基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质与流程

本申请涉及计算机技术，尤其涉及一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质。

背景技术：

1、热敏电阻是一种传感器电阻，其电阻值可以随着温度的变化而改变。热敏电阻可以应用在多种技术领域，例如，在红外探测技术中，热敏性红外探测器是重要工具。

2、在生产热敏电阻时涉及多种制备的工艺参数，例如，工艺参数可以包括温度、掺杂量、退火时间、沉积温度、气体稀释程度等。工艺参数的不同取值会影响热敏电阻的性能，如何准确确定工艺参数的最优值，从而使热敏电阻性能满足使用要求成为亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质，用以提高工艺参数的确定精度。

2、第一方面，本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法，包括：

3、确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息；其中，所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时，制备工艺的参数，所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系；

4、根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值；其中，所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时，所述性能参数满足所述参数值条件；

5、将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。

6、第二方面，本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定装置，包括：

7、信息确定模块，用于确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息；其中，所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时，制备工艺的参数，所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系；

8、目标值确定模块，用于根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值；其中，所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时，所述性能参数满足所述参数值条件；

9、存储模块，用于将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。

10、第三方面，本申请提供一种电子设备，包括：处理器，以及与所述处理器通信连接的存储器；

11、所述存储器存储计算机执行指令；

12、所述处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令，以实现如本申请第一方面所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。

13、第四方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，所述计算机执行指令被处理器执行时用于实现如本申请第一方面所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。

14、第五方面，本申请提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如本申请第一方面所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。

15、本申请提供的一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质，通过确定热敏电阻的工艺参数与三种性能参数之间的相关性信息，结合三种性能参数之间的参数值条件，得到工艺参数的最优解，作为目标值。性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，电阻率、电阻温度系数与噪声参数之间有着极强的相关性，综合这三种性能参数进行工艺参数的确定，提高工艺参数的确定精度，并使得在采用工艺参数制备热敏电阻时能同时满足这三种性能参数的使用要求，保证热敏电阻的使用效果。

技术特征：

1.一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述第一参数值，得到热敏电阻的性能参数的参数值，为第二参数值，包括：

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述第一参数值和所述第二参数值，得到所述工艺参数与每一性能参数之间的函数关系，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值，包括：

6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设的性能参数之间的参数值条件为预设的性能参数优值函数，所述性能参数优值函数用于表示在所述性能参数优值函数的函数值为极值时，所对应的性能参数的数值为最优值；

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述性能参数优值函数的公式如下：

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，根据所述工艺参数与各性能参数之间的函数关系，以及所述性能参数优值函数，确定所述工艺参数的目标值，包括：

9.一种基于热敏电阻的工艺参数确定装置，其特征在于，包括：

10.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器，以及与所述处理器通信连接的存储器；

11.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，所述计算机执行指令被处理器执行时用于实现如权利要求1-8中任一项所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。

12.一种计算机程序产品，其特征在于，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-8中任一项所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。

技术总结
本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质。该方法包括：确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息；其中，所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时，制备工艺的参数，所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数，所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系；根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息，以及预设的性能参数之间的参数值条件，确定所述工艺参数的目标值；其中，所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时，所述性能参数满足所述参数值条件；将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。本申请的方法，提高了工艺参数的确定精度。

技术研发人员：宁坤奇,钟晓兰
受保护的技术使用者：上海集成电路研发中心有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13