一种坏点图形编码方法、设备及存储介质与流程

【】本发明涉及图像处理，特别涉及一种坏点图形编码方法、设备及存储介质。

背景技术

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背景技术：

1、在光刻工艺的缺陷检测流程中，为了对坏点图形实现高效率的检测。对坏点图形使用准确的图形编码算法，保留图形的完整特征，将相同的编码结果分为一类坏点。

2、常见的图形编码算法有哈夫曼编码、位平面编码、sdf等。sdf矩阵可以精准表示一个图形，但同一个图形旋转后，得到的sd f矩阵不一致，而在图形分类中，经过旋转后重合的图形应该分为一个图形，现有的这种分类是不合理是，使用该种的分类方法，随着图形数量增加，需要的计算时间也急剧增加，从而使得坏点检测效率低下。

技术实现思路

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技术实现要素：

1、为了解决现有坏点图形分类不合理、坏点检测效率低的问题，本发明提供一种坏点图形编码方法、设备及存储介质。

2、本发明为解决上述技术问题，提供如下的技术方案：一种坏点图形编码方法，用于对版图上的坏点图形进行编码，所述坏点图形编码方法包括：获取坏点图形，对所述坏点图形进行转化处理得到原始矩阵；对所述原始矩阵进行转动处理，得到多个转动矩阵；将所述原始矩阵和所述转动矩阵进行比对处理，基于比对结果得到最终矩阵；按预设顺序遍历所述最终矩阵的值并将其排列成行，得到坏点编码。

3、优选地，获取坏点图形，包括：获取版图上的坏点位置；以所述坏点位置为中心，向外扩选预设范围，得到坏点图形。

4、优选地，所述坏点图形的外边框为正方形。

5、优选地，对所述坏点图形进行转化处理得到原始矩阵，包括：按照预设的网格数量将所述坏点图形均匀分割；记录所述网格到所述坏点图形最近边界的垂直距离，得到原始矩阵。

6、优选地，所述垂直距离为所述网格到所述坏点图形最近边界之间的网格数量或实际距离。

7、优选地，对所述原始矩阵进行转动处理，包括：将所述原始矩阵旋转预设角度，得到第一转动矩阵；将所述原始矩阵翻转，再将翻转后的矩阵旋转预设角度，得到第二转动矩阵。

8、优选地，将所述原始矩阵和所述转动矩阵进行比对处理，基于比对结果得到最终矩阵，包括：比较所有转动矩阵和原始矩阵相同位置的数值的大小，得到各位置的最小值，以形成最终矩阵。

9、优选地，所述最终矩阵为对称矩阵。

10、本发明为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序以实现如上任一项所述的坏点图形编码方法的步骤。

11、本发明为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被执行时实现如上任一项所述的坏点图形编码方法的步骤。

12、与现有技术相比，本发明所提供的一种坏点图形编码方法、设备及存储介质，具有如下的有益效果：

13、1.本发明实施例提供的一种坏点图形编码方法，用于对版图上的坏点图形进行编码，包括：获取坏点图形，对坏点图形进行转化处理得到原始矩阵；对原始矩阵进行转动处理，得到多个转动矩阵；将原始矩阵和转动矩阵进行比对处理，基于比对结果得到最终矩阵；按预设顺序遍历最终矩阵的值并将其排列成行，得到坏点编码。

14、可以理解地，在实际的坏点图形分类中，在经过旋转和/或镜像后可以重合的图形，应属于同一类别。本实施例将坏点图形旋转、镜像后得到的sdf矩阵通过比对取最小值后得到可以表征该类坏点图形的坏点编码，使得多个经旋转和/或镜像后可以重合的同类图形可以用一个坏点编码进行检测，从而提高了坏点检测的效率。

15、2.本发明实施例提供的坏点图形编码方法中获取坏点图形，包括：获取版图上的坏点位置；以坏点位置为中心，向外扩选预设范围，得到坏点图形。

16、可以理解地，版图上的图形具有重复性的同时，也存在大量微小差异，相同的坏点图形其坏点位置有时会出现偏差，但通常偏差距离不会太大，通过以坏点位置为中心扩选预设范围得到坏点图形，可以对坏点图形相同，但坏点位置有偏差的坏点做初步的分类，以减少计算时间，提高检测效率。

17、3.本发明实施例提供的坏点图形编码方法中坏点图形的外边框为正方形。本实施例的坏点图形通过以坏点位置为中心向四周扩选相等距离长度得到，正方形的图形边框便于后续对坏点图形进行网格分割。

18、4.本发明实施例提供的坏点图形编码方法中对坏点图形进行转化处理得到原始矩阵，包括：按照预设的网格数量将坏点图形均匀分割；记录网格到坏点图形最近边界的垂直距离，得到原始矩阵。可以理解地，通过上述方式，可以简单、高效地将坏点图形转化成对应的sd f矩阵，为后续对坏点图形编码提供数据支撑。

19、5.本发明实施例提供的坏点图形编码方法中对原始矩阵进行转动处理，包括：将原始矩阵旋转预设角度，得到第一转动矩阵；将原始矩阵向左或右翻转，再将翻转后的矩阵旋转预设角度，得到第二转动矩阵。

20、可以理解地，通过上述方式可以快速得到同一个坏点图形旋转和/或镜像后对应的sd f矩阵数据，避免了对不同角度的同一坏点图形重复进行矩阵转化处理，简化了运算流程、提高了整体运算效率。

21、6.本发明实施例提供的坏点图形编码方法中将原始矩阵和转动矩阵进行比对处理，基于比对结果得到最终矩阵，包括：比较所有转动矩阵和原始矩阵相同位置的数值的大小，得到各位置的最小值，以形成最终矩阵。

22、可以理解地，通过比对坏点图形各角度对应矩阵相同位置的数值大小，并取各位置的最小值形成最终矩阵以表征该类坏点图形。以最小值为最终矩阵的数值，使得基于最终矩阵形成的坏点编码的长度最短，以缩短后期坏点匹配检测的时间，提高整体检测效率。

23、7.本发明实施例还提供一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，处理器执行计算机程序以实现如上任一项所述的坏点图形编码方法的步骤。其具有与上述坏点图形编码方法相同的有益效果，在此不再赘述。

24、8.本发明实施例还提供一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序指令，计算机程序指令被执行时实现如上任一项所述的坏点图形编码方法的步骤。其具有与上述坏点图形编码方法相同的有益效果，在此不再赘述。

技术特征：

1.一种坏点图形编码方法，用于对版图上的坏点图形进行编码，其特征在于，所述坏点图形编码方法包括：

2.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于，获取坏点图形，包括：

3.如权利要求2所述的坏点图形编码方法，其特征在于：所述坏点图形的外边框为正方形。

4.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于，对所述坏点图形进行转化处理得到原始矩阵，包括：

5.如权利要求4所述的坏点图形编码方法，其特征在于：所述垂直距离为所述网格到所述坏点图形最近边界之间的网格数量或实际距离。

6.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于，对所述原始矩阵进行转动处理，包括：

7.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于，将所述原始矩阵和所述转动矩阵进行比对处理，基于比对结果得到最终矩阵，包括：比较所有转动矩阵和原始矩阵相同位置的数值的大小，得到各位置的最小值，以形成最终矩阵。

8.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于：所述最终矩阵为对称矩阵。

9.一种计算机设备，其特征在于：包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序以实现如权利要求1-8任一项所述的坏点图形编码方法的步骤。

10.一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序指令，其特征在于：所述计算机程序指令被执行时实现如权利要求1-8任一项所述的坏点图形编码方法的步骤。

技术总结
本发明涉及图像处理技术领域，特别涉及一种坏点图形编码方法、设备及存储介质。坏点图形编码方法，用于对版图上的坏点图形进行编码，包括：获取坏点图形，对坏点图形进行转化处理得到原始矩阵；对原始矩阵进行转动处理，得到多个转动矩阵；将原始矩阵和转动矩阵进行比对处理，基于比对结果得到最终矩阵；按预设顺序遍历最终矩阵的值并将其排列成行，得到坏点编码。通过多个相关矩阵数据的融合得到可以表征一类坏点图形的坏点编码，使得相同图形在进行不同角度的旋转后可以通过算法得到相同的编码结果，以提高检测效率。

技术研发人员：陈珈宇,姜强
受保护的技术使用者：深圳晶源信息技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/29