一种快速限定机台跑货的方法及系统的制作方法
【专利摘要】本发明提供了一种机台限定跑货的方法及系统，通过在MES系统中设置机台针对lot和/或FOUP的限定，在完成机台常规限定检查工作之后，根据机台信息快速限定当前机台针对lot和/或FOUP所有的限定信息，并根据该限定信息进行依次检查，如果全部满足则允许进入生产，如果不满足则将装载lot的FOUP退出并通知用户，能快速的满足用户的需求，减少了生产过程中潜在的误操作和良率降低的风险，减轻了MES开发的压力，极大提高了生产效率，能够更快响应客户对特殊生产的需求。
【专利说明】
-种快速限定机台跑货的方法及系统
技术领域
[0001] 本发明设及半导体生产制造领域，具体设及一种机台限定跑货的方法及系统。
【背景技术】
[0002] 半导体产品的生产是非常复杂的，在半导体工厂的生产过程中，因为制程的复杂 性，生产线上会出现各种各样的新问题，因此在实际生产过程中，需要根据生产的实际情况 来对机台设置各种限定跑货的条件。
[0003] 在现有晶圆制造厂中，一般都采用制造执行系统（Manufac化ring Execution System,MES，简称MES系统）和机台自动化系统来对生产进行控制，同时基于MES系统可对 机台限定的派货条件进行限制。
[0004] 但是，任何系统都是有局限性的，当现有的系统没法满足新的生产需求时，就会提 出新的需求来对MES做相关的改善，W希望通过对系统做出的改善来满足生产的需要，例 如来限定一些特殊的条件W让相关的lot (产品批次）不允许进入一些机台做处理，从而提 高机台的合理利用性，并减少误生产的概率。
[0005] 然而，任何新的需求的开发都需要一定的开发周期和品质的保证，MES属于半导体 生产中较为核屯、的系统，对系统开发的品质要求非常高，对新需求的开发需要一系列的测 试，所W，一个新的需求的开发需要一定的时间，但是对生产用户来说，如果系统能尽早部 署，就能尽早的限制，运样可W避免生产的误操作，减少产品的报废。
[0006] 对一个新的针对机台的限定跑货的需求，怎样能够快速的部署满足生产的要求， 运是MES系统一直想要解决的难点。
[0007] 在过去，如果在生产的过程中，需要设置机台的限制（constraint)问题，需要在 MES系统中进行相关设置，但是如果有很特别的需求，现有的机台限制机制可能无法支持， 那就会和MES的开发人员讨论需求开发，MES开发人员会根据用户的需求改善机台限制机 审IJ，流程如图1所示：首先生产人员需要和MES开发人员进行需求讨论，然后进行MES评估 需求，做需求设计，并对MES系统进行代码开发W及相应的测试程序，最后部署上线。
[0008] 但是根据图示可得出：MES会根据用户的需求开发新的系统功能，需要开发主要 会产生如下问题：1)开发周期长，基本上一个小的需求的开发经由完整的流程需要大约一 周左右，而在MES系统中，lot-般具有近百个属性，譬如lot的优先级、lot的ΝΤΟ (新产品 下线）属性、lottype (lot类型）等等；同时用于装载lot的Ρ〇υΡ(Ρ?οη? Opening Unified 化d，晶圆盒，W下简称FOUP)也具有自身的很多属性：例如FOUP是属于哪家厂商提供的， F0UP是作为产品lot的承载体还是作为monitor lot (监控批次产品）的承载体，F0UP使 用的年限等等，如果由于生产需要来对部分和全部的lot配置信息进行开发W实现机台限 定跑货的条件，不仅开发周期较长，而且影响生产效率；2)开发中因为需要新的代码，在实 际应用中可能会产生冲突，不可避免会引发新的系统bug ;3)对于生产上的run货限定没有 及时卡住，有导致良率降低和产品晶圆报废的风险。
[0009] 因此，在实际生产中如何快速限定进入机台的产品为生产人员所期望的lot和/ 或FOUP为本领域技术人员致力研究的方向。
【发明内容】
[0010] 本发明提供了一种机台限定跑货的方法及系统，通过在MES系统中设置机台针对 lot和/或F0UP的限定，在完成机台常规限定检查工作之后，根据机台信息快速限定当前 机台针对lot和/或F0UP所有的限定信息，并根据该限定信息进行依次检查，如果全部满 足则允许进入生产，如果不满足则将装载lot的F0UP退出并通知用户，能快速的满足用户 的需求，减少了生产过程中潜在的误操作和良率降低的风险，减轻了 MES开发的压力，减少 MES在新开发的过程中错误代码的bug发生率，极大提高了生产效率，能够更快响应客户对 特殊生产的需求。 W11] -种快速限定机台跑货的方法，应用于MES系统中，其中，包括W下步骤：
[0012] 步骤S1 :提供若干机台和若干装载有lot的F0UP，并根据工艺需求于所述MES系 统中设置每个机台的常规限定信息及特殊限定信息，且该MES系统中还存储有每个所述 lot的属性信息、每个所述F0UP的属性信息和每个所述机台的信息；
[0013] 步骤S2:将所述F0UP运送至一相应机台的预检平台后，进行机台常规限定检查操 作；
[0014] 步骤S3 :若装载有lot的F0UP不符合所述机台常规限定的条件，则将该装载有 lot的F0UP退出，并将另一装载有lot的F0UP运送至该机台，继续步骤S2 ;
[0015] 若装载有lot的F0UP符合所述机台常规限定的条件，则通过ΕΑΡ系统获取当前 F0UP的属性信息、该F0UP装载的lot的属性信息和当前所述机台的信息，并继续步骤S4 ;
[0016] 步骤S4 :根据当前所述机台的信息调取该机台的特殊限定信息，并根据该特殊限 定信息对当前F0UP和/或该F0UP装载的lot进行特殊限定检查操作；
[0017] 步骤S5 :若当前F0UP的属性信息和/或该F0UP装载的lot的属性信息均符合该 机台的特殊限定信息，则允许所述装载有lot的F0UP进入该机台生产；否则，将所述装载有 lot的F0UP退出该机台，并将另一装载有lot的F0UP运送至该机台，继续步骤S2。
[0018] 上述的快速限定机台跑货的方法，其中，所述特殊限定信息包括特殊限定的类型、 每个机台的特殊限定条件和相应的特殊限定提醒信息，且该特殊限定的类型为lot限定、 F0UP限定W及lot和F0UP限定。
[0019] 上述的快速限定机台跑货的方法，其中，所述步骤S4中的特殊限定检查操作还包 括对所述机台的特殊限定信息进行判定，W获取该机台的特殊限定的类型，之后进行特殊 限定检查操作，具体为：
[0020] 步骤S41 :若特殊限定的类型中没有lot限定，则继续步骤S42 ;否则，判定所述 lot属性信息是否符合当前机台的特殊限定条件；
[0021] 步骤S42 :若特殊限定的类型中没有F0UP限定，则继续步骤S43 ;否则，判定所述 F0UP的属性信息是否符合当前机台的特殊限定条件；
[0022] 步骤S43 :若特殊限定的类型中没有lot限定且没有F0UP限定，则允许所述装载 有lot的F0UP进入该机台生产；否则，判定所述lot属性信息和所述F0UP的属性信息是否 均符合当前机台的特殊限定条件。
[0023] 上述的快速限定机台跑货的方法，其中，在所述步骤S5中，若装载有lot的F0UP 被退出机台时，同时通知用户被退出的lot和/或FOUP的属性信息。
[0024] 上述的快速限定机台跑货的方法，其中，所述MES系统中设置有一信息输入装置， 通过所述信息输入装置来将每个机台的限定信息和W及每个所述lot和每个所述F0UP的 属性信息录入至所述MES系统中。
[00巧]一种快速限定机台派货的系统，其中，包括： W26] 若干机台和若干装载有lot的F0UP ;
[0027] 信息维护模块和信息存储模块，所述信息维护模块用于将每个机台的常规限定信 息、特殊限定信息、每个所述lot的属性信息、每个所述F0UP的属性信息W及每个所述机台 的信息录入至所述信息存储模块，并通过所述信息存储模块进行储存；
[0028] 预检模块，所述预检模块用于调取常规限定信息并进行机台常规限定检查，W及 根据机台常规限定检查的结果选择是否获取当前lot、F0UP及机台信息；
[0029] 处理模块，根据所述机台的信息调取当前机台的特殊限定信息，并根据该特殊限 定信息对当前F0UP和/或该F0UP装载的lot进行特殊限定检查操作：
[0030] 执行模块，若lot和/或F0UP的属性信息全部符合特殊限定检查的条件，通过所 述执行模块允许当前装载有lot的F0UP进入机台生产；若lot和/或F0UP的任意一项属 性信息与特殊限定检查的条件不相符，则通过所述执行模块将所述装载有lot的F0UP退出 该机台，并将另一装载有lot的F0UP运送至该机台。
[0031] 上述的快速限定机台跑货的系统，其中，
[0032] 所述特殊限定信息包括特殊限定的类型、每个机台的特殊限定条件和相应的特殊 限定提醒信息，且该特殊限定的类型为lot限定、F0UP限定W及lot和F0UP限定。
[0033] 上述的快速限定机台跑货的系统，其中，所述处理模块还包括一分析单元，利用所 述分析单元对当前机台的特殊限定信息进行判定，W获取该机台的特殊限定的类型并进行 特殊检查，具体为：
[0034] 步骤1 :若特殊限定的类型中没有lot限定，则继续步骤2 ;否则，判定所述lot的 属性信息是否符合当前机台的特殊限定条件；
[0035] 步骤2 :若特殊限定的类型中没有F0UP限定，则继续步骤3 ;否则，判定所述F0UP 的属性信息是否符合当前机台的特殊限定条件；
[0036] 步骤3 :若特殊限定的类型中没有lot限定且没有F0UP限定，则允许装载有lot的 F0UP进入该机台生产；否则，判定所述lot的属性信息和所述F0UP的属性信息是否均符合 当前机台的特殊限定条件。
[0037] 上述的快速限定机台跑货的系统，其中，所述系统还包括一提醒模块；
[0038] 若装载有lot的F0UP被退出机台时，通过所述提醒模块来通知用户被退出的lot 和/或FOUP属性信息。
[0039] 上述的快速限定机台跑货的系统，其中，所述预检模块设置有一信息获取单元，通 过所述信息获取单元来获取当前机台信息及lot和/或FOUP属性信息。
[0040] 由于本发明采用了 W上技术方案，可达到快速限定机台所允许进入的lot和/ F0UP，将不符合要求的lot和/FOUP退出机台并及时通知用户，减少了生产过程中潜在的误 操作和良率降低的风险，减轻了 MES开发的压力，减少MES在新开发的过程中错误代码的 bug发生率，极大提高了生产效率，能够更快相应客户对特殊生产的需求。
【附图说明】 阳〇川通过阅读参照W下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外 形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例 绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。
[0042] 图1为现有技术中需要对制造执行系统进行调整的流程图；
[0043] 图2为本发明所提供的一种快速限定机台跑货的方法的流程图；
[0044] 图3为本发明所提供的一种快速限定机台跑货的系统示意图；
[0045] 图4为本发明中的机台、机台自动化系统与制造执行系统形成交互的架构图。
【具体实施方式】
[0046] 下面结合附图对本发明的【具体实施方式】作进一步的说明：
[0047] 本发明提供了一种快速限定机台跑货的方法，应用于MES系统中，如图2所示，包 括W下步骤：
[0048] 步骤S1 :提供若干机台和若干装载有lot的F0UP，并根据工艺需求通过一信息输 入装置来将每个机台的常规限定信息及特殊限定信息、用户所需lot的属性信息、用户所 需F0UP的属性信息及每个机台信息录入至MES系统中。在本发明中，其中，F0UP的属性信 息包括F0UP的制造厂商、F0UP的使用年限、F0UP尺寸规格及其他所有相关的F0UP信息； lot的属性信息包括lot的优先级（如I、II、III、IV等）、lot的ΝΤΟ属性、lot所属客户其 他所有相关的lot信息。
[0049] 步骤S2 :利用人工搬运或其他方式将装载有lot的F0UP运送至相应机台的预检 平台后，调取MES系统中关于当前机台的常规限定信息并进行机台常规限定检查工作，即 MES系统原有的机台限定检查工作。
[0050] 步骤S3 :若当前lot不符合机台常规限定检查条件，则将该装载有lot的F0UP退 出机台，并将另一装载有lot的F0UP运送至该机台，继续步骤S2 ;
[0051] 若当前lot符合机台常规限定检查条件，允许lot进行生产，则继续进行相关信息 的准备工作，即通过ΕΑΡ系统（或称机台自动化系统）获取相应属性信息，即从MES系统中 获取当前F0UP的属性信息、该F0UP装载的lot的属性信息和当前所述机台的信息，并继续 步骤S4, ΕΑΡ系统与MES系统的交互流程可参照图4所示。 阳0巧步骤S4 :根据当前机台的限定信息调取该机台的特殊限定信息，即从MES系统中 获取针对当前机台所有的特殊限定信息，其中，特殊限定信息包括F0UP和/或lot限定的 类型、限定的条件、W及相应的限定提醒信息。例如，针对机台1，其是对lot的相关限定， 并无对F0UP信息的限定，如限定的条件是不允许优先级为II的lot进入，而其他优先级的 lot则允许被进入；针对机台2,其是对F0UP信息的限定，并无对lot信息的相关限定，如机 台2允许进入的F0UP的使用年限在两年W内，因此使用超过两年的F0UP则不允许被进入； 针对机台3,其是同时对lot和F0UP同时进行了限定，如不允许优先级为III的lot且不允 许B厂商制作的F0UP进入。在此需要说明的是，W上实施例只是为了举例说明，并不代表 单个机台只能限定其中一种信息，例如机台1同时可限定两种或两种W上信息，例如可限 定优先级为II、ΠΙ且所属客户为A的lot进入，同理，机台3可同时限定多个F0UP信息及多 个lot信息，具体相关信息限定可根据工艺需求来进行调整，在此不予寶述。同时在实际应 用中本发明可W扩展到针对其他类型的限定，并不仅仅局限于lot和F0UP的相关限定，例 如根据需求可对机台属性和/或产品属性进行限定，在此不予寶述。
[0053] 在此步骤中的特殊限定检查操作还包括对机台的限定信息进行判定，W获取该机 台的特殊限定检查的类型，具体步骤如下：
[0054] 步骤S41 :若特殊限定的类型中没有lot限定，则继续步骤S42 ;否则，判定lot属 性信息是否符合当前机台的特殊限定条件。在本发明中，由于可支持对lot的单条或多条 属性信息进行限定检查，因此根据每条特殊限定条件需要进行逐条检查，在检查过程中，如 果当前lot的属性信息与当前机台所允许进入的关于lot的特殊限定条件全部匹配，则进 入后续的特殊限定条件检查；如果当前lot的属性信息有任意一条违反当前机台所允许进 入的关于lot的特殊限定条件，则立即终止此次检查，并根据违反限定的此次记录得到所 对应的限定提醒信息，并通知到用户此类lot违反当前机台的跑货限定。例如机台1仅包 含有lot的限定信息为不允许优先级为II的lot进入，因此在进行检查时，仅仅将优先级为 II作为限定lot进入机台的限定条件，因此只允许优先级不为II的lot进入机台进行后续 生产，而优先级为II的lot则将其退出，同时通过机台自动化系统将此次退出记录通知到 相关技术人员。 阳化5] 步骤S42 :若特殊限定的类型中没有F0UP限定，则继续步骤S43 ;否则，判定所述 F0UP的属性信息是否符合当前机台的特殊限定条件，在本发明中，同样可支持对F0UP的单 条或多条属性信息进行限定，具体相关步骤与步骤S41类似，在此不予寶述。
[0056] 步骤S43 :若特殊限定的类型中没有lot限定且没有F0UP限定，则允许装载有lot 的F0UP直接进入机台生产；否则，还需要判定lot的属性信息W及F0UP的属性信息是否均 符合当前机台的特殊限定条件，即进入lot和F0UP的交叉属性的限定检查。例如在一个实 施例中，限定的是不允许优先级为III的lot且不允许B厂商制作的F0UP进入，因此其他优 先级的lot及其他制造厂商的F0UP则允许被进入至机台。
[0057] 步骤S5 :若当前F0UP的属性信息和/或该F0UP装载的lot的属性信息均符合 该机台的特殊限定信息，则允许装载有lot的F0UP进入该机台生产；否则，将装载有lot 的F0UP退出该机台，并将另一装载有lot的F0UP运送至该机台，继续步骤S2,即：当步骤 S41~步骤S43中的任意一个步骤出现lot和/或F0UP的属性信息与特殊限定条件不符合 时，则立即停止检查，退出当前装载有lot的F0UP，并将另一装载有lot的F0UP运送至该机 台。
[005引同时，在本发明中，特殊限定信息包括特殊限定提醒信息，例如当在步骤S41中有 不符合条件的lot时，则会W特定的提醒方式发出相应提醒信息告知相应用户，而在步骤 S42中有不符合条件的F0UP时，则会W另外一种方式发出相应提醒信息告知其他用户（例 如报警）。在此说明的是，W上报警方法只是为了更好的阐述所列举的实施例，实际应用中 并不局限于上述提醒方式，在此不予寶述。
[0059] 可结合下列表格并结合上述实施例来进行进一步理解。
[0060]
[0061]同时，本发明还提供了一种快速限定机台派货的系统，具体的，包括： W62] 若干机台和若干装载有lot的F0UP ;
[0063] 信息维护模块和信息存储模块，信息维护模块和信息存储模块，信息维护模块用 于将每个机台的常规限定信息和特殊限定信息W及每个lot的属性信息、每个F0UP的属性 信息和每个机台的信息录入至信息存储模块，并通过所述信息存储模块进行储存。其中， F0UP的属性信息包括F0UP的制造厂商、F0UP的使用年限、F0UP尺寸规格及其他所有相关 的F0UP f目息；lot的属性f目息包括lot的优先级（如同I、II、III、IV等）、lot的ΝΤΟ属性、 lot所属客户其他所有相关的lot信息。
[0064] 预检模块，预检模块用于调取当前机台的常规限定信息并进行机台常规限定检 查，W及根据机台常规限定检查的结果选择是否获取当前lot、F0UP及机台信息：如果存在 问题，则直接将lot退出机台；如果机台常规限定检查没有问题，则进入特殊限定检查。其 中，预检模块中设置有一信息获取单元，通过信息获取单元来获取当前F0UP的属性信息、 F0UP装载的lot的属性信息及机台信息。
[0065] 处理模块，根据机台的信息调取当前机台的特殊限定信息，并根据该特殊限定信 息对当前F0UP和/或该F0UP装载的lot进行特殊限定检查操作。特殊限定信息包括特殊 限定的类型、每个机台的特殊限定条件和相应的特殊限定提醒信息，且该特殊限定的类型 为lot限定、F0UP限定W及lot和F0UP限定；特殊限定的类型为lot限定、F0UP限定W及 lot和F0UP限定。
[0066] 上述处理模块中还包含有一分析单元，利用该分析单元可针对当前的特殊限定信 息进行判定，W快速获取该机台的特殊限定的类型并进行特殊限定检查，具体为：
[0067] 步骤1 :若分析单元判定出特殊限定的类型中没有lot限定，则继续步骤2 ;否则， 判定所述lot的属性信息是否符合当前机台的特殊限定条件；
[0068] 步骤2 :若分析单元判定出特殊限定的类型中没有F0UP限定，则继续步骤3 ;否 贝1J，判定所述F0UP的属性信息是否符合当前机台的特殊限定条件； W例步骤3 :若分析单元判定出特殊限定的类型中没有lot限定且没有F0UP限定，则 允许装载有lot的F0UP进入该机台生产；否则，判定所述lot的属性信息和所述F0UP的属 性信息是否均符合当前机台的特殊限定条件。
[0070] 执行模块，若lot和/或FOUP的属性信息全部符合特殊限定检查的条件，通过执 行模块允许当前装载有lot的F0UP进入机台生产；若lot和/或F0UP的任意一项属性信 息与特殊限定检查的条件不相符，则通过所述执行模块将所述装载有lot的F0UP退出该机 台，并将另一装载有lot的F0UP运送至该机台。当步骤1~步骤3任意一个环节出现有不 符合条件的lot和/或F0UP时，本发明提供的系统会根据一提醒模块来通知用户被退出 的lot和/或F0UP的属性信息，同时根据被退出的lot和/或F0UP的不同，也会W特定的 不同提醒方式来发出相应提醒信息告知相应用户。例如当在步骤1中有不符合条件的lot 时，则会W特定的提醒方式发出相应提醒信息告知相应用户（例如发邮件），而在步骤2中 有不符合条件的F0UP时，则会W另外一种方式发出相应提醒信息告知其他用户（例如报 警）。在此说明的是，W上提醒方式只是为了更好的阐述所列举的实施例，实际应用中并不 局限于上述提醒方式，在此不予寶述。
[0071] 综上所述，由于本发明采用了 W上技术方案，在完成常规机台限定检查后，可根据 当前机台信息来快速限定机台针对lot和/或F0UP的限定类型，然后根据该限定类型来继 续进行特殊限定检查，进而实现机台对装载lot的F0UP进行快速限定，对符合限定条件的 lot和/或F0UP允许进入机台进行生产，而对不符合相关条件的lot和/或F0UP则禁止 其进入机台进行生产，此方法的实现，能快速的满足用户的需求，减少了生产过程中潜在的 误操作和良率降低的风险，减轻了 MES开发的压力，减少MES在新开发的过程中错误代码的 bug发生率，极大提高了生产效率，能够更快响应客户对特殊生产的需求。
[0072] W上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述 特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予W实 施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述掲示 的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等 效实施例，运并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据 本发明的技术实质对W上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明 技术方案保护的范围内。
【主权项】
1. 一种快速限定机台跑货的方法，应用于MES系统中，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1 :提供若干机台和若干装载有lot的FOUP，并根据工艺需求于所述MES系统中 设置每个机台的常规限定信息及特殊限定信息，且该MES系统中还存储有lot的属性信息、 F0UP的属性信息和机台的信息； 步骤S2 :将所述F0UP运送至一相应机台的预检平台后，进行机台常规限定检查操作； 步骤S3 :若装载有lot的F0UP不符合所述机台常规限定的条件，则将该装载有lot的 F0UP退出，并将另一装载有lot的F0UP运送至该机台，继续步骤S2 ; 若装载有lot的F0UP符合所述机台常规限定的条件，则通过ΕΑΡ系统获取当前F0UP 的属性信息、该F0UP装载的lot的属性信息和当前所述机台的信息，并继续步骤S4 ; 步骤S4 :根据当前所述机台的信息调取该机台的特殊限定信息，并根据该特殊限定信 息对当前F0UP和/或该F0UP装载的lot进行特殊限定检查操作； 步骤S5 :若当前F0UP的属性信息和/或该F0UP装载的lot的属性信息均符合该机台 的特殊限定信息，则允许所述装载有lot的F0UP进入该机台生产；否则，将所述装载有lot 的F0UP退出该机台，并将另一装载有lot的F0UP运送至该机台，继续步骤S2。2. 如权利要求1所述的快速限定机台跑货的方法，其特征在于，所述特殊限定信息包 括特殊限定的类型、每个机台的特殊限定条件和相应的特殊限定提醒信息，且该特殊限定 的类型为lot限定、F0UP限定以及lot和F0UP限定。3. 如权利要求2所述的快速限定机台跑货的方法，其特征在于，所述步骤S4中的特殊 限定检查操作还包括对所述机台的限定信息进行判定，以获取该机台的特殊限定检查的类 型，之后进行特殊限定检查操作，具体为： 步骤S41 :若特殊限定的类型中没有lot限定，则继续步骤S42 ;否则，判定所述lot属 性信息是否符合当前机台的特殊限定条件； 步骤S42 :若特殊限定的类型中没有F0UP限定，则继续步骤S43 ;否则，判定所述F0UP 的属性信息是否符合当前机台的特殊限定条件； 步骤S43 :若特殊限定的类型中没有lot限定且没有F0UP限定，则允许所述装载有lot 的F0UP进入该机台生产；否则，判定所述lot的属性信息和所述F0UP的属性信息是否均符 合当前机台的特殊限定条件。4. 如权利要求1所述的快速限定机台跑货的方法，其特征在于，在所述步骤S5中，若装 载有lot的F0UP被退出机台时，同时通知用户被退出的lot和/或F0UP的属性信息。5. 如权利要求1所述的快速限定机台跑货的方法，其特征在于，所述MES系统中设置有 一信息输入装置，通过所述信息输入装置来将每个机台的限定信息和以及每个所述lot和 每个所述F0UP的属性信息录入至所述MES系统中。6. -种快速限定机台派货的系统，其特征在于，包括： 若干机台和若干装载有lot的F0UP ; 信息维护模块和信息存储模块，所述信息维护模块用于将每个机台的常规限定信息、 特殊限定信息、每个所述lot的属性信息、每个所述F0UP的属性信息以及每个所述机台的 信息录入至所述信息存储模块，并通过所述信息存储模块进行储存； 预检模块，所述预检模块用于调取常规限定信息并进行机台常规限定检查，以及根据 机台常规限定检查的结果选择是否获取当前lot、F0UP及机台信息； 处理模块，根据所述机台的信息调取当前机台的特殊限定信息，并根据该特殊限定信 息对当前FOUP和/或该FOUP装载的lot进行特殊限定检查操作： 执行模块，若lot和/或F0UP的属性信息全部符合特殊限定检查的条件，通过所述执 行模块允许当前装载有lot的FOUP进入机台生产；若lot和/或FOUP的任意一项属性信 息与特殊限定检查的条件不相符，则通过所述执行模块将所述装载有lot的FOUP退出该机 台，并将另一装载有lot的FOUP运送至该机台。7. 如权利要求6所述的快速限定机台跑货的系统，其特征在于，所述特殊限定信息包 括特殊限定的类型、每个机台的特殊限定条件和相应的特殊限定提醒信息，且该特殊限定 的类型为lot限定、FOUP限定以及lot和FOUP限定。8. 如权利要求7所述的快速限定机台跑货的系统，其特征在于，所述处理模块还包括 一分析单元，利用所述分析单元对所述机台的限定信息进行判定，以获取该机台的特殊限 定检查的类型并进行特殊检查，具体为： 步骤1 :若特殊限定的类型中没有lot限定，则继续步骤2 ;否则，判定所述lot的属性 信息是否符合当前机台的特殊限定条件； 步骤2 :若特殊限定的类型中没有FOUP限定，则继续步骤3 ;否则，判定所述FOUP的属 性信息是否符合当前机台的特殊限定条件； 步骤3 :若特殊限定的类型中没有lot限定且没有FOUP限定，则允许装载有lot的FOUP 进入该机台生产；否则，判定所述lot的属性信息和所述FOUP的属性信息是否均符合当前 机台的特殊限定条件。9. 如权利要求6所述的快速限定机台跑货的系统，其特征在于，所述系统还包括一提 醒模块； 若装载有lot的FOUP被退出机台时，通过所述提醒模块来通知用户被退出的lot和/ 或FOUP的属性信息。10. 如权利要求6所述的快速限定机台跑货的系统，其特征在于，所述预检模块设置有 一信息获取单元，通过所述信息获取单元来获取当前FOUP的属性信息、FOUP装载的lot的 属性信息及机台信息。
【文档编号】G06Q10/06GK105824607SQ201510006100
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2015年1月6日
【发明人】王伦国, 史晓霖, 隋云飞
【申请人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司