本技术涉及光伏材料加工设备,尤其涉及一种载具、承载装置及镀膜设备。
背景技术:
1、半导体加工设备能够对片状材料(如太阳能硅片)进行镀膜,通常是将多个片状材料放置于载具内,然后将载具送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现,主要目的是提高太阳能电池片的光转换率。
2、对片状材料(如太阳能硅片)进行镀膜前或者镀膜后,载具需要通过搬运装置进行搬运,目前搬运过程中无法实现对载具的准确搬运,搬运过程中容易出现载具掉落或载具搬运变形等现象,造成载具损坏的现象。
技术实现思路
1、根据本实用新型的一个方面,目的在于提供一种载具,能够避免了载具掉落或载具搬运变形导致载具损坏。
2、为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
3、载具包括底板、顶板和槽棒,顶板与底板相对设置;槽棒的第一端与底板连接,槽棒的第二端与顶板连接,槽棒的数量为多个,每个槽棒均设有用于插设片状材料的卡槽;其中,顶板与底板上均设有第一定位件,第一定位件用于与外部的搬运装置配合,以使搬运装置搬运载具。
4、可选的,第一定位件为定位圆柱;底板远离第一端的一面,以及顶板远离第二端的一面均设置有定位圆柱。
5、可选的,底板远离第一端的一面设有第二定位件,第二定位件用于与外部的托盘配合,以使载具支撑设置于托盘上方。
6、可选的,载具还包括舟耳,舟耳设置于顶板;舟耳包括固定部与弯折部,固定部与弯折部的连接处呈一定角度设置。
7、可选的,多个槽棒沿第一方向构成两列槽棒,多个槽棒沿第一方向构成两列槽棒,第一方向为片状材料插入的方向;多个槽棒沿第二方向构成至少两列槽棒,第二方向为垂直于片状材料插入的方向,沿第二方向的每列槽棒中的两个槽棒形成一组槽棒,每组槽棒中的两个槽棒相对设置有卡槽。
8、可选的,多个槽棒沿第二方向构成两列槽棒,第二方向为垂直于片状材料插入的方向;多个槽棒沿第一方向构成至少三列槽棒,第一方向为片状材料插入的方向,其中,底板沿第一方向的两侧设置的两列槽棒相对设置有卡槽,且两列槽棒之间的每一槽棒沿第一方向设有两个卡槽。
9、可选的,多个槽棒沿第二方向构成至少三列槽棒,第二方向为垂直于片状材料插入的方向;多个槽棒沿第一方向构成至少三列槽棒,第一方向为片状材料插入的方向,其中,底板沿第二方向的两侧设置的两列槽棒相对设置有卡槽,且两列槽棒之间的每一槽棒沿第一方向设有两个卡槽。
10、可选的,定位棒设置于底板与顶板之间,定位棒的一端与底板连接,定位棒的另一端与顶板连接;片状材料能够沿槽棒的卡槽滑动,并抵接于定位棒。
11、根据本实用新型的另一个方面,还提供了一种承载装置,包括托盘及上述的载具,一个或多个上述的载具设置于托盘上。
12、可选的,托盘设有第一定位孔、第二定位孔与第三定位孔中至少一个孔位;第一定位孔用于与第一定位件配合;第二定位孔用于供外部的光电传感器的光穿过,以实现载具的定位;所述第三定位孔用于与外部定位件配合。
13、根据本实用新型的另一个方面,还提供了一种镀膜设备,包括炉管及上述承载装置,承载装置设置于炉管。
14、本实施例提供的镀膜设备,能够避免载具在搬运过程不会掉落损坏,并且第一定位件与托盘能够配合定位,防止载具倾倒,从而进一步提高了镀膜设备的工作效率。
1.一种载具,用于承载片状材料,其特征在于,所述载具包括:
2.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述第一定位件为定位圆柱;
3.根据权利要求2所述的载具,其特征在于,所述底板远离所述第一端的一面设有第二定位件,所述第二定位件用于与外部的托盘配合,以使所述载具支撑设置于所述托盘上方。
4.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述载具还包括舟耳,所述舟耳设置于所述顶板;
5.根据权利要求1至4中任一项所述的载具,其特征在于,
6.根据权利要求1至4中任一项所述的载具,其特征在于,
7.根据权利要求1至4中任一项所述的载具,其特征在于,
8.根据权利要求1所述的载具,其特征在于,所述载具还包括定位棒;
9.一种承载装置,其特征在于,包括托盘及权利要求1至7中任一项所述的载具,一个或多个所述载具设置于所述托盘上。
10.根据权利要求9所述的承载装置,其特征在于,所述托盘设有第一定位孔、第二定位孔与第三定位孔中的至少一个孔位;
11.一种镀膜设备,其特征在于,包括炉管及如权利要求9或10所述的承载装置,所述承载装置设置于所述炉管。