基于真空系统的P/T变化过程的动态计算方法与流程

文档序号:32794515发布日期:2023-01-03 22:01阅读:86来源:国知局
基于真空系统的P/T变化过程的动态计算方法与流程
基于真空系统的p/t变化过程的动态计算方法
技术领域
1.本发明涉及真空技术领域,具体讲是一种基于真空系统的p/t变化过程的动态计算方法。


背景技术:

2.真空是指低于大气压力的气体的给定空间,即每立方厘米空间中气体分子数大约少于两千五百亿亿个的给定空间。真空是相对于大气压来说的,并非空间没有物质存在。用现代抽气方法获得的最低压力,每立方厘米的空间里仍然会有数百个分子存在。气体稀薄程度是对真空的一种客观量度,最直接的物理量度是单位体积中的气体分子数。气体分子密度越小,气体压力越低,真空就越高。
3.随着真空技术的发展,越来越多形式的真空设备逐渐投入市场,尤其是科技领域,对真空环境的要求日益增多,以满足各种实验的需求。
4.随着真空需求的不断增多,关于真空系统的真空计算也逐步产生了相应的需求,各个真空设备生产厂家也对不同要求的真空度设备进行单独的计算。但由于计算方式并未统一,且每次计算都需要重新对计算过程进行梳理,导致计算过程繁琐,且计算结果精度不高。同时,单独对于计算而言只有静态单点计算方式,并不能体现出整个真空系统的p/t变化过程,无法很直观的看出整个真空系统的特性。


技术实现要素:

5.在真空领域,为了使设备初期的方案阶段计算更加方便、快捷和准确,需要对整体计算进行集成,形成计算界面,保证计算统一且计算过程更方便、快捷。除此之外,还可查看整个系统的动态曲线,以实现更准确的方案设计。
6.本发明的目的在于提供一种基于真空系统的p/t变化过程的动态计算方法,以解决上述背景技术中提出的问题。
7.本发明的技术方案是:包括真空系统框架,所述真空系统框架共由四个界面组成,具体为:
8.系统登陆界面;
9.计算界面选择界面,被分为两部分,一部分为真空数学模型;另一部分为预留计算界面,提供了整个真空系统计算的集成接口;
10.真空系统计算界面,被分为两部分,一部分为参数输入界面,为本体界面;另一部分为选择性求解界面,选择性求解界面放置frame中进行单独运算,选择性求解界面为静态计算界面,即单点计算,结果为固定数值;
11.真空系统的动态曲线界面,用于生成整个计算过程的实时p/t曲线图,能够观察到整个系统的真空变化。
12.进一步的,所述参数输入界面包括腔室信息:
13.a.腔室形状:方腔or圆腔;
14.b.材质:不锈钢、氟橡胶及其他材质;
15.c.管路:输入管道相关信息。
16.进一步的,所述选择性求解界面包括计算选项:
17.d.静态互锁p/s:完成腔室必选信息后即可运行;
18.e.动态t:预抽、主抽相关信息为必填信息;当选择中间泵后,中间泵同样为必填信息;动态单点t计算,目标信息为必填信息。
19.进一步的,参数输入界面还包括真空系统数学模型,所述真空系统数学模型主要由腔体、第一泵、第二泵和第三泵构成,其中第二泵为中间泵;针对不同的真空系统,第二泵为可选泵,非必选泵;腔体为主要真空系统,决定大部分真空度参数;第一泵为预抽/前级泵,主要作用于低真空;第二泵/第三泵为主抽泵,主要作用于高真空。
20.进一步的,界面中所有显示计算结果进行format的调整,在底程序中计算结果都按double型数据进行计算。
21.进一步的,整个系统的计算过程可通过曲线进行表达本发明通过改进在此提供一种基于真空系统的p/t变化过程的动态计算方法,与现有技术相比,具有如下改进及优点:
22.本发明自动计算程度高,使用方便,功能多样;针对真空系统快速进行动态计算。
附图说明
23.下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释:
24.图1为本发明的真空系统数学模型;
25.图2为本发明的真空系统框架;
26.图3为本发明的真空系统计算界面;
27.图4为本发明的界面图;
28.图5为本发明的真空系统的动态曲线界面。
具体实施方式
29.下面将结合附图1至图5对本发明进行详细说明,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
30.在真空领域,为了使设备初期的方案阶段计算更加方便、快捷和准确,需要对整体计算进行集成,形成计算界面,保证计算统一且计算过程更方便、快捷。除此之外,还可查看整个系统的动态曲线,以实现更准确的方案设计。
31.本发明通过改进在此提供一种基于真空系统的p/t变化过程的动态计算方法,如图1-图5所示,包括真空系统框架,所述真空系统框架共由四个界面组成,具体为系统登陆界面、计算界面选择界面、真空系统计算界面和真空系统的动态曲线界面。计算界面选择界面包括真空数学模型和预留计算界面;真空系统计算界面包括参数输入界面和选择性求解界面。
32.如图1所示,参数输入界面包括真空系统数学模型,真空系统数学模型主要由腔体、第一泵、第二泵和第三泵构成,其中第二泵为中间泵,针对不同的真空系统,第二泵为可
选泵,非必选泵。腔体为主要真空系统,决定大部分真空度参数。第一泵为预抽/前级泵,主要作用于低真空;第二泵/第三泵为主抽泵,主要作用于高真空。
33.如图2所示,真空系统框架共由四个界面组成,frm1为系统登陆界面,frm2为计算界面选择界面,其中,预留计算界面预留了其他的计算程序(不止局限于真空度)界面,更大的提供了整个真空系统计算的集成接口;frm3为真空系统计算界面,所述真空系统计算界面分为两部分,一部分为参数输入界面,该界面为本体界面,另一部分为选择性求解界面,为避免与参数输入界面选择冲突,故选择性求解界面放置frame中进行单独运算,选择性求解界面为静态计算界面,主要为单点计算,结果为固定数值;frm4为真空系统的动态曲线界面,主要生成整个计算过程的实时p/t曲线图,可更直观的观察到整个系统的真空变化。
34.如图3所示,在真空系统计算界面中,点线流程为可选项,统根据选择项自动进行相关计算;点划线为预留流程。
35.真空系统计算界面包括参数输入界面和选择性求解界面,参数输入界面包括腔室信息:
36.a.腔室形状:方腔or圆腔(腔室信息为模型必备信息,故选择完腔室形状后,必须输入腔室相关信息);
37.b.材质:不锈钢、氟橡胶及其他材质;
38.c.管路:可输入管道相关信息。
39.选择性求解界面包括计算选项:
40.d.静态互锁p/s:完成腔室必选信息后即可运行;
41.e.动态t:预抽、主抽相关信息为必填信息;当选择中间泵后,中间泵同样为必填信息;动态单点t计算,目标信息为必填信息。
42.静态互锁p/s主要为方案设计初始阶段根据腔体对真空要求的信息进行初步的抽速预估,以及根据必要的抽速进行真空度简单的静态计算;
43.动态t主要为所有泵及腔体信息基本完成时,对系统进行详细真空计算,此时t已包含整个压强段,并且t可根据输入的目标进行动态的单点计算;
44.除此之外,整个系统的计算过程可通过曲线进行表达,如图5所示。
45.如图4所示,界面中所有显示计算结果进行format的调整,更便于看各个阶段下的计算数据,但在底程序中计算结果都按double型数据进行计算,以保证计算的准确性。
46.对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
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