一种动态划定检测区域的面板检测方法及装置与流程

本发明涉及检测领域，特别涉及一种动态划定检测区域的面板检测方法及装置。

背景技术：

1、在面板module段的aoi(automated optical inspection，自动光学检测)检测领域，随着工艺技术的更新换代，对于特殊类型的缺陷检出提出了更高精度要求，像原来的微米级的缺陷检出要求，现在升级为亚微米级，使得所使用的镜头放大倍率越来越高，相应地镜头的景深范围逐步被压缩。

2、然而，面板表平面很难保证一个很好的平面度，所以为了保证拍照清晰度，需要对面板表平面进行高度测定，即面板表面探高，探高的结果会引导检测探头(图像检测传感器)在检测过程中适时调整z向高度，以使得探头能够对面板表平面上检测视场范围的区域的对焦。

3、传统技术中，只根据探头的检测视场范围的中心点位置的高度信息调整z向高度或者探头，这就使得，当检测视场范围内高度不均匀时，探头拍摄的图像会出现局部不清晰的情况，影响了面板检测的准确度。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本发明提供一种动态划定检测区域的面板检测方法，包括：

2、通过高度测量探头获取面板表平面上的采样点的第一高度信息，所述面板表平面在所述图像检测传感器的检测视场范围内包含的采样点数量为多个；

3、将所述采样点按照对应的所述第一高度信息聚类得到所述面板表平面上与高度分布相关的轮廓信息；

4、根据所述轮廓信息和所述图像检测传感器的检测视场范围划定检测区域，所述检测区域根据所述高度分布各自对应有第二高度信息；

5、通过所述图像检测传感器对所述检测区域拍照检测，且在所述拍照检测包括：根据该检测区域对应的第二高度信息移动所述图像检测传感器和/或调节所述图像检测传感器的拍摄焦距。

6、在其中一个实施例中，所述高度测量探头为线型高度测量探头。

7、在其中一个实施例中，所述通过高度测量探头获取面板表平面上的采样点的高度信息之前还包括：

8、通过光学对位探头校准所述采样点在面板表平面上的位置信息。

9、在其中一个实施例中，至少二个所述检测区域的大小和/或形状不同。

10、在其中一个实施例中，所述通过所述图像检测传感器对所述检测区域拍照检测之前还包括：

11、根据所述检测区域在所述面板表平面的位置分布设定所述图像检测传感器的扫描轨迹。

12、在其中一个实施例中，所述将所述采样点按照对应的所述第一高度信息聚类得到所述面板表平面上与高度分布相关的轮廓信息包括：

13、过滤掉第一高度信息超出第一阈值范围的所述采样点。

14、在其中一个实施例中，所述根据所述轮廓信息和所述图像检测传感器的检测视场范围划定检测区域包括：

15、对于第二高度信息超出第二阈值范围的检测区域，若所述检测区域的大小小于第三阈值，判定该检测区域为缺陷区域。

16、为解决上述问题，本发明还提供了一种动态划定检测区域的面板检测装置，包括：

17、探高模块，用于通过高度测量探头获取面板表平面上的采样点的第一高度信息，所述面板表平面在所述图像检测传感器的检测视场范围内包含的采样点数量为多个；

18、采样点聚类模块，用于将所述采样点按照对应的所述第一高度信息聚类得到所述面板表平面上与高度分布相关的轮廓信息；

19、检测区域规划模块，用于根据所述轮廓信息和所述图像检测传感器的检测视场范围划定检测区域，所述检测区域根据所述高度分布各自对应有第二高度信息；

20、拍照检测模块，用于通过所述图像检测传感器对所述检测区域拍照检测，且在所述拍照检测包括：根据该检测区域对应的第二高度信息移动所述图像检测传感器和/或调节所述图像检测传感器的拍摄焦距。

21、在其中一个实施例中，所述高度测量探头为线型高度测量探头。

22、在其中一个实施例中，所述装置还包括光学对位模块，用于通过光学对位探头校准所述采样点在面板表平面上的位置信息。

23、在其中一个实施例中，所述至少二个所述检测区域的大小和/或形状不同。

24、在其中一个实施例中，所述拍照检测模块还用于根据所述检测区域在所述面板表平面的位置分布设定所述图像检测传感器的扫描轨迹。

25、在其中一个实施例中，所述采样点聚类模块还用于过滤掉第一高度信息超出第一阈值范围的所述采样点。

26、在其中一个实施例中，所述检测区域规划模块还用于对于第二高度信息超出第二阈值范围的检测区域，若所述检测区域的大小小于第三阈值，判定该检测区域为缺陷区域。

27、相较于现有技术，本申请的动态划定检测区域的面板检测方法及装置具有以下有益效果。

28、本发明的动态划定检测区域的面板检测方法在图像检测传感器(即检测探头)的检测视场范围内进行了多个采样点的采样，并根据多个采样点的第一高度信息规划对应不同第二高度的检测区域。相较于传统技术中，采用单一采样点的高度作为整个检测视场范围的面板检材的高度的方案，检测探头可针对检测视场范围内的多个不同高度的区域采用不同的高度进行拍摄，以保证拍摄图像的清晰度。

技术特征：

1.一种动态划定检测区域的面板检测方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法，其特征在于，所述高度测量探头为线型高度测量探头。

3.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法，其特征在于，所述通过高度测量探头获取面板表平面上的采样点的高度信息之前还包括：

4.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法，其特征在于，所述至少二个所述检测区域的大小和/或形状不同。

5.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法，其特征在于，所述通过所述图像检测传感器对所述检测区域拍照检测之前还包括：

6.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法，其特征在于，所述将所述采样点按照对应的所述第一高度信息聚类得到所述面板表平面上与高度分布相关的轮廓信息包括：

7.根据权利要求1所述的动态划定检测区域的面板检测方法，其特征在于，所述根据所述轮廓信息和所述图像检测传感器的检测视场范围划定检测区域包括：

8.一种动态划定检测区域的面板检测装置，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的动态划定检测区域的面板检测装置，其特征在于，所述高度测量探头为线型高度测量探头。

10.根据权利要求8所述的动态划定检测区域的面板检测装置，其特征在于，所述装置还包括光学对位模块，用于通过光学对位探头校准所述采样点在面板表平面上的位置信息。

11.根据权利要求8所述的动态划定检测区域的面板检测装置，其特征在于，所述至少二个所述检测区域的大小和/或形状不同。

12.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述拍照检测模块还用于根据所述检测区域在所述面板表平面的位置分布设定所述图像检测传感器的扫描轨迹。

13.根据权利要求8所述的动态划定检测区域的面板检测装置，其特征在于，所述采样点聚类模块还用于过滤掉第一高度信息超出第一阈值范围的所述采样点。

14.根据权利要求8所述的动态划定检测区域的面板检测装置，其特征在于，所述检测区域规划模块还用于对于第二高度信息超出第二阈值范围的检测区域，若所述检测区域的大小小于第三阈值，判定该检测区域为缺陷区域。

技术总结
本发明提供一种动态划定检测区域的面板检测方法，包括：通过高度测量探头获取面板表平面上的采样点的第一高度信息，所述面板表平面在所述图像检测传感器的检测视场范围内包含的采样点数量为多个；将所述采样点按照对应的所述第一高度信息聚类得到所述面板表平面上与高度分布相关的轮廓信息；根据所述轮廓信息和所述图像检测传感器的检测视场范围划定检测区域，所述检测区域根据所述高度分布各自对应有第二高度信息；通过所述图像检测传感器对所述检测区域拍照检测，且在所述拍照检测包括：根据该检测区域对应的第二高度信息移动所述图像检测传感器和/或调节所述图像检测传感器的拍摄焦距。上述动态划定检测区域的面板检测方法可提高AOI的准确度。

技术研发人员：陈鲁,王天民,张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17