本发明涉及整形装置。
背景技术：
1、有时需要通过对板状的对象物进行加热处理或冷却处理来对对象物进行整形。用于实现这种目的的基板处理装置在日本特开2008－177303号公报(专利文献1)中有所记载。该基板处理装置具备加热板。在加热板的表面上形成有多个销状突起，以在加热板与晶圆之间形成规定尺寸的缝隙。另外，在加热板的表面上配置有环状隔壁，以在径向上对间隙分别进行划分。使用这种构造对走了形的晶圆进行加热处理。
2、专利文献1：日本特开2008－177303号公报
3、在专利文献1记载的基板处理装置中，通过加热板从下侧对对象物进行加热。对象物由多个销状突起进行保持。在对象物例如如树脂基板那样柔软基板的情况下，在由多个销状突起进行保持的状态下，难以正确地整形成平面状。另外，在要求将对象物整形成除了平面状以外的所希望的形状的情况下，在只是通过多个销状突起支承了对象物的状态下，也难以整形成所希望的形状。
技术实现思路
1、因此，本发明的目的在于提供容易将板状的对象物整形成所希望的形状的整形装置。
2、为了实现上述目的，基于本发明的整形装置具备：基部，该基部可支承板状的对象物；支承部件，该支承部件能够获得从上述基部向上突出的第1状态而用以支承上述对象物；加热部，该加热部用于加热被上述支承部件支承着的状态的上述对象物；和施力部，该施力部向下对上述对象物施力。上述支承部件可相对于上述基部相对地升降。
3、根据本发明，由于多个支承销可升降，所以容易将板状的对象物整形成所希望的形状。
1.一种整形装置，其中，具备：
2.根据权利要求1所述的整形装置，其中，
3.根据权利要求1所述的整形装置，其中，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的整形装置，其中，
5.根据权利要求1～4中任一项所述的整形装置，其中，
6.根据权利要求5所述的整形装置，其中，
7.根据权利要求5或6所述的整形装置，其中，
8.根据权利要求1～7中任一项所述的整形装置，其中，
9.根据权利要求8所述的整形装置，其中，
10.根据权利要求8所述的整形装置，其中，
11.根据权利要求8所述的整形装置，其中，
12.根据权利要求1～7中任一项所述的整形装置，其中，
13.根据权利要求5～7中任一项所述的整形装置，其中，