专利名称：晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种调节技术，特别是涉及一种应用于晶圆背磨机的旋转磨削吸盘的调节机构。
背景技术：
随着电子信息产业的快速发展，集成电路(integratedcircuit，IC)的运用已经 无处不在，因而作为集成电路的原材料，晶圆制造加工业的发展也日趋发展。集成电路作为 极为精密的器件，在各个生产环节中对精准度的要求都不容忽视。晶圆制造过程中的每一 个步骤，包括蚀刻、氧化、沉积、去光阻、以及化学机械磨削等，其中在机械磨削过程中对晶 圆的磨削精度有着极为严格的要求和限制。为了薄化半导体封装件通常会对晶圆的背面实施磨削，而完成该项制程的就是业 内俗称的晶圆背磨机。所述的晶圆背磨机通常包括可旋转的工作台面、多个设置在该工作 台面上并可转动的旋转磨削吸盘、以及悬设于该工作台面上方的磨头等部件。对晶圆进行 磨削时，是先将晶圆放置在其中的一个旋转磨削吸盘(Chuck)上，由高速旋转的磨头对晶 圆进行磨削作业，待完成磨削后，该工作台面则转动一定角度，将晶圆送入下一环节(例如 精磨削或者清洗环节)。在现有技术中，为确保对晶圆的磨削精度，必须保证该旋转磨削吸 盘的高精度，因此就需要在磨削作业前对该旋转磨削吸盘进行水平检测及调整。在现有技术中，所述旋转磨削吸盘是由几个分布于其周缘的固定螺丝锁固在工作 台面上，在调整该旋转磨削吸盘的水平度时也是通过将所述几个分布于其周缘的固定螺丝 旋进旋出以达到调节的目的，然，由于所述旋转磨削吸盘大多是微观倾斜，人工进行调整并 不容易精确到位；而且，紧固时如有微小倾斜会造成被紧固件之间的线接触或点接触，如此 势必会很容易造成旋转磨削吸盘再度倾斜；再者，既要让固定螺丝起到固定旋转磨削吸盘 的作用，又要兼顾对旋转磨削吸盘的调节，实难达到所需的理想状态。所以，如何提供一种磨削吸盘的调节机构，以避免以上所述的缺点，实为相关领域 之业者目前亟待解决的问题。
发明内容鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种晶圆背磨机的旋 转磨削吸盘调节机构，以实现对旋转磨削吸盘的精确调节，且易于操作。为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种晶圆背磨机的旋转磨削吸 盘调节机构，包括可转动台面、设置于所述可转动台面上的法兰，且所述法兰周缘具有至少 三个均勻分布的第一螺孔，所述可转动台面具有对应所述第一螺孔的第二螺孔，其特征在 于，所述调节机构还包括微调空心螺丝、空心螺帽、球面垫座、球面垫圈、以及紧固螺栓。 其中，所述微调空心螺丝旋设于所述第一螺孔，并具有对应所述第一螺孔的外螺纹，所述微 调空心螺丝顶端具有卡槽；所述空心螺帽的底端具有对应卡合至所述卡槽的卡块，中部具 有挡止部以及顶端具有操作部；所述球面垫座位于所述微调空心螺丝与所述可转动台面之间，且所述球面垫座底面为平面；所述球面垫圈位于所述微调空心螺丝与所述球面垫座之间，所述球面垫圈容置于所述球面垫座中；具体地，所述球面垫座具有凹形球面，所述球面 垫圈与所述球面垫座的凹形球面相吻合；所述紧固螺栓依次穿过所述空心螺帽、微调空心 螺丝、球面垫圈及球面垫座锁固于所述第二螺孔。于本实用新型的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构中，所述空心螺帽的挡止部 的直径大于所述第一螺孔的孔径，以使所述空心螺帽被旋动时不致于落入所述第一螺孔 中；所述空心螺帽的操作部呈六角螺帽结构；所述微调空心螺丝的底端抵靠于所述球面垫 圈上；连通所述第一螺孔的底端具有容置沉孔，用于容置所述球面垫圈及球面垫座。如上所述，本实用新型的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，主要是由微调空 心螺丝、空心螺帽、球面垫座、球面垫圈、以及紧固螺栓相互配合，其中，藉由所述微调空心 螺丝、空心螺帽、球面垫座以及球面垫圈用于对法兰进行微调，所述紧固螺栓用于最后固 定，与现有技术相比，微调元件和锁固元件之间相互独立，且由于本实用新型采用了球面垫 座及球面垫圈不但使得调节容易操作，而且还解决了现有技术中螺栓与工作台的线接触或 点接触而引起的调节不理想或调节后稳定性差等问题，即有效克服了现有技术中的种种缺 点ο
图1显示为本实用新型的调节机构的立体分解示意图。图2显示为本实用新型的调节机构的剖面分解示意图。图3显示为本实用新型的调节机构的结合示意图。图4显示为本实用新型的旋转磨削吸盘与可转动台面的分解示意图。图5显示为本实用新型的旋转磨削吸盘的分布示意图。元件标号的简单说明1 可转动台面11 第二螺孔2 中心转轴3法兰31 第一螺孔32 容置沉孔4 微调空心螺丝41 外螺纹42 卡槽5空心螺帽51 卡块52 挡止部53 操作部6球面垫座61 凹形球面7球面垫圈[0032]8紧固螺栓具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说 明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另 外不同的具体实施方式
加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应 用，在不背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1至图4，其显示为本实用新型的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构 的实施方式示意图，需要说明的是，图式中均为简化的示意图式，而仅以示意方式说明本实 用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型的调节机构有关的组件而非按照实际实 施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意 的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。请参阅图1及图2，图1显示为本实用新型的调节机构的立体分解示意图；图2显 示为本实用新型的调节机构的剖面分解示意图。如图所示，本实用新型提供一种晶圆背磨 机的旋转磨削吸盘调节机构，包括可转动台面1、中心转轴2、设置于所述可转动台面1上的 法兰3，且所述法兰3周缘具有至少三个均勻分布的第一螺孔31，连通所述第一螺孔31的 底端具有容置沉孔32 ；所述可转动台面1具有对应所述第一螺孔31的第二螺孔11，本实用 新型的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构还包括微调空心螺丝4、空心螺帽5、球面垫 座6、球面 垫圈7、以及紧固螺栓8。所述微调空心螺丝4旋设于所述第一螺孔31，并具有对应所述第一螺孔31的外螺 纹41，以在旋进旋出时调整所述法兰3的高度，所述微调空心螺丝4顶端具有卡槽42 ；于本 实施方式中，所述法兰3周缘具有三个均勻分布的第一螺孔31，相应地，对应以上三个第一 螺孔31，具有三个微调空心螺丝4，对所述法兰3进行调节时，通过三点确定一个平面的原 理分别对所述法兰3进行水平微调。对所述微调空心螺丝4进行微调时需要借助本实用新型提供的空心螺帽5，所述 空心螺帽5的底端具有对应卡合至所述卡槽42的卡块51，中部具有挡止部52以及顶端具 有操作部53 ；于本实施方式中，所述空心螺帽5的挡止部52的直径大于所述第一螺孔31的 孔径，以使所述空心螺帽5被旋动时不致于落入所述第一螺孔31中；所述空心螺帽的操作 部53呈六角螺帽结构，以适用于多种操作工具，当然，所述操作部53的形状在其它的实施 方式中也可以根据需求而改变。所述球面垫座6位于所述微调空心螺丝4与所述可转动台面1之间，且所述球面 垫座6底面为平面，以贴合所述可转动台面1。于本实施方式中，所述球面垫座6具有凹形 球面61。所述球面垫圈7位于所述微调空心螺丝4与所述球面垫座6之间，所述球面垫圈 7容置于所述球面垫座6中；具体地，所述球面垫圈7与所述球面垫座6的凹形球面61相 吻合。也就是说，所述球面垫圈7即便在有些错位的情况下，也始终与所述球面垫座6保持 面接触。于具体的实施过程中，所述微调空心螺丝4的底端抵靠于所述球面垫圈7上；所述 球面垫圈7及球面垫座6容置于所述法兰3的容置沉孔32，以保证所述法兰3与可转动台面1之间不产生过盈干涉。 所述紧固螺栓8依次穿过所述空心螺帽5、微调空心螺丝4、球面垫圈7及球面垫 座6锁固于所述第二螺孔11，将所述空心螺帽5、微调空心螺丝4、球面垫圈7及球面垫座6 固定。为进一步突显本实用新型之原理以及功效，请参阅图3，图3显示为本实用新型的 晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构的结合示意图。需要说明地是，本图示中仅以所述法 兰3周缘的三个螺孔中的一个进行说明，如图所示，所述微调空心螺丝4旋设于所述第一螺 孔31，所述空心螺帽5盖合于所述微调空心螺丝4，即所述空心螺帽5底端的卡块51对应 卡合至所述卡槽42，以旋动时可对所述微调空心螺丝4旋进或旋出，进而调整所述法兰3的 高度，于所述微调空心螺丝4旋设于所述第一螺孔31中时，所述微调空心螺丝4的底端抵 靠于所述球面垫圈7上，所述球面垫圈7容置于所述球面垫座6中，所述球面垫圈7与所述 球面垫座6保持面面接触，所述紧固螺栓8依次穿过所述空心螺帽5、微调空心螺丝4、球面 垫圈7及球面垫座6锁固于所述第二螺孔11，将所述空心螺帽5、微调空心螺丝4、球面垫 圈7及球面垫座6固定，因而，本实用新型与现有技术相比，由于微调元件和锁固元件之间 相互独立，以及采用了球面垫座及球面垫圈结构，不但使调节操作变得容易，也确保了调节 的精确度。请参阅图4，图4显示为本实用新型的旋转磨削吸盘与可转动台面的分解示意图。 如图所示，本实用新型中的法兰3设置于所述可转动台面1上，且对应所述中心转轴2还具 有一个驱动所述中心转轴2转动的马达9，于马达9工作时，进而带动所述旋转磨削吸盘于 所述可转动台面1上转动。需要特别说明的是，由于所述可转动台面1上均勻分布有三个旋转磨削吸盘，请 参阅图5，图5显示为本实用新型的旋转磨削吸盘的分布示意图。本实施方式中仅以其中一 个旋转磨削吸盘的调节结构为例进行的说明，于实际的调节过程中，均勻分布于所述可转 动台面1上的三个旋转磨削吸盘均需要逐一调节，重要的是，需要确保该三个旋转磨削吸 盘的调节保持一致，以确保对所述晶圆的磨削精度。综上所述，本实用新型主要是由微调空心螺丝、空心螺帽、球面垫座、球面垫圈、以 及紧固螺栓相互配合，其中，藉由所述微调空心螺丝、空心螺帽、球面垫座以及球面垫圈用 于对法兰进行微调，所述紧固螺栓用于最后固定，与现有技术相比，微调元件和锁固元件之 间相互独立，且由于本实用新型采用了球面垫座及球面垫圈不但使得调节容易操作，而且 还解决了现有技术中螺栓与工作台的线接触或点接触而引起的调节不准及调节不牢固的 问题，即有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新 型。任何熟习此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行 修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精 神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
权利要求一种晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，包括可转动台面、设置于所述可转动台面上的法兰，且所述法兰周缘具有至少三个均匀分布的第一螺孔，所述可转动台面具有对应所述第一螺孔的第二螺孔，其特征在于，所述调节机构还包括微调空心螺丝，旋设于所述第一螺孔，并具有对应所述第一螺孔的外螺纹，所述微调空心螺丝顶端具有卡槽；空心螺帽，底端具有对应卡合至所述卡槽的卡块，中部具有挡止部以及顶端具有操作部；球面垫座，位于所述微调空心螺丝与所述可转动台面之间，且所述球面垫座底面为平面；球面垫圈，位于所述微调空心螺丝与所述球面垫座之间，所述球面垫圈容置于所述球面垫座中；以及紧固螺栓，依次穿过所述空心螺帽、微调空心螺丝、球面垫圈及球面垫座锁固于所述第二螺孔。
2.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于所述空心 螺帽的挡止部的直径大于所述第一螺孔的孔径。
3.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于所述空心 螺帽的操作部呈六角螺帽结构。
4.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于所述微调 空心螺丝的底端抵靠于所述球面垫圈上。
5.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于连通所述 第一螺孔的底端具有容置沉孔，用于容置所述球面垫圈及球面垫座。
6.如权利要求1所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于所述球面 垫座具有凹形球面。
7.如权利要求6所述的晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，其特征在于所述球面 垫圈与所述球面垫座的凹形球面相吻合。
专利摘要本实用新型提供一种晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构，包括可转动台面、中心转轴、及法兰，所述法兰周缘具有至少三个均匀分布的第一螺孔，所述可转动台面具有对应所述第一螺孔的第二螺孔，其主要包括旋设于所述第一螺孔的微调空心螺丝、用以对所述微调空心螺丝调节的空心螺帽，位于所述微调空心螺丝与所述可转动台面之间的球面垫圈及球面垫座，以及将所述空心螺帽、微调空心螺丝、球面垫圈及球面垫座锁固的紧固螺栓，本实用新型与现有技术相比，微调元件和锁固元件之间相互独立，且采用了球面垫座及球面垫圈结构，不但使调节操作变得容易，还解决了现有技术中靠螺丝旋进旋出调节而引起的不精确及不牢固的问题。
文档编号H01L21/00GK201552496SQ200920211039
公开日2010年8月18日 申请日期2009年10月21日 优先权日2009年10月21日
发明者卢建伟 申请人:昭进半导体设备(上海)有限公司