一种高性能优质合金靶材的制作方法

本技术属于一种合金靶材，更具体地说，特别涉及一种高性能优质合金靶材。

背景技术：

1、靶材，也称为溅射靶材，是指通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当的工艺条件下溅射在基板上的材料，以形成各种功能薄膜，这些薄膜可能具有特定的性能，如超硬、耐磨、防腐等特性。靶材是薄膜制备过程中的核心材料，对材料的科学技术发展有着深远的影响。特别是在半导体和微电子行业的发展中，靶材的使用是一项革命性技术，靶材也可以用于其他领域的研究和实验，如核物理、物理、化学等学科，以及作为机动标靶或成像工作的材料；

2、合金靶材在医学成像领域，用于产生x射线或其他辐射，以帮助医生进行诊断和治疗，在x射线机中合金靶材主要用于作为阳极靶面来配合阴极产生x射线，这种射线产生对合金靶面存在消耗，现有技术中的合金阳极靶面多为固定安装，需要定期进行更换，且现有技术中阳极合金靶面产生的x射线效率较低，进而导致成像质量不佳。

3、于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种高性能优质合金靶材，以期达到具有更加实用价值性的目的。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种高性能优质合金靶材，以解决上述问题。

2、本实用新型一种高性能优质合金靶材的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

3、一种高性能优质合金靶材，包括真空玻璃仓，所述真空玻璃仓的内腔中部安装有阳极靶旋转组件，所述阳极靶旋转组件上安装有合金靶材本体，所述真空玻璃仓的前侧内腔中安装有匹配合金靶材本体使用的阴极组件；

4、所述合金靶材本体包括两个圆形钨面钼耙，所述圆形钨面钼耙的外表面覆盖有钨膜层，两个所述圆形钨面钼耙之间安装有钼靶，所述钼靶共有四个且均布安装在两个圆形钨面钼耙之间，所述钼靶的外侧斜面上覆盖有钨铼靶面，所述钼靶的其余外壁面覆盖有钨面层。

5、进一步地，所述真空玻璃仓包括圆形阳极仓，所述圆形阳极仓的左侧外壁面中部安装有矩形阴极仓，所述圆形阳极仓的下侧外壁面左侧安装有射线穿射仓。

6、进一步地，所述阳极靶旋转组件包括安装在圆形阳极仓内腔前端中部的第一定子转子组件，所述第一定子转子组件的转动端安装有轴杆，所述轴杆与两个所述圆形钨面钼耙的中部安装。

7、进一步地，所述阴极组件包括安装在矩形阴极仓内腔前端中部的第二定子转子组件，所述第二定子转子组件的转动端安装有往复丝杆，所述往复丝杆上安装有匹配其使用的往复滑块，所述往复滑块的右侧壁面上安装有阴极电子枪。

8、进一步地，所述钨铼靶面呈45°角倾斜设置，所述阴极电子枪的轴心线与钨铼靶面的表面夹角呈45°设置。

9、进一步地，所述射线穿射仓的底面中心线与钨铼靶面的中心线在同一平面内。

10、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

11、1、本实用新型钨铼靶面的设置目的在于铼金属的分布均匀性好，能够在与钨金属结合后能够形成晶粒更加均匀的靶面，进而能够提高靶面的承受能力，其用作x射线产生层性能更好，使用寿命更长。

12、2、本实用新型通过第二定子转子组件转动带动往复丝杆转动，进而驱使往复滑块带动阴极电子枪从一端向另一端滑动，进而在阴极电子枪射出电子光束时，照射在钨铼靶面的表面，通过钨铼靶面的表面产生垂直向下的x射线，其能够在钨铼靶面的表面均匀产生x射线，相比传统的固定阳极靶面，其提高了靶面的使用寿命，且通过第一定子转子组件转动带动轴杆和轴杆上的圆形钨面钼耙转动，驱使圆形钨面钼耙转动一定角度，进而在阴极电子枪第二次照射时由另一个钨铼靶面进行工作，进一步延长了阳极靶整体的使用寿命。

技术特征：

1.一种高性能优质合金靶材，其特征在于：包括真空玻璃仓(1)，所述真空玻璃仓(1)的内腔中部安装有阳极靶旋转组件(2)，所述阳极靶旋转组件(2)上安装有合金靶材本体(3)，所述真空玻璃仓(1)的前侧内腔中安装有匹配合金靶材本体(3)使用的阴极组件(4)；

2.如权利要求1所述一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述真空玻璃仓(1)包括圆形阳极仓(101)，所述圆形阳极仓(101)的左侧外壁面中部安装有矩形阴极仓(102)，所述圆形阳极仓(101)的下侧外壁面左侧安装有射线穿射仓(103)。

3.如权利要求2所述一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述阳极靶旋转组件(2)包括安装在圆形阳极仓(101)内腔前端中部的第一定子转子组件(201)，所述第一定子转子组件(201)的转动端安装有轴杆(202)，所述轴杆(202)与两个所述圆形钨面钼耙(301)的中部安装。

4.如权利要求3所述一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述阴极组件(4)包括安装在矩形阴极仓(102)内腔前端中部的第二定子转子组件(401)，所述第二定子转子组件(401)的转动端安装有往复丝杆(402)，所述往复丝杆(402)上安装有匹配其使用的往复滑块(403)，所述往复滑块(403)的右侧壁面上安装有阴极电子枪(404)。

5.如权利要求4所述一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述钨铼靶面(304)呈45°角倾斜设置，所述阴极电子枪(404)的轴心线与钨铼靶面(304)的表面夹角呈45°设置。

6.如权利要求5所述一种高性能优质合金靶材，其特征在于：所述射线穿射仓(103)的底面中心线与钨铼靶面(304)的中心线在同一平面内。

技术总结
本技术提供一种高性能优质合金靶材，涉及合金靶材技术领域，包括真空玻璃仓，所述真空玻璃仓的内腔中部安装有阳极靶旋转组件，所述阳极靶旋转组件上安装有合金靶材本体，所述真空玻璃仓的前侧内腔中安装有匹配合金靶材本体使用的阴极组件。本技术钨铼靶面的设置目的在于铼金属的分布均匀性好，能够在与钨金属结合后能够形成晶粒更加均匀的靶面，进而能够提高靶面的承受能力，其用作X射线产生层性能更好，使用寿命更长，且通过第一定子转子组件转动带动轴杆和轴杆上的圆形钨面钼耙转动，驱使圆形钨面钼耙转动一定角度，进而在阴极电子枪第二次照射时由另一个钨铼靶面进行工作，进一步延长了阳极靶整体的使用寿命。

技术研发人员：高峻峰
受保护的技术使用者：领科元素（山东）技术有限公司
技术研发日：20240329
技术公布日：2024/11/28