专利名称：树脂薄膜的制造方法和制造装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子元件等所使用的树脂薄膜的制造方法和制造装置。
背景技术：
树脂薄膜所发挥的作用很广泛，它用于磁带、电容器、包装用薄膜等日常生活的各个方面。这些用途的树脂薄膜的形成方法主要划分为涂敷法和真空成膜法这两大类。
涂敷法是把用溶剂进行稀释的树脂材料涂敷到基板上，形成树脂薄膜。该涂敷法适用于高速度大面积形成树脂薄膜的情况。但存在的问题是若使薄膜厚度减小到1μm以下，则会出现薄膜缺陷等问题。与此相比，真空成膜法是在真空条件下使通过加热而蒸发的树脂材料粘附到基板上形成树脂薄膜。该真空成膜法的生产效率比涂敷法低，但对厚度1μm以下的薄膜的形成也能适应，所以近几年正在大力开发。
在日本特开平11-209870号公报中公开了这样一种方法，即利用真空成膜法，在圆筒状的支持体上移动的薄膜基片、或间歇移动的平板状基片的表面上，以高速且无缺陷的状态形成树脂薄膜。
在该方法中，在同一真空室内，设置用真空成膜法形成树脂薄膜的树脂薄膜形成部、以及用蒸发淀积等真空工艺来形成无机薄膜的无机薄膜形成部的多种成膜装置，在基片上形成包括树脂薄膜和无机薄膜的薄膜叠层体。但是，用真空工艺形成的无机薄膜的质量容易受形成部的气体，尤其是真空度的影响。如上所述，在同一真空室内设置树脂薄膜形成部和无机薄膜形成部来形成薄膜叠层体的情况下，成膜时的树脂蒸气压比较高，所以，存在的问题是树脂蒸气造成无机薄膜形成部的真空度下降，得不到高质量的无机薄膜。
因此，像半导体和液晶屏等使用的那种角形平板形状和圆形平板形状的基板上，除了形成树脂薄膜外，还形成无机薄膜，或者进行表面处理，在这种无机薄膜的形成时和表面处理时必须保持高质量的环境的情况下，利用闸阀(gate valve)等来对树脂薄膜形成部及其以外的无机薄膜形成部和表面处理部进行分隔，以免各工序的环境互相干扰。这样，依次间歇式地把基片传送到各工序，进行成膜和处理。例如，必须在基片上依次形成无机薄膜、树脂薄膜，然后在对树脂薄膜进行表面处理的情况下，最初在无机薄膜形成部在基片上形成无机薄膜，接着，打开无机薄膜形成部和树脂薄膜形成部之间的闸阀，把基片传送到树脂薄膜形成部内，形成树脂薄膜，然后，打开树脂薄膜形成部和表面处理部之间的闸阀，把基片传送到表面处理部内，进行表面处理。
如上所述，在间歇式传送的基片上形成树脂薄膜的情况下，在形成树脂薄膜时基片停止，所以产生问题，而这种问题在上述日本特开平11-209870号公报中所述的连续地移动的基片上形成树脂薄膜的情况尚不明显。
例如，树脂薄膜厚度的精度，基本上决定于树脂材料的蒸发量的控制程度。过去，树脂材料的蒸发量的调整方法是控制向加热体上的液状树脂材料的供给时间，即设置在液状树脂材料的供给管上的阀门的开放时间。但是，这种方法中，树脂材料的蒸发量容易出现偏差，其结果，形成的树脂薄膜的厚度也容易出现不稳定。
发明的内容本发明的目的在于提供一种树脂薄膜的制造方法和制造装置，其解决了利用真空成膜法在间歇式传送的基片上形成树脂薄膜的情况下存在的上述问题，使薄膜厚度的偏差减小。
本发明为了达到上述目的，采用以下结构。
本发明的第1树脂薄膜的制造方法，其特征在于该树脂薄膜的制造装置具有加热构件，用于对液状树脂材料进行加热使其蒸发；支架，用于把已蒸发的上述树脂材料液化后附着的基板，保持在规定的位置上；真空室，用于放置上述加热构件、上述基板和上述支架；一次槽罐(tank)部，它具有加压槽罐、以及设置在上述加压槽罐内的用于储存上述液状树脂材料的树脂材料槽(cup)；供给部，它具有临时储存上述液状树脂材料的供给槽罐、以及设置在上述供给槽罐内且根据上述供给槽罐内的上述液状树脂材料的体积来进行位移的活塞；一次侧供给管，用于从上述树脂材料槽向上述供给槽罐内输送上述液状树脂材料；一次侧阀门，它设置在上述一次侧供给管上；蒸发侧供给管，用于从上述供给槽罐向上述加热构件输送上述液状树脂材料；以及蒸发侧阀门，它设置在上述蒸发侧供给管上；利用上述树脂薄膜的制造装置来进行以下工序在打开上述一次侧阀门，关闭上述蒸发侧阀门的状态下，使上述加压槽罐升压，通过上述一次侧供给管把上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料压送到上述供给槽罐内；关闭上述一次侧阀门，打开上述蒸发侧阀门，通过上述蒸发侧供给管把上述供给槽罐内的上述液状树脂材料输送到上述加热构件上。
并且，本发明的第2树脂薄膜的制造方法，其特征在于该树脂薄膜的制造装置具有加热构件，用于对液状树脂材料进行加热使其蒸发；支架，用于把已蒸发的上述树脂材料液化后附着的基板，保持在规定的位置上；真空室，用于放置上述加热构件、上述基板和上述支架；一次槽罐部，它具有加压槽罐、以及设置在上述加压槽罐内的用于储存上述液状树脂材料的树脂材料槽；供给管，用于向上述加热构件上供应储存在上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料；阀门，它设置在上述侧供给管上；以及流量计，用于测量在上述供给管内流动的上述液状树脂材料的流量；利用该树脂薄膜的制造装置来进行以下工序在关闭上述阀门的状态下，使上述加压槽罐内升压；打开上述阀门，通过上述供给管向上述加热构件上压送上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料；当由上述流量计测出的上述液状树脂材料的流量达到规定值时，关闭上述阀门。
其次，本发明的第1树脂薄膜的制造装置，其中具有加热构件，用于对液状树脂材料进行加热使其蒸发；支架，用于把已蒸发的上述树脂材料液化后附着的基板，保持在规定的位置上；真空室，用于放置上述加热构件、上述基板和上述支架；一次槽罐部，它具有加压槽罐和设置在上述加压槽罐内，用于储存上述液状树脂材料的树脂材料槽；供给部，它具有临时储存上述液状树脂材料的供给槽罐、以及设置在上述供给槽罐内且根据上述供给槽罐内的上述液状树脂材料的体积来进行位移的活塞；一次侧供给管，用于从上述树脂材料槽向上述供给槽罐内输送上述液状树脂材料；以及蒸发侧供给管，用于从上述供给槽罐向上述加热构件上输送上述液状树脂材料；上述树脂薄膜的制造装置，其特征在于利用上述活塞的行程来对上述液状树脂材料进行定量，上述被定量的液状树脂材料通过上述蒸发侧供给管而被输送到上述加热构件上。
并且，本发明的第2树脂薄膜的制造装置，其中具有加热构件，用于对液状树脂材料进行加热使其蒸发；支架，用于把已蒸发的上述树脂材料液化后附着的基板，保持在规定的位置上；真空室，用于放置上述加热构件、上述基板和上述支架；一次槽罐部，它具有加压槽罐和设置在上述加压槽罐内，用于储存上述液状树脂材料的树脂材料槽；供给管，用于向上述加热构件上供应储存在上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料；以及流量计，用于测量在上述供给管内流动的上述液状树脂材料的流量；该树脂薄膜的制造装置的特征在于当由上述流量计测出的上述液状树脂材料的流量达到规定值时，上述供给管停止供给上述液状树脂材料。
图1是表示为了实施涉及本发明第1实施方式的树脂薄膜的制造方法用的树脂薄膜的制造装置的一例的概要剖面图。
图2是表示本发明第1实施方式的树脂薄膜的制造装置的一次槽罐部的详细结构的图。
图3是表示本发明第1实施方式的树脂薄膜的制造装置的供给部的详细结构的图。
图4是表示本发明第1实施方式的树脂薄膜的制造装置的供给部的另一结构例的图。
图5是表示本发明第1实施方式的树脂薄膜的制造装置的供给部的再一结构例的图。
图6是表示本发明第1实施方式的树脂薄膜的制造装置的蒸发部的详细结构的图。
图7是表示本发明第1实施方式的树脂薄膜的制造装置的树脂喷嘴部的详细结构的图。
图8是表示本发明第1实施方式的树脂薄膜的制造装置的真空室及其内部结构的剖面图。
图9是表示对本发明的树脂薄膜的制造装置和金属薄膜形成装置进行组合，由树脂薄膜和金属薄膜构成的叠层体的制造装置的一实施方式例的概要剖面图。
图10A、图10B均为利用本发明的树脂薄膜的制造方法而制成的电容器的实施方式例的剖面图。
图11A～图11D是按工序顺序依次表示利用本发明的树脂薄膜的制造方法来制造电容器的方法的一例的剖面图。
图12是表示利用本发明的树脂薄膜的制造方法来形成的有机EL用密封膜的实施方式例的剖面图。
具体实施例方式
若采用上述第1制造方法和第1制造装置，则树脂材料由供给部进行定量后，供给到加热构件上，所以，能形成所需厚度的树脂薄膜，重复性良好，能制造质量稳定的树脂薄膜。
并且，若采用上述第2制造方法和第2制造装置，则由流量计测量出的规定量的树脂材料供给到加热构件上，所以，用简单的结构即可形成所需厚度的树脂薄膜并且重复性良好，能以低成本制造出质量稳定的树脂薄膜。
以下根据附图，详细说明本发明的树脂薄膜的制造方法和制造装置的实施方式。
图1是表示本发明的树脂薄膜的制造方法及制造装置的一实施方式例的剖面图。
点划线1是树脂薄膜形成部，点划线2是对由树脂薄膜形成部1形成的树脂薄膜进行固化用的固化部。在树脂薄膜形成部1中，利用真空成膜法在支架5上所安装的基板7上形成树脂薄膜。然后，把基板支架5传送到固化部2内，使基板7上的树脂薄膜进行固化。
首先，说明树脂薄膜形成部1。
树脂薄膜形成部1由一次槽罐部10、供给部20、蒸发部30、树脂喷嘴部40和真空室50构成。一次槽罐部10储存预先准备的液状树脂材料，同时，把该树脂材料压送到供给部20内。供给部20把规定量的树脂材料供给到蒸发部30内。在蒸发部30内把液状的树脂材料滴到加热板上，进行加热使其蒸发。树脂喷嘴部40将其内部所设置的蒸发部30所生成的树脂材料蒸气喷射到基板7的表面上，基板7和树脂喷嘴部40设置在保持规定真空度的真空室50的内部。
以下依次说明构成树脂薄膜形成部1的上述各个部分。
图2表示图1中的一次槽罐部10的详细结构。在密封的加压槽罐13的内部，设置了树脂材料槽15，该树脂材料槽15内储存了预先调整好了液量的液状的树脂材料17。在加压槽罐13上连接了加压管14，通过加压管14把加压气体12压送到加压槽罐13内。在加压管14上设置了调节器11，用该调节器11来把加压槽罐13内的加压气体的压力控制到所需的值。通过对加压槽罐13内进行加压，把树脂材料槽15内的树脂材料17通过一次侧供给管19压送到供给部20内。
加压气体12优选采用惰性气体。因为在活性气体例如采用了氧的情况下，树脂材料17被氧化，很难形成能达到目的特性的树脂薄膜。惰性气体可采用廉价的氮或者无反应性的氦和氩。
并且，为了使压送到供给部20内的树脂材料17的量达到一定，希望对加压槽罐13内的压力进行精密的控制。为此，调节器11优选采用精度偏差为±2％以下的精密调节器，而不要采用普通精度等级的调节器(其指示值的偏差为±10％以下)。
以下利用图3，说明图1中的供给部20。
从一次槽罐部10送出来的树脂材料，通过一次侧供给管19由流量计21进行定量，经一次侧阀门23进行供给控制后进入供给槽罐25内。在供给槽罐25内安装了供给量调整活塞27。供给量调整活塞27能够根据供给槽罐25内的树脂材料量而自由地进行升降移动，通过调整其行程，即可改变储存在供给槽罐25内的树脂材料量。从供给槽罐25中来的树脂材料通过蒸发侧供给管22，通过蒸发侧阀门29，送出到蒸发部30内。
在本实施方式中，间歇性地往真空室50内传送的基板7上形成一层树脂薄膜所需要的树脂材料，由供给部20进行定量，向蒸发部30上供应。1次树脂薄膜的形成所需要的树脂材料随时由供给部20进行定量，这样，使蒸发部30的树脂材料蒸发量保持一定，其结果能形成所需厚度的树脂薄膜。要更改树脂薄膜厚度，只要更改供给量调整活塞27的行程即可。
供给部20的树脂材料定量包括2个工序一是把一定量的树脂材料充填到供给槽罐25内；二是把已充填到供给槽罐25内的树脂材料供给到蒸发部30内。
向供给槽罐25内充填树脂材料的工序，按以下方法进行。
首先，关闭一次侧阀门23，打开蒸发侧阀门29，蒸发侧供给管22与真空室50相连接，所以，供给槽罐25内形成真空。对供给槽罐25内预先抽真空的原因如下。若不对供给槽罐25内抽真空，则供给槽罐25内的残留气体将作为气泡残存在供给槽罐25内，向蒸发部30内供给树脂时残留气体的气泡排出，不能准确地对树脂材料进行定量。
然后，关闭蒸发侧阀门29，打开一次侧阀门23。供给槽罐25内是真空，另一方面，一次侧槽罐部10的加压槽罐13内被加压，所以，通过一次侧供给管19从一次侧槽罐部10向供给槽罐25内压送树脂材料。其结果，供给量调整活塞27移动到上死点，向供给槽罐25内充填一定量的树脂材料。在此，供给量调整活塞27的行程，根据欲形成在基板7上的树脂薄膜的厚度而适当进行设定。
其次，把已充填到供给槽罐25内的树脂材料送出到蒸发部30内的工序，按以下方法进行。在关闭一次侧阀门23之后，打开蒸发侧阀门29。于是，利用被压送到供给槽罐25内时的树脂材料的压力和真空室50内的压力的差，使树脂材料通过蒸发侧供给管22，排出到蒸发部30内。排出树脂时，关闭一次侧阀门23，所以，打开蒸发侧阀门29，也不能把加压槽罐13内的树脂材料供给到供给槽罐25内。因此，能仅把预先被充填到供给槽罐25内的树脂材料供给到蒸发部30内。其结果，蒸发部30内的树脂材料的蒸发量为一定，所以，很容易控制形成的树脂薄膜厚度，膜厚的重复性良好。
从供给槽罐25输送到蒸发部30内的树脂材料的流速，取决于供给槽罐25内的压力、以及对供给槽罐25和蒸发部30进行连接的蒸发侧供给管22的内径。蒸发侧供给管22的内径越小，由于树脂材料的粘性而使流速越慢。蒸发部30的树脂材料的蒸发能力(每单位时间内能蒸发树脂材料的量)一般有上限，所以，必须根据其蒸发能力来调整树脂材料的流速，在此情况下，对蒸发侧供给管22的内径进行调整即可。
另一方面，从一次槽罐部10的树脂材料槽15中向供给槽罐25内压送树脂材料所用的一次侧供给管19的内径，优选按照与上述蒸发侧供给管22的情况不同的观点来决定。一次侧供给管19的内径和蒸发侧供给管22的内径一样设定得较小的情况下，因为随着树脂材料粘度而产生压力损耗，所以，供给槽罐25内的树脂材料的充填压力小于加压槽罐13的压力。其结果，供给槽罐25内的树脂材料的充填压力和真空室50内的压力的差压减小，会对树脂材料的供给造成影响。一次侧供给管19内的压力损耗，随管的内径的增大而减小，并且与管的长度成比例。所以，如图4所示，优选一次侧供给管19的内径大于蒸发侧供给管22的内径，使一次侧供给管19内产生的压力损耗减小。这样，不会出现由于供给槽罐25内和真空室50内的差压不足而很难从供给槽罐25向蒸发部30内供给树脂材料，或者在供给槽罐25内残留一部分树脂材料，因此能使树脂材料供给量稳定。
一次侧供给管19和蒸发侧供给管22在供给槽罐25上的安装位置，优选不要如图5所示，安装在供给槽罐25的侧面上，而是如图3所示安装在供给槽罐25的底面上，若一次侧供给管19如图5所示安装在供给槽罐25的侧面上，则在供给量调整活塞27位于下死点附近的情况下，可能出现一次侧供给管19的开口被活塞27堵塞，妨碍树脂材料向供给槽罐25内压送。并且，若蒸发侧供给管22如图5所示安装在供给槽罐25的侧面上，则积存在蒸发侧供给管22的开口以下的树脂材料排不出来，使树脂供给量不稳定。
在上述说明中，使供给量调整活塞27根据供给槽罐25内的树脂材料量而自由升降。但也可以一边控制供给量调整活塞27的下降速度，一边向蒸发部30内输送树脂材料。若用此法，则能调整树脂材料向蒸发部30内的流速。根据蒸发部30的结构，树脂材料的蒸发能力有上限，所以若树脂材料流速过快，则蒸发部30内未蒸发完的树脂量增加，尽管在供给槽罐25中对供给量进行定量，仍不能形成所需厚度的树脂薄膜。对供给量调整活塞27的下降速度进行调整，按照与蒸发部30的蒸发能力相适应的流速来供给树脂材料，能使树脂材料高速率地进行蒸发，能使膜厚稳定。对供给量调整活塞27的下降速度进行调整的方法可以采用以下几种例如使供给量调整活塞27与直线前进运动的直动马达的驱动轴相结合；或者使供给量调整活塞27与气缸活塞轴相结合，利用压缩空气来对供给量调整活塞27进行空气压驱动。
为了进一步提高树脂材料的定量精度，如图3所示，优选在一次侧供给管19上设置流量计21。虽然不设置流量计21，仅仅依靠供给量调整活塞27的行程能对树脂材料进行定量，但是，同时并用流量计21，在通过一次侧供给管19的树脂材料的流量(累计流量)达到规定值时，关闭一次侧阀门23，这样能达到更高的定量精度。
并且，也可以不设置一次侧阀门23和供给槽罐25，直接连接一次侧供给管19和蒸发侧供给管22，仅用蒸发侧阀门29和流量计21来对树脂材料进行定量供给。在此情况下，最初关闭蒸发侧阀门29，使加压槽罐13内升压。然后，若打开蒸发侧阀门29，则能从加压槽罐13向蒸发部30内压送树脂材料。用流量计21测量此时的树脂材料流量，当累计流量达到规定值时，关闭蒸发侧阀门29，这样能把规定量的树脂材料供给到蒸发部30内。该结构若与用供给量调整活塞27的行程对供给量进行物理控制的图3的结构相比较，则虽然供给量的稳定性稍稍降低，但能简化供给部20的结构，容易进行维修管理。所以，在对树脂材料的定量精度要求不高的情况下，也可采用这种方法。
以下利用图6，说明图1中的蒸发部30。
从供给部20输送出的树脂材料12，经过蒸发侧供给管22，从设置在排出喷嘴31上的孔31a中滴到加热板33上。加热板33具有圆锥面或多角锥面形状，它使该锥面的顶点向上进行设置。加热板33利用该锥面的内部或下面上所设置的加热装置(加热器)加热到规定温度。在加热板33的顶点附近滴下来的树脂材料在加热板33上一边流动，一边加热。树脂材料由于流动而在加热板33上被一边拉伸变薄，一边加热，当达到蒸发温度时就进行蒸发。未蒸发完的树脂材料存留在槽35的内，蒸发结束。
在加热板33的形状为多角锥面的情况下，树脂材料仅向其母线方向延伸。但在圆锥面的情况下，树脂材料除了向其母线方向延伸外，也向与母线垂直的方法延伸。所以，若加热板33是圆锥面状，则树脂材料的表面积容易扩大，对树脂材料进行加热，蒸发的量实际上增加，蒸发效率提高。换而言之，不能蒸发而留在槽35内被回收的树脂材料量减少，能形成所需厚度的树脂薄膜。
排出喷嘴31具有用于树脂材料滴下的多个孔31a。本发明实施方式的排出喷嘴31是顶点向下的圆锥体或多角锥体，在其斜面上形成了许多孔31a。在不用这种排出喷嘴31，而使树脂材料从蒸发侧供给管22的开口中直接滴到加热板33上的情况下，若树脂材料滴落到加热板33的锥面的顶点位置上，则树脂材料在加热板33的部分狭窄区域内流动，所以，不能使树脂材料大面积流延而变薄，树脂材料蒸发效率降低。
也可以使树脂材料以雾状方式供给到加热板33上，而不是以液滴状方式利用上述排出喷嘴31来把液体状态的树脂材料供给到加热板33上。若以雾状进行供给，则在加热板33上的树脂材料的附着面积扩大，并且按时间的供给量保持稳定，所以形成的树脂薄膜的厚度不匀减少。以雾状供给树脂材料的方法，不受特殊限制，根据使用的树脂材料的种类等而适当选择即可。例如，优选使用喷射供给或混入气体使其雾化等方法。这些雾化方法既能减小对树脂材料的机械或热的作用，又能简单易行。
优选对蒸发侧供给管22进行冷却，加热板33进行加热(并且如下所述，优选也对喷嘴主体45进行加热)，由此产生的热辐射对蒸发侧供给管22和排出喷嘴31进行加热。通过对蒸发侧供给管22进行冷却，降低树脂材料的温度，能防止在蒸发侧供给管22和排出喷嘴31内树脂材料被加热而固化。由于同样的原因，也优选对排出喷嘴31进行冷却。对冷却方法无特别限制。水冷法简单易行，效率高，比较适宜。
若使基板7上形成的树脂薄膜厚度一定，则必须调整与基板7的面积成正比而进行蒸发的树脂量。图6所示的排出喷嘴31和加热板33适用于基板面积较小的情况。另一方面，在基板面积大的情况下，优选如日本特开平11-209870号公报所示，在很大的范围内布置许多孔31a，同时，利用表面积大的加热板，尽量增大蒸发面积，提高蒸发效率。即使在这种情况下，也能通过上述一次槽罐部10和供给部20两者并用而使加热达到稳定。
以下利用图7，说明图1中的树脂喷嘴部40。
树脂喷嘴部40具有内部装有包括上述加热板33和槽35的蒸发部30，上方具有开口46的喷嘴主体45、以及设置在喷嘴主体45的开口46附近的多孔体41。形成树脂薄膜的基板7保持在基板支架5上，设置在多孔体41的上方、且在喷嘴主体45的开口46附近。
树脂喷嘴部40设置在真空室50内(参见图1)，所以，在加热板33上蒸发的树脂蒸气在喷嘴主体45内向基板7往上方移动，通过多孔体41中的微细连续孔之后，附着到设置在开口46附近的基板7上，形成液状的树脂薄膜。在基板7上设置了掩模(mask)43，防止在基板7上不需要的部分上形成树脂薄膜。
多孔体41用于防止在从排出喷嘴31中滴下的树脂材料在加热板33上受热时，因温度急剧升高而变成颗粒状的树脂液滴进行飞散，附着到基板7上。并且使从喷嘴主体45的开口46中放出的树脂蒸气的量在与基板7的表面相平行的面内达到均匀一致，减小形成的树脂薄膜的面内的厚度偏差。优选对多孔体41进行加热，尤其优选将其加热到树脂材料的蒸发温度以上。这样，能防止在多孔体41上树脂蒸气结露，或者飞散的树脂液滴继续附着，多孔体41的连续孔被树脂材料堵塞。多孔体41的材质例如可以使用金属。
并且，对掩模43也优选加热到树脂材料的蒸发温度以上。这是因为在一边更换多个基板，一边形成树脂薄膜的情况下，如不加热掩模43，则树脂材料在掩模43上堆积，造成掩模精度下降。
设置喷嘴主体45的目的是为了已蒸发的树脂蒸气被有效地利用，即更多地附着到基板7上。该喷嘴主体45也优选和多孔体41及掩模43一样被加热到树脂材料的蒸发温度以上。这样能防止树脂蒸气在喷嘴主体45的内面上结露，能使树脂薄膜的厚度稳定。并且喷嘴主体45的开口46和基板7或基板支架5的间隙，为了提高树脂蒸气在基板7上的附着率，优选达到10mm以下。由于树脂蒸气通过间隙而排出，所以，该间隙越大，树脂材料的利用率越低，同时树脂薄膜的厚度不稳定。如上所述，本发明要使在供给部20中准确定量后的树脂材料在加热板33上蒸发，使其附着到基板7上，使形成的树脂薄膜厚度达到稳定，尽量使该间隙缩小，能减小排出的树脂量，能获得厚度与树脂供给量相对应的树脂薄膜。
以下利用图8，说明图1中的真空室50。
在真空室50的内部，设置了基板7和喷嘴主体45，利用真空泵53来保持规定的真空度。真空室50能放入和取出形成了树脂薄膜的基板7以及对其进行支承的基板支架5，它具有开关门(无图示)，用于对相邻的室之间进行隔离。上述开关门可以采用一般用的闸阀，例如具有多个真空室的真空设备的相邻真空室之间进行隔离用的闸阀。
如图8所示，与真空室50内的真空泵53相连通的吸入口51、喷嘴主体45的开口46和基板7，优选大体上布置在由一点划线59所示的直线上。再者，蒸发部30和树脂喷嘴部40，优选大体上与一点划线59相对称。这样一来，树脂蒸气的流动与一点划线59相对称，所以能减小形成在基板7上的树脂薄膜的厚度不均匀性。
并且，为了防止从喷嘴主体45的开口46和基板7或基板支架5的间隙向喷嘴主体45的外面漏出来的树脂蒸气在被真空泵53排出之前附着到真空室50的内壁上，优选把真空室50的内壁加热到大致高于树脂材料的蒸发温度。
再者，优选如图8所示，对蒸发侧供给管22进行分支，以便能引入气体，在树脂成膜结束的时刻，关闭蒸发侧阀门29，打开气体引入阀55，把气体57引入到喷嘴主体45内。若使树脂材料蒸发，则该树脂材料蒸气在喷嘴主体45内继续存在一定时间，所以，在此期间不能把基板传送到下一工序上，会使生产效率降低。通过向喷嘴主体45内引入气体，使压力达到树脂蒸气压力以上。能够防止加热板33上的未蒸发的树脂材料重新蒸发。其结果，通过对重新发生树脂蒸气进行抑制，能缩短在树脂薄膜形成后基板7从真空室50向其他处理装置内传送的时间，能提高生产效率。该气体57优选采用惰性气体，例如廉价的氮或无反应性的氦和氩。
在本发明中，作为树脂薄膜材料，如上所述如果进行加热蒸发后能在基板上液化堆积，形成薄膜，那么不受特殊限制，可根据树脂薄膜用途而适当选择。但以反应性单体树脂为好。例如，在用于电子元件材料的情况下，优选以丙烯酸酯树脂或乙烯树脂为主要成分，具体来说，优选是多官能(甲基)丙烯酸酯单体、多官能乙烯基单体、多官能乙烯基醚单体，其中，优选是环戊二烯二甲醇二丙烯酸酯、环己烷二甲醇二乙烯基醚单体、二乙烯基联苯等或者对这些烃基进行置换的单体。因为由这些材料形成的树脂薄膜，电气特性、耐热性、稳定性等良好。
为了实现上述树脂供给和滴下，上述树脂薄膜材料必须是液体。在树脂薄膜材料的熔点为室温以上的固体的情况下，必须把一次槽罐部10、供给部20和蒸发侧供给管22加热到上述熔点以上，使树脂薄膜材料变成液体。并且，形成树脂薄膜的基板7的温度也必须保持在树脂薄膜材料的熔点以上。这是因为若基板7温度低于上述熔点，则附着到基板7上的树脂薄膜材料固化，然后，用电子束照射也不能进行聚合反应。
利用以上方法形成了树脂材料液膜的基板7，被传送到图1所示的固化部2，使树脂材料固化，于是变成树脂薄膜。树脂材料的固化可以采用电子束照射，UV(紫外线)照射、等离子照射等方法。
固化处理的程度，可以根据欲制造的树脂薄膜的用途和要求性能而适当更改。例如，如果是制造电容器等电子元件用的树脂薄膜，则固化度为50～95％，优选进一步固化处理到50～75％。若固化度小于上述范围，则对用本发明制作的树脂薄膜进行冲压，或者作为电子元件安装到电路板上的工序中，当受到外力时容易变形。并且，通过蒸发淀积等而形成到树脂薄膜上的作为电极的金属薄膜出现破裂或者产生短路。另一方面，若固化度大于上述范围，则由于固化收缩等而产生树脂薄膜断裂等问题。而且，这里所说的固化度被定义为用红外分光光度计取得C＝0基的吸光度和C＝C基(1600cm-1)的比，取得各个单体和固化物的比值，从1中减去减少量吸光度的结果。
以下利用图9，说明利用按本发明制得的树脂薄膜来制造电子元件的例子。
图9是表示在基板7上对树脂薄膜和金属薄膜进行叠层用的制造设备的主要结构。树脂薄膜利用在第1实施方式中说明的树脂薄膜形成部1和固化部2按照同样方法来形成。图9中，树脂薄膜形成部1和固化部2与第1实施方式中说明的相同，在此其详细说明从略。
由基板支架5支承的基板7被传送到树脂薄膜形成部1的真空室50内，在静止状态下利用第1实施方式中说明的方法来堆积树脂材料。然后，基板7被传送到固化部2内，树脂材料固化，形成树脂薄膜。接着，基板7被传送到金属薄膜形成部3内，在树脂薄膜上形成金属薄膜。然后，根据需要，再把基板7传送到树脂薄膜形成部1内，以下也可以反复进行与上述相同的工序。这样交替地在基板7上对树脂薄膜和金属薄膜进行叠层，制成叠层体。
如图9所示，金属薄膜形成部3具有电子束加热蒸发源62、设置在基板7和蒸发部62之间的能移动的闸门64、以及安装上述各部分的真空室66。真空室66的内部依靠无图示的真空泵而保持在规定的真空度下。
金属薄膜的形成方法，除图9所示的电子束加热蒸发法外，可以采用电阻加热蒸发淀积法、感应加热蒸发淀积法、溅射法、离子镀敷法等已知的真空薄膜形成工艺或者电镀法。
在形成各种薄膜时使用掩模，以便仅在规定的区域内形成树脂薄膜和金属薄膜。例如，在把该叠层体用作电容器的情况下，使掩模的位置错开，以便上下的夹持树脂薄膜的金属薄膜形成电容器的对置部。
涉及第2实施方式的电容器100的一例示于图10A。而且，作为另一实施方式例，也可以是如图10B所示的电容器100a那样的叠层形式。
图10A所示的电容器100，具有基板7、形成在基板7上的下部电极膜102、主要布置在下部电极膜102上的介质膜103、主要布置在介质膜103上的上部电极膜104。其中，介质膜103是按照第1实施方式所示的方法而形成的树脂薄膜(而且，在树脂薄膜中也可以包含添加剂等)。并且，下部和上部电极膜102、104是在图9的金属薄膜形成部3中形成的金属薄膜。
作为支持体的基板7的材料可以采用各种材料。具体来说，例如可以采用玻璃或聚对苯二甲酸乙二醇酯(以下有时称为PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚苯硫醚(PPS)、聚酰胺(PA)、或聚酰亚胺(PI)等高分子薄膜。对基板7的厚度没有限制。一般，在高分子薄膜的情况下，大都是1μm～75μm；在玻璃的情况下，大都是0.1～1mm。而且，在下部电极膜102兼有支持体功能的情况下，不需要基板7。并且，在形成了下部电极膜102、介质膜103和上部电极膜104之后，也可以除去基板7。也就是说，本发明的电容器也可以是没有支持体的。
下部电极膜102和上部电极膜104可以采用具有导电性的膜。具体来说，可以采用以铝、锌、铜等为主要成分的金属膜。对电极膜的厚度没有特别限制。例如，可采用厚度为10nm～150nm的膜，优选采用厚度为20nm～50nm的膜。电容器100的下部电极膜102和上部电极膜104，分别与电路相连接。与电路的连接方法是，例如可采用焊接、金属喷镀、夹紧等方法。
介质膜103是在形成了至少包含一种以上的树脂单体在内的薄膜之后，使上述薄膜进行聚合反应而形成的树脂薄膜。而且，上述薄膜也可包含一种树脂单体，也可包含多种树脂单体。
以下说明电容器100的制造方法。图11中按工序依次表示制造方法的一例。
首先，如图11A所示，在基板17上形成下部电极膜102，下部电极膜102在图9的金属薄膜形成部3中形成。下部电极膜102的形成，可以采用电子束加热蒸发淀积法、电阻加热蒸发淀积法、电感加热蒸发淀积法等真空蒸发淀积法、离子镀敷法、溅射法或电镀法等。而且，为了按规定形状来形成下部电极102，可以采用金属掩模。
以下，如图11B所示，在下部电极膜102上形成包含树脂单体在内的薄膜103a。薄膜103a通过聚合反应而变成介质膜103。薄膜103a可以利用第1实施方式中所述的树脂薄膜形成部1来堆积树脂单体而形成。为了按规定形状来形成薄膜103a，可以采用金属掩模。
以下，使薄膜103a的树脂单体进行聚合反应，如图11C所示，形成介质膜103。聚合反应(固化)可以采用第1实施方式中所述的固化部2，例如在薄膜103a上照射紫外线或电子束使其进行反应。
以下如图11D所示，利用和下部电极膜102相同的方法来形成上部电极膜104。这时，在形成下部电极膜102时所使用的金属掩模，可以使设置位置稍稍偏移后使用。
这样，能制造电容器100。而且，电容器100a也能用同样的制造方法来制造。
利用本实施方式中所示的方法，同样地可以形成有机EL元件和IC元件的密封膜。其结构的一例的剖面图示于图12。形成树脂薄膜103，以便覆盖基板7上所形成的有机EL元件105，其上形成无机薄膜104，进一步同样地形成树脂薄膜103和无机薄膜104。在无机薄膜是金属薄膜的情况下，有时是金属氧化膜或金属氮化膜等无机薄膜。究竟选择哪一种，可根据需要的密封性能来决定，无论是哪一种，均可用图9的金属薄膜形成部3来形成。
树脂薄膜103和无机薄膜104在元件105上的形成位置，分别根据金属掩模的设置位置来进行调整。这时，形成各薄膜103、104，以便使无机薄膜104与树脂薄膜103相比在基板7的平面方向上覆盖的位置更靠近外侧。这样，能防止气体从薄膜端部进入。
《实施例》[第1实施例]
利用图9所示的设备来制造电容器。
制成的电容器由树脂薄膜连续叠层的保护层、树脂薄膜和金属薄膜交替叠层的元件层、以及由树脂薄膜连续叠层的保护层，按照该顺序重叠形成的叠层体构成。
树脂薄膜的形成利用树脂薄膜形成部1和固化部2来进行。
一次槽罐部10采用图2所示的结构。加压气体12采用氮，利用精密调节器(检测误差精度为±2％以下)11，把加压槽罐13内的压力保持在0.2×106Pa。
供给部20采用图4所示的结构。供给槽罐25的最大容量为1 5×10-6m3。一次侧供给管19的内径定为9.5mm(3/8英寸)，蒸发侧供给管22的内径定为6.35mm(1/4英寸)，将它们连接到供给槽罐25的底面上。通过蒸发侧供给管22的树脂材料的流速的调整是利用手动方法来调整供给量调整活塞27的下降速度。
蒸发部30采用图6所示的结构。加热板33具有圆锥面，圆锥面相对于水平方向的倾斜角度为10°，使该加热板33保持在150℃。排出喷嘴31具有顶点向下侧的圆锥形状，在该圆锥面上按一定间隔形成了孔31a。
树脂喷嘴部40采用图7所示的结构。多孔体41采用住友电工公司制的“金属多孔体(セルメツト)#3”(孔径1.33mm)。基板7采用硅晶片。把基板支架5的外周面冷却到10℃。
真空室50采用图8所示的结构。把真空室50内的空间保持在0.01Pa。
树脂材料采用二环戊二烯二甲醇二丙烯酸酯。
首先，最初在基片7上仅对树脂薄膜连续反复地进行叠层，形成电容器的保护层。对供给量调整活塞27的行程进行调整，以便计量出5×10-6m3。如第1实施方式中说明的那样，对一次侧阀门23和蒸发侧阀门29进行操作，使上述树脂材料经过蒸发侧供给阀门22从设置在排出喷嘴31上的孔31a中下滴到加热板33的圆锥面的顶点附近。树脂材料一边在加热板33上流动，一边扩展变薄，在此过程中被加热使其蒸发。树脂材料的蒸气在基板7的表面上变成液体进行堆积。
供给到蒸发部30上的全部树脂材料蒸发完毕后，把基板7传送到固化部2内，使树脂材料固化。固化利用电子束固化装置进行，使树脂材料进行聚合，固化度达到70％为止。
这样，在基板7上形成了厚度0.3μm(设计值)的树脂薄膜。
通过使基板7移动来反复进行上述操作。在基板7上形成保护膜，其中仅树脂薄膜连续叠层的总厚度为10μm(设计值)。
接着，对树脂薄膜和金属薄膜交替重叠的、产生电容器容量的部分(元件层)进行叠层。对供给量调整活塞27的行程进行更改，使计量达到2.5×10-6m3，通过掩模来堆积树脂材料，该掩模具有互相平行布置的、宽度为150μm的多个带状掩蔽图形。此外，和上述保护层中的树脂薄膜的情况相同，形成了厚度0.15μm(设计值)的树脂薄膜。然后，把基板7移动到金属薄膜形成部3内，利用电子束加热蒸发淀积法而形成了厚度30nm的铝金属薄膜。以上操作，通过移动基板7反复进行10次，交替地对树脂薄膜和金属薄膜进行叠层。但是，在形成树脂薄膜时所使用的掩模的设定位置，每形成一次树脂薄膜在与带状掩蔽图形的纵长方向垂直的方向上交替地移动1000μm。这样来形成总厚度80μm(设计值)的元件层。
最后，仅对树脂薄膜连续重复叠层，再次形成厚度10μm(设计值)的保护层。形成方法和上述保护层的情况相同。
这样在基板7上得到电容器用叠层体。
供给部20中的一次侧供给管19和蒸发侧供给管22在供给槽罐25上的安装位置，如图5所示，规定在供给槽罐25的侧面上，此外和第1实施例一样，在基板7上制成了电容器用的叠层体。
在蒸发部30中，不使用排出喷嘴31，从蒸发侧供给管22的下流侧端把树脂材料直接滴下到加热板33上，此外和第1实施例一样，在基板7上制作电容器用的叠层体。
在第1～3实施例中取得的电容器用叠层体从基板7上分离下来，在液体氮中进行切断，用电子显微镜来观察切剖面，测量出元件层的各树脂薄膜厚度。并且，求出了被测的树脂薄膜厚度的平均值、最大值、最小值。结果示于表1中。
表1
如表1所示，在第1实施例中，膜厚的平均值与目标值(设计值)是一致的，并且膜厚的偏差范围也小。
在第2实施例中，膜厚的平均值小于第1实施例，膜厚的偏差范围大于第1实施例。尤其，最小值比第1实施例小得多。可以认为这是因为在供给部20中对树脂材料进行定量时，在供给槽罐25内残留了树脂，并且，其残留量每次定量时都有变化。
在第3实施例中，随着树脂薄膜叠层次数的增加，膜厚徐徐减小，所以平均值和最小值均小于第1实施例。这是因为在加热板33上树脂材料没有充分扩展变大，仅在特定的狭小范围内流动，所以，加热板33的该区域的温度徐徐下降，并且，在该区域内因受热而变质的树脂材料的固化物徐徐堆积，造成树脂材料的蒸发效率徐徐降低。
利用图9所示的设备，在形成了有机EL元件的基板7上依次形成平坦化层和保护层。
平坦化层是对树脂薄膜连续叠层而形成的。并且保护层是对树脂薄膜和金属氧化物薄膜交替地进行叠层而形成的。保护层用于保护有机EL元件免受湿气和氧的影响。
树脂薄膜利用树脂薄膜形成部1和固化部2来形成。
一次槽罐部10采用图2所示的结构。加压气体12采用氮，利用精密调节器(检测误差精度为±2％以下)11，把加压槽罐13内的压力保持在1.5×106Pa。
供给部20采用图4所示的结构。供给槽罐25的最大容量为20×10-6m3。一次侧供给管19的内径定为9.5mm(3/8英寸)，蒸发侧供给管22的内径定为6.35mm(1/4英寸)，将它们连接到供给槽罐25的底面上。通过蒸发侧供给管22的树脂材料的流速的调整是利用手动方法来调整供给量调整活塞27的下降速度。
蒸发部30采用图6所示的结构。加热板33具有圆锥面，圆锥面相对于水平方向的倾斜角度为10°，使该加热板保持在150℃。排出喷嘴31具有顶点向下侧的圆锥形状，在该圆锥面上按一定间隔形成了孔31a。
树脂喷嘴部40采用图7所示的结构。多孔体41采用住友电工公司制的“金属多孔体(セルメツト)#3”(孔径1.3mm)。基板7采用玻璃。把基板支架5的外周面冷却到10℃。
真空室50采用图8所示的结构。把真空室50内的空间保持在0.01Pa。
树脂材料采用二环戊二烯二甲醇二丙烯酸酯。
在预先形成了EL元件的基片7上仅对树脂薄膜连续反复地进行叠层，形成了平坦化层。对供给量调整活塞27的行程进行调整，以便计量出15×10-6m3。如第1实施方式中说明的那样，对一次侧阀门23和蒸发侧阀门29进行操作，使上述树脂材料经过蒸发侧供给阀门22从设置在排出喷嘴31上的孔31a中下滴到加热板33的圆锥面的顶点附近。树脂材料一边在加热板33上流动，一边扩展变薄，在此过程中被加热使其蒸发。树脂材料的蒸气在基板7的表面上变成液体进行堆积。
供给到蒸发部30上的全部树脂材料蒸发完毕后，把基板7传送到固化部2内，使树脂材料固化。固化利用电子束固化装置进行，使树脂材料进行聚合，固化度达到70％为止。
这样，在基板7上形成了厚度1μm的树脂薄膜，以便覆盖EL元件。
通过使基板7移动来反复进行上述操作。在基板7上形成平坦化层，其中仅树脂薄膜连续叠层的总厚度为5μm。
接着，对树脂薄膜和金属氧化薄膜交替地进行叠层，形成保护层。通过掩膜来堆积树脂材料，以便在与有机EL元件的成膜部分相比仅向外扩宽仅1mm的范围内形成树脂薄膜，此外与上述平坦化层一样，形成厚度1μm的树脂薄膜。然后把基板7移动到金属薄膜形成部3内，利用电子束加热蒸发法形成了由氧化铝构成的厚度50nm的金属氧化膜。这时通过利用掩模，在比先前形成的树脂薄膜的形成范围仅向外扩宽2mm的范围内形成金属氧化膜。通过移动基板7反复进行以上操作10次，对树脂薄膜和金属氧化薄膜交替地进行叠层。因此，形成了总厚15.5μm的保护层。
以上说明的实施方式，都是为了说明本发明的技术内容。并不能解释为仅限于这些具体例子，在本发明的精神和权利要求所述的范围内，可以进行各种变更，应当广义地解释本发明。
权利要求
1.一种树脂薄膜的制造方法，其特征在于所利用的树脂薄膜的制造装置具有加热构件，用于对液状树脂材料进行加热使其蒸发；支架，用于把已蒸发的上述树脂材料液化后附着的基板，保持在规定的位置上；真空室，用于放置上述加热构件、上述基板和上述支架；一次槽罐部，它具有加压槽罐、以及设置在上述加压槽罐内的用于储存上述液状树脂材料的树脂材料槽；供给部，它具有临时储存上述液状树脂材料的供给槽罐、以及活塞，该活塞设置在上述供给槽罐内，根据上述供给槽罐内的上述液状树脂材料的体积来进行位移；一次侧供给管，用于从上述树脂材料槽向上述供给槽罐内输送上述液状树脂材料；一次侧阀门，它设置在上述一次侧供给管上；蒸发侧供给管，用于从上述供给槽罐向上述加热构件上输送上述液状树脂材料；以及蒸发侧阀门，它设置在上述蒸发侧供给管上，利用上述树脂薄膜的制造装置来进行以下工序在打开上述一次侧阀门，关闭上述蒸发侧阀门的状态下，使上述加压槽罐内升压，通过上述一次侧供给管把上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料压送到上述供给槽罐内；关闭上述一次侧阀门，打开上述蒸发侧阀门，通过上述蒸发侧供给管把上述供给槽罐内的上述液状树脂材料输送到上述加热构件上。
2.如权利要求1所述的树脂薄膜的制造方法，其特征在于在把上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料压送到上述供给槽罐内的工序之前，还具有关闭上述一次侧阀门，打开上述蒸发侧阀门，对上述供给槽罐内抽真空的工序。
3.如权利要求1所述的树脂薄膜的制造方法，其特征在于通过更改上述活塞的行程，来更改附着在上述基板上的上述液状树脂材料的量。
4.如权利要求1所述的树脂薄膜的制造方法，其特征在于在上述活塞到达上死点之后，关闭上述一次侧阀门，打开上述蒸发侧阀门。
5.如权利要求1所述的树脂薄膜的制造方法，其特征在于在把上述供给槽罐内的上述液状树脂材料输送到上述加热构件上的工序中，根据上述加热构件的上述液状树脂材料的蒸发能力，来控制上述活塞的位移速度。
6.如权利要求1所述的树脂薄膜的制造方法，其特征在于对通过上述一次侧供给管的上述液状树脂材料的流量进行测量，当上述流量达到规定值时，关闭上述一次侧阀门。
7.如权利要求1所述的树脂薄膜的制造方法，其特征在于上述树脂薄膜的制造装置还具有带有开口的树脂喷嘴，上述树脂喷嘴设置在上述真空室内，上述加热构件设置在上述树脂喷嘴内，上述基板保持在上述开口附近。
8.如权利要求7所述的树脂薄膜的制造方法，其特征在于在上述基板上附着了上述液状树脂材料后，把气体引入到上述树脂喷嘴内。
9.如权利要求1所述的树脂薄膜的制造方法，其特征在于在上述基板上附着了上述液状树脂材料之后，还具有对该液状树脂材料进行固化的工序。
10.如权利要求9所述的树脂薄膜的制造方法，其特征在于使上述液状树脂材料进行固化的工序在上述真空室外进行。
11.一种树脂薄膜的制造方法，其特征在于所利用的树脂薄膜的制造装置具有加热构件，用于对液状树脂材料进行加热使其蒸发；支架，用于把已蒸发的上述树脂材料液化后附着的基板，保持在规定的位置上；真空室，用于放置上述加热构件、上述基板和上述支架；一次槽罐部，它具有加压槽罐、以及设置在上述加压槽罐内的用于储存上述液状树脂材料的树脂材料槽；供给管，用于把储存在上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料供给到上述加热构件；阀门，它设置在上述侧供给管上；以及流量计，用于测量在上述供给管内流动的上述液状树脂材料的流量；利用该树脂薄膜的制造装置来进行以下工序在关闭上述阀门的状态下，使上述加压槽罐内升压；打开上述阀门，通过上述供给管向上述加热构件上压送上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料；当由上述流量计测出的上述液状树脂材料的流量达到规定值时，关闭上述阀门。
12.一种树脂薄膜的制造装置，具有加热构件，用于对液状树脂材料进行加热使其蒸发；支架，用于把已蒸发的上述树脂材料液化后附着的基板，保持在规定的位置上；真空室，用于放置上述加热构件、上述基板和上述支架；一次槽罐部，它具有加压槽罐、以及设置在上述加压槽罐内的用于储存上述液状树脂材料的树脂材料槽；供给部，它具有临时储存上述液状树脂材料的供给槽罐、以及活塞，该活塞设置在上述供给槽罐内，根据上述供给槽罐内的上述液状树脂材料的体积来进行位移；一次侧供给管，用于从上述树脂材料槽向上述供给槽罐内输送上述液状树脂材料；以及蒸发侧供给管，用于从上述供给槽罐向上述加热构件上输送上述液状树脂材料；上述树脂薄膜的制造装置的特征在于利用上述活塞的行程来对上述液状树脂材料进行定量；上述定量的液状树脂材料通过上述蒸发侧供给管，输送到上述加热构件上。
13.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于使上述加压槽罐内升压，通过上述一次侧供给管把上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料压送到上述供给槽罐内。
14.如权利要求13所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于通过把气体引入到上述加压槽罐内，来使上述加压槽罐内升压。
15.如权利要求14所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述气体是惰性气体。
16.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于还具有检测上述加压槽罐内的压力的、检测精度偏差为±2％以内的调节器。
17.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述一次侧供给管的内径大于上述蒸发侧供给管的内径。
18.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述一次侧供给管和上述蒸发侧供给管，连接在上述供给槽罐的底面上。
19.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述活塞行程是能变更的。
20.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于还具有对通过上述一次侧供给管的上述液状树脂材料的流量进行测量的流量计。
21.如权利要求20所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于当由上述流量计测得的上述液状树脂材料的流量达到规定值时，上述一次侧供给管停止供应上述液状树脂材料。
22.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述加热构件具有锥面，上述锥面被设置成其顶点向上，把上述液状树脂材料供给到上述顶点附近。
23.如权利要求22所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述锥面是圆锥面。
24.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于在上述蒸发侧供给管的下流端还具有排出喷嘴，上述排出喷嘴具有许多个用于排出上述液状树脂材料的孔。
25.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述液状树脂材料以滴状供给到上述加热构件上。
26.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述液状树脂材料以雾状供给到上述加热构件上。
27.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述蒸发侧供给管被冷却。
28.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于还具有带开口的树脂喷嘴，上述树脂喷嘴设置在上述真空室内，上述加热构件设置在树脂喷嘴内，上述基板保持在上述开口附近。
29.如权利要求28所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述树脂喷嘴在上述加热构件和上述基板之间具有带有连续孔的多孔体。
30.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于还具有掩模，用于限制上述树脂材料在上述基板上附着的区域。
31.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述真空室的内壁面被加热到上述树脂材料的蒸发温度以上。
32.如权利要求28所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述树脂喷嘴被加热到上述树脂材料的蒸发温度以上。
33.如权利要求29所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述多孔体被加热到上述树脂材料的蒸发温度以上。
34.如权利要求30所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述掩模被加热到上述树脂材料的蒸发温度以上。
35.如权利要求28所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述真空室具有真空泵，上述真空室内的连通上述真空泵的吸入口、上述树脂喷嘴的上述开口、以及上述基板大体布置在一条直线上。
36.如权利要求28所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于能向上述树脂喷嘴内供应气体。
37.如权利要求12所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于还具有固化部，用于使附着在上述基板上的上述液状树脂材料进行固化。
38.如权利要求37所述的树脂薄膜的制造装置，其特征在于上述固化部设置在上述真空室外。
39.一种树脂薄膜的制造装置，具有加热构件，用于对液状树脂材料进行加热使其蒸发；支架，用于把已蒸发的上述树脂材料液化后附着的基板，保持在规定的位置上；真空室，用于放置上述加热构件、上述基板和上述支架；一次槽罐部，它具有加压槽罐、以及设置在上述加压槽罐内的用于储存上述液状树脂材料的树脂材料槽；供给管，用于把储存在上述树脂材料槽内的树脂材料供给到上述加热构件；以及流量计，用于测量在上述供给管内流动的上述液状树脂材料的流量，该树脂薄膜的制造装置的特征在于当由上述流量计测出的上述液状树脂材料的流量达到规定值时，上述供给管停止供给上述液状树脂材料。
全文摘要
储存在树脂材料槽内的液状树脂材料，通过使加压槽罐进行升压而经过一次侧供给管被压送到供给槽罐内。在供给槽罐内设置了根据供给槽罐内的树脂材料量而进行位移的活塞，利用活塞的行程来对树脂材料进行定量。被定量的树脂材料经过蒸发侧供给管被输送到加热构件上，被加热蒸发后附着到基板上。把树脂材料临时充填到供给槽罐内，以便对树脂材料进行定量，仅把被充填的树脂材料输送到加热构件上，所以，蒸发量是一定的，其结果，树脂薄膜的厚度稳定。
文档编号H01L51/52GK1522312SQ0380059
公开日2004年8月18日 申请日期2003年4月2日 优先权日2002年4月5日
发明者越后纪康, 佐谷裕司, 奥村英树, 立原久明, 司, 明, 树 申请人:松下电器产业株式会社