一种晶圆结构的制造方法与流程

文档序号:39919741发布日期:2024-11-08 20:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶圆结构的制造方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,若所述第一器件组中的半导体器件和所述第二器件组中的半导体器件中p型功函数层的厚度不同,则所述栅极结构的形成过程包括:

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,若所述第一器件组中的半导体器件和所述第二器件组中的半导体器件中p型功函数层的厚度不同,则所述栅极结构的形成过程包括:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,若所述第一器件组中的半导体器件和所述第二器件组中的半导体器件下方的衬底的掺杂状态不同,则所述方法还包括:

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法,其特征在于,所述p型功函数层的厚度范围为(0nm,6nm]。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述第一器件组中的半导体器件和所述第二器件组中的半导体器件中p型功函数层所属的厚度范围不同,所述厚度范围包括第一范围、第二范围和第三范围中的一种,所述第一范围为[1.5nm,2nm],所述第二范围为[2.7nm,4nm],所述第三范围为(4nm,6nm]。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述第一器件组中的半导体器件中的沟道层的掺杂类型为n型,所述第一器件组中的半导体器件中的p型功函数层的厚度属于所述第一范围,所述第一器件组第一器件和第二器件中的至少一种,所述第一器件下的衬底和所述第一器件中的沟道层的掺杂类型相同,所述第二器件下的衬底和所述第二器件中的沟道层的掺杂类型相反。

8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述第二器件组中的半导体器件中的沟道层的掺杂类型为p型,所述第二器件组包括第一分组和第二分组中的至少一种,所述第一分组中的半导体器件中的p型功函数层的厚度属于所述第二范围,所述第二分组中的半导体器件中的p型功函数层的厚度属于所述第三范围;

9.根据权利要求1-4任一项所述的方法,其特征在于,所述多个半导体器件组还包括第三器件组,所述第三器件组中的半导体器件不具有p型功函数层;所述栅极结构的形成过程包括:

10.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述第三器件组中的半导体器件中的沟道层的掺杂类型为n型;

11.根据权利要求1-4任一项所述的方法,其特征在于,所述多个半导体器件组中,具有相同p型功函数层厚度,且具有相同掺杂状态的半导体器件,设置于同一区域范围内。

12.根据权利要求1-4任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

13.根据权利要求1-4任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

14.根据权利要求13所述的方法,其特征在于,所述氧化层的材料为氧化硅,厚度范围为[3nm,4nm];

15.根据权利要求1-4任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:


技术总结
本申请提供一种晶圆结构的制造方法,包括提供衬底,以及在衬底上形成多个半导体器件组,每个半导体器件组包括至少一个半导体器件,半导体器件包括埋氧层、埋氧层上的沟道层和沟道层上的栅极结构,栅极结构包括从沟道层向上依次层叠的高k介质层、N型功函数层和金属间隙填充层,多个半导体器件组包括第一器件组和第二器件组,第一器件组和第二器件组中的半导体结构还包括P型功函数层。第一器件组中的半导体器件和第二器件组中的半导体器件中P型功函数层的厚度不同,和/或,第一器件组中的半导体器件和第二器件组中的半导体器件下方的衬底的掺杂状态不同,这样可以实现在同一晶圆上制造不同阈值电压的器件,易于实施,提高了器件的制造效率。

技术研发人员:徐勇,李彬鸿,王云
受保护的技术使用者:广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
技术研发日:
技术公布日:2024/11/7
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