上一行减少数量的-1/2数值，如果下一行晶圆数量与上一行晶圆数量相同则输入0，最终形成一列由正负数值和0所组成的数据，运行编好的vba程序，程序会根据这列晶圆数量数据以逐行扫描方式，从芯片平边位置开始自动绘制晶圆图谱，将图谱用颜色标记出来，形成由带颜色表格组成的图谱形状，此时，每个带颜色的表格都代表一个坐标，运行vba程序，根据上一步标记好的单元格颜色，返回图谱上每个晶圆所在的管芯坐标数据呈现在excel的表格上，将需要使用晶圆图谱分析的数据依次对应坐标粘贴到excel表格中，运行编好的vba程序，程序自动填充数据到已经绘制的晶圆图谱上，使得每个晶圆图谱都有一个相对应的分析数据，技术人员根据个人分析要求输入对数据的筛选条件，运行编好的vba程序，vba程序设有筛选模块，不同的数据类型，定义有相对应的颜色，程序根据输入的筛选条件以扫描方式对晶圆图谱上的数据进行分析并按筛选条件着上不同的颜色，此时整个晶圆图谱呈现在excel表格中。


技术特征：
1.一种晶圆图谱的绘制方法，其特征在于，包括：首先根据芯片上晶圆的排布规则将芯片边缘区域的晶圆数量手工输入到excel表格中，从芯片的平边位置开始输入的数量作为基准，逐行向下，如果下一行晶圆数量比上一行晶圆数量增加则输入增加数量的1/2数值，如果下一行晶圆数量与上一行晶圆数量相同则输入0，如果下一行晶圆数量比上一行晶圆数量减少则输入减少数量的-1/2数值，最终形成一列数据；再运行编好的vba程序，程序会根据上一步输入的晶圆数量数据以逐行扫描方式，从芯片平边位置开始自动绘制晶圆图谱，将晶圆在图谱上的实际位置用一种指定的颜色做出标记；晶圆图谱绘制后再运行vba程序，根据上一步标记好的单元格颜色，返回图谱上每个晶圆所在的管芯坐标数据；最后将需要使用晶圆图谱分析的数据依次对应坐标粘贴到excel表格中，运行编好的vba程序，程序自动填充数据到已经绘制的晶圆图谱上；技术人员根据个人分析要求输入对数据的筛选条件，运行编好的vba程序，程序根据输入的筛选条件以扫描方式对晶圆图谱上的数据进行分析并按筛选条件着上不同的颜色。2.根据权利要求1所述的一种晶圆图谱的绘制方法，其特征在于，所述平边位置为芯片的定位边。3.根据权利要求1所述的一种晶圆图谱的绘制方法，其特征在于，所述vba程序设有筛选模块，不同的数据类型，定义有相对应的颜色。

技术总结
本发明涉及一种晶圆图谱的绘制方法，采用EXCEL常用办公软件，使用VBA编程技术，实现对晶圆图谱的自动绘制，并根据绘制出来的晶圆图谱提取管芯坐标，再根据管芯坐标将测试完的数据填写到刚刚绘制好的晶圆图谱上，工程技术人员可以根据输入的筛选条件对晶圆MAP图做出直观性的分析。观性的分析。


技术研发人员：王久峰 王斌 陈国庆 赵妍
受保护的技术使用者：吉林华微电子股份有限公司
技术研发日：2021.08.12
技术公布日：2023/2/16