本发明涉及静电吸盘领域，特别涉及具有加热功能的陶瓷静电吸盘。
背景技术：
1、陶瓷静电吸盘是利用静电原理来吸附和固定物体的装置。广泛应用于多个领域，尤其在半导体制造行业中扮演着重要角色。
2、目前，现有技术中的静电吸盘常设置电阻加热结构，其均匀布设在静电吸盘内部，静电吸盘加热时，只能进行整体加热，无法进行分区加热，使得静电吸盘上的不同区域无法根据具体的情况进行加热调控；同时加热结构安装至静电吸盘内部，其不易进行脱离取出，在长期使用后，出现损伤或故障，其不便于进行维护检修或更换。
技术实现思路
1、本发明为了解决无法对静电吸盘进行分区加热温控以及加热结构不易取出维护的技术问题，而提供具有加热功能的陶瓷静电吸盘。
2、本发明通过以下技术方案解决上述技术问题：
3、本发明提供了具有加热功能的陶瓷静电吸盘，包括静电吸盘本体，所述静电吸盘本体设置有基座；还包括：内腔，所述内腔设置在基座内，且基座内设置有若干个均匀分布的加热片；升降机构，所述升降机构包括驱动部以及升降柱，所述驱动部用于驱动升降柱升降移动；旋转机构，所述旋转机构与加热片底面连接，且旋转机构安装至升降机构上；安装机构，所述安装机构包括与升降机构底部相连的嵌块以及设置在嵌块两侧的锁定组件，所述嵌块与开设在基座底部的嵌槽配合连接，所述锁定组件与开设在嵌槽两侧的锁孔插接；所述锁定组件具有设置在升降柱下方的解锁部，所述解锁部受升降柱下压，使锁定组件解锁；导热盘，所述导热盘可上下移动，且导热盘设置在加热片的上方，所述导热盘与内腔的顶面弹性连接；散热扇，所述散热扇安装至基座的侧方，且散热扇的内侧口与内腔连通，所述散热扇的外侧设置有防尘网；清扫机构，所述清扫机构设置在防尘网上，且清扫机构的输入端与导热盘连接。
4、在本技术方案中，通过若干个加热片可进行分区加热，且加热片通过旋转机构进行驱动可自转，方便进行区域内的均匀加热，且通过安装机构，使加热片、升降机构和旋转机构可进行拆卸维护。
5、优选地，所述旋转机构包括伸缩杆，所述伸缩杆的顶端固接有第二转动柱，且第二转动柱的顶端与加热片的底面固接，所述第二转动柱与升降柱的顶端转动连接，所述伸缩杆的底端连接有第二电机。
6、在本技术方案中，旋转机构用于驱动加热片旋转。
7、优选地，所述导热盘上设置有若干个均匀分布的导热子片，且每个导热子片分别位于相对应的加热片上方。
8、在本技术方案中，若干个导热子片进行分区导热。
9、优选地，所述锁定组件包括锁块；所述锁块与开设在嵌块侧壁上的第一导孔滑动连接，所述嵌块内开设有内槽，所述解锁部安装至内槽中。
10、优选地，所述解锁部包括第一楔形块和第二楔形块；所述第一楔形块固接有连接架，所述连接架与锁块位于内槽中的一端固接，所述第一楔形块上的斜面与第二楔形块上的斜面贴合，所述第二楔形块的顶部固接有压杆，所述嵌块的顶部开设有内槽顶部连通且为压杆提供导向的第二导孔，且压杆的顶端位于升降柱的下方。
11、优选地，所述第一楔形块的一侧通过第二弹簧与内槽的一侧壁弹性连接，所述内槽的顶面开设有凹孔，所述凹孔内设置有第三弹簧，所述压杆通过第三弹簧与凹孔顶面弹性连接。
12、在本技术方案中，锁定组件用于嵌块安装时的锁定。
13、优选地，所述清扫机构包括保护壳，所述保护壳固定安装至基座的外侧壁上，且保护壳和内腔之间设置有连通槽，所述连通槽内沿竖向滑动安装有连接条，所述连接条的一端与导热盘固接，且连接条的另一端与设置在保护壳内的传动部连接，所述传动部的输出端连接有清扫刷，所述清扫刷与防尘网贴合。
14、优选地，所述传动部包括第二齿条；所述第二齿条与连接条端部固接，所述第二齿条啮合连接有第一圆柱齿轮，所述第一圆柱齿轮的中部固接有第一转轴，且第一转轴转动安装至保护壳内，所述第一转轴上固接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮啮合连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮固接有第二转轴，所述第二转轴转动安装至保护壳内，所述第二转轴的底端延伸至保护壳外，且第二转轴的底端固接有第二圆柱齿轮，所述第二圆柱齿轮啮合连接有第一齿条，所述第一齿条通过连接杆与清扫刷固接。
15、优选地，所述连接杆固接有导套，所述防尘网上方安装有导向柱，所述导套滑动套接至导向柱上。
16、在本技术方案中，清扫机构用于防尘网的清扫。
17、优选地，还包括接线机构；所述接线机构包括绝缘环，所述绝缘环的内圈上设置有导电圆环，所述导电圆环与圆套同轴设置，所述圆套底端固接有硬导线，且硬导线连接有导电滑座，所述导电滑座滑动安装至导电圆环上，所述圆套内设置有软导线，所述加热片通过软导线与硬导线连接。
18、在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本发明各较佳实例。
19、本发明的积极进步效果在于：
20、上述提出的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，通过采用若干个独立的加热片，为静电吸盘不同区域提供独立的加热，实现分区加热温控，同时加热片连接升降机构，升降机构驱动加热片与导热盘贴合压紧，以及导热盘与内腔顶面贴合压紧，实现加热时热量传导到静电吸盘本体上，在加热后，升降机构驱动加热片与导热盘分离，导热盘与内腔顶面分离，避免加热片、导热盘和内腔顶面在非加热状态下受压，防止长期受压，而产生损伤；进一步地，设置了旋转机构，在加热片进行加热的过程中，使加热片进行旋转，方便热量均匀的传递至需加热的区域；更进一步地，设置安装机构，且安装机构中的锁定部通过升降机构中的升降柱提供动力，实现解锁或重新锁定，为安装机构的拆装提供了便捷，方便安装机构从基座上拆下，进而方便其上部件的检修、维护；又设置散热扇，为静电吸盘加热后提供快速散热降温，而散热扇上的防尘网设置清扫机构，用于清扫，而清扫机构通过与导热盘连接，其受导热盘的上下移动提供驱动，使清扫机构自动运行，进行清扫，使得清扫机构无需外部动力和控制。
1.具有加热功能的陶瓷静电吸盘，包括静电吸盘本体（1），所述静电吸盘本体（1）设置有基座（101）；其特征在于，还包括：
2.如权利要求1所述的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，其特征在于：所述旋转机构（9）包括伸缩杆，所述伸缩杆的顶端固接有第二转动柱（903），且第二转动柱（903）的顶端与加热片（5）的底面固接，所述第二转动柱（903）与升降柱（402）的顶端转动连接，所述伸缩杆的底端连接有第二电机（904）。
3.如权利要求2所述的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，其特征在于：还包括接线机构（10）；所述接线机构（10）包括绝缘环（1001），所述绝缘环（1001）的内圈上设置有导电圆环（1002），所述导电圆环（1002）与圆套（901）同轴设置，所述圆套（901）底端固接有硬导线（1003），且硬导线（1003）连接有导电滑座（1004），所述导电滑座（1004）滑动安装至导电圆环（1002）上，所述圆套（901）内设置有软导线，所述加热片（5）通过软导线与硬导线（1003）连接。
4.如权利要求1所述的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，其特征在于：所述导热盘（3）上设置有若干个均匀分布的导热子片（303），且每个导热子片（303）分别位于相对应的加热片（5）上方。
5.如权利要求1所述的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，其特征在于：所述锁定组件包括锁块（803）；所述锁块（803）与开设在嵌块（801）侧壁上的第一导孔（804）滑动连接，所述嵌块（801）内开设有内槽（812），所述解锁部安装至内槽（812）中。
6.如权利要求5所述的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，其特征在于：所述解锁部包括第一楔形块（806）和第二楔形块（808）；所述第一楔形块（806）固接有连接架（805），所述连接架（805）与锁块（803）位于内槽（812）中的一端固接，所述第一楔形块（806）上的斜面与第二楔形块（808）上的斜面贴合，所述第二楔形块（808）的顶部固接有压杆（802），所述嵌块（801）的顶部开设有内槽（812）顶部连通且为压杆（802）提供导向的第二导孔（809），且压杆（802）的顶端位于升降柱（402）的下方。
7.如权利要求6所述的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，其特征在于：所述第一楔形块（806）的一侧通过第二弹簧（807）与内槽（812）的一侧壁弹性连接，所述内槽（812）的顶面开设有凹孔（811），所述凹孔（811）内设置有第三弹簧（810），所述压杆（802）通过第三弹簧（810）与凹孔（811）顶面弹性连接。
8.如权利要求1所述的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，其特征在于：所述清扫机构（7）包括保护壳（702），所述保护壳（702）固定安装至基座（101）的外侧壁上，且保护壳（702）和内腔（102）之间设置有连通槽，所述连通槽内沿竖向滑动安装有连接条（701），所述连接条（701）的一端与导热盘（3）固接，且连接条（701）的另一端与设置在保护壳（702）内的传动部连接，所述传动部的输出端连接有清扫刷（705），所述清扫刷（705）与防尘网（6）贴合。
9.如权利要求8所述的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，其特征在于：所述传动部包括第二齿条（708）；所述第二齿条（708）与连接条（701）端部固接，所述第二齿条（708）啮合连接有第一圆柱齿轮（710），所述第一圆柱齿轮（710）的中部固接有第一转轴（709），且第一转轴（709）转动安装至保护壳（702）内，所述第一转轴（709）上固接有第一锥齿轮（711），所述第一锥齿轮（711）啮合连接有第二锥齿轮（712），所述第二锥齿轮（712）固接有第二转轴（713），所述第二转轴（713）转动安装至保护壳（702）内，所述第二转轴（713）的底端延伸至保护壳（702）外，且第二转轴（713）的底端固接有第二圆柱齿轮（714），所述第二圆柱齿轮（714）啮合连接有第一齿条（703），所述第一齿条（703）通过连接杆（704）与清扫刷（705）固接。
10.如权利要求9所述的具有加热功能的陶瓷静电吸盘，其特征在于：所述连接杆（704）固接有导套（707），所述防尘网（6）上方安装有导向柱（706），所述导套（707）滑动套接至导向柱（706）上。