一种派货异常的检测、处理方法及装置与流程

本申请涉及半导体，尤其涉及一种派货异常的检测、处理方法及装置。

背景技术：

1、现有技术中，若有派货异常的状况发生，则需要生产操作负责人员去被动发现问题，需通过在机台端有无异常警示、在自动化系统端有无异常信息或在产出产少的情况下才能发现，如果没有人员发现是不会有系统主动通知的。但是随着产能提升，机台数量愈来愈多，这种异常处理流程越来越不能满足高效作业的需求。

2、综上所述，目前的派货异常检测导致工作效率较低，无法满足作业需求。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种派货异常的检测、处理方法及装置，用以实现半导体生产设备派货异常的实时自动检测，从而提高派货异常检测和处理的工作效率，满足作业需求。

2、本申请实施例提供的一种检测派货异常的方法，包括：

3、确定被检测对象处于闲置状态，并且无法派货；其中，所述被检测对象为半导体生产设备的出货最小产能单元；

4、通过检测下列内容之一或组合确定检测结果：

5、所述被检测对象是否被禁止工作；

6、是否有处于等待状态的在制品；

7、装载端口是否处于全自动状态；

8、晶圆组的状态。

9、通过该方法当确定被检测对象处于闲置状态，并且无法派货时，通过检测下列内容之一或组合确定检测结果：所述被检测对象是否被禁止工作；是否有处于等待状态的在制品；装载端口是否处于全自动状态；晶圆组的状态。从而，实现了半导体生产设备派货异常的实时自动检测，从而提高了派货异常检测的工作效率，满足了作业需求。

10、可选地，所述确定检测结果，包括：

11、若检测所述被检测对象被禁止工作，则确定检测结果为所述被检测对象被禁止工作；若检测所述被检测对象未被禁止工作，则进一步检测是否有处于等待状态的在制品；

12、若有处于等待状态的在制品，则进一步检测装载端口是否处于全自动状态；如果所述装载端口未处于全自动状态，则确定检测结果为所述装载端口处于非全自动状态；如果所述装载端口处于全自动状态，则进一步检测晶圆组的状态，根据晶圆组的状态，确定检测结果。

13、可选地，根据所述晶圆组的状态，确定检测结果为下列之一：

14、自动化派工平台没有预约；

15、自动化派工平台预约失败；

16、没有派货的原因。

17、可选地，该方法还包括：

18、将所述检测结果存储于自动化派工平台的检测结果数据库。

19、本申请实施例提供的一种派货异常的处理方法，包括：

20、获取采用所述检测派货异常的方法得到的检测结果，并基于所述检测结果对引起派货异常的问题进行分类，生成分类结果；

21、针对所述分类结果进行除错处理，根据处理结果生成需要发送给用户的反馈信息和/或异常信息；

22、将所述反馈信息发送给至少一个客户端，和/或，利用所述异常信息生成分析报表，将所述分析报表发送给至少一个客户端。

23、可选地，该方法还包括：

24、从产能系统数据库、和/或实时派货系统数据库、和/或生产参数系统数据库获取数据并存储到预设的生产资料数据库中；以及，将从所述检测结果数据库获取的所述检测结果存储到所述生产资料数据库中；所述分类结果是基于从所述生产资料数据库中读取的数据生成的。

25、本申请实施例提供的一种检测派货异常的装置，包括：

26、第一单元，用于确定被检测对象处于闲置状态，并且无法派货；其中，所述被检测对象为半导体生产设备的出货最小产能单元；

27、第二单元，用于通过检测下列内容之一或组合确定检测结果：

28、所述被检测对象是否被禁止工作；

29、是否有处于等待状态的在制品；

30、装载端口是否处于全自动状态；

31、晶圆组的状态。

32、可选地，所述第二单元用于：

33、若检测所述被检测对象被禁止工作，则确定检测结果为所述被检测对象被禁止工作；若检测所述被检测对象未被禁止工作，则进一步检测是否有处于等待状态的在制品；

34、若有处于等待状态的在制品，则进一步检测装载端口是否处于全自动状态；如果所述装载端口未处于全自动状态，则确定检测结果为所述装载端口处于非全自动状态；如果所述装载端口处于全自动状态，则进一步检测晶圆组的状态，根据晶圆组的状态，确定检测结果。

35、可选地，所述第二单元根据所述晶圆组的状态，确定检测结果为下列之一：

36、自动化派工平台没有预约；

37、自动化派工平台预约失败；

38、没有派货的原因。

39、可选地，所述装置还包括：

40、第三单元，用于将所述检测结果存储于自动化派工平台的检测结果数据库。

41、本申请实施例提供的另一种派货异常的处理装置，包括：

42、分类单元，用于获取采用所述检测派货异常的装置得到的检测结果，并基于所述检测结果对引起派货异常的问题进行分类，生成分类结果；

43、除错单元，用于针对所述分类结果进行除错处理，根据处理结果生成需要发送给用户的反馈信息和/或异常信息；

44、发送单元，用于将所述反馈信息发送给至少一个客户端，和/或，利用所述异常信息生成分析报表，将所述分析报表发送给至少一个客户端。

45、可选地，所述分类单元还用于：

46、从产能系统数据库、和/或实时派货系统数据库、和/或生产参数系统数据库获取数据并存储到预设的生产资料数据库中；以及，将从所述检测结果数据库获取的所述检测结果存储到所述生产资料数据库中；所述分类结果是基于从所述生产资料数据库中读取的数据生成的。

47、本申请另一实施例提供了一种计算设备，其包括存储器和处理器，其中，所述存储器用于存储程序指令，所述处理器用于调用所述存储器中存储的程序指令，按照获得的程序执行上述任一种方法。

48、此外，根据实施例，例如提供了一种用于计算机的计算机程序产品，其包括软件代码部分，当所述产品在计算机上运行时，这些软件代码部分用于执行上述所定义的方法的步骤。该计算机程序产品可以包括在其上存储有软件代码部分的计算机可读介质。此外，该计算机程序产品可以通过上传过程、下载过程和推送过程中的至少一个经由网络直接加载到计算机的内部存储器中和/或发送。

49、本申请另一实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于使所述计算机执行上述任一种方法。

技术特征：

1.一种派货异常的检测方法，其特征在于，该方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定检测结果，包括：

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，根据所述晶圆组的状态，确定检测结果为下列之一：

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，该方法还包括：

5.一种派货异常的处理方法，其特征在于，该方法包括：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，该方法还包括：

7.一种派货异常的检测装置，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第二单元用于：

9.根据权利要求7或8所述的装置，其特征在于，所述第二单元根据所述晶圆组的状态，确定检测结果为下列之一：

10.根据权利要求7或8所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

11.一种派货异常的处理装置，其特征在于，包括：

12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述分类单元还用于：

13.一种计算设备，其特征在于，包括：

14.一种用于计算机的计算机程序产品，其特征在于，包括软件代码部分，当所述产品在所述计算机上运行时，所述软件代码部分用于执行根据权利要求1至6中任一项所述的方法。

15.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于使所述计算机执行权利要求1至6任一项所述的方法。

技术总结
本申请公开了一种派货异常的检测、处理方法及装置，用以实现半导体生产设备派货异常的实时自动检测，从而提高派货异常检测的工作效率，满足作业需求。本申请提供的一种派货异常的检测方法，包括：确定被检测对象处于闲置状态，并且无法派货；其中，所述被检测对象为半导体生产设备的出货最小产能单元；通过检测下列内容之一或组合确定检测结果：所述被检测对象是否被禁止工作；是否有处于等待状态的在制品；装载端口是否处于全自动状态；晶圆组的状态。

技术研发人员：蔡诗绘,林宗欣,钟如洁
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14