一种磁浮重力补偿器的制作方法

文档序号:25535156发布日期:2021-06-18 20:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁浮重力补偿器,其特征在于,包括至少一个磁浮单元,所述磁浮单元包括动子磁钢组件(1)和定子磁钢组件(2);

所述动子磁钢组件(1)包括动子磁钢部件(11);

所述定子磁钢组件(2)设置于所述动子磁钢组件(1)一侧,所述定子磁钢组件(2)包括第一定子磁钢部件(21)和第二定子磁钢部件(22),所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)的z轴方向尺寸均大于所述动子磁钢部件(11)的z轴方向尺寸;

所述第一定子磁钢部件(21)对所述动子磁钢部件(11)产生第一磁浮补偿力;所述第二定子磁钢部件(22)对所述动子磁钢部件(11)产生第二磁浮补偿力;

所述第一磁浮补偿力和所述第二磁浮补偿力方向相同,所述动子磁钢部件(11)能够由基准点沿z轴的正方向或反方向移动产生位移量,所述基准点的位置为所述动子磁钢部件(11)、所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)的水平中心线在z轴重合的位置;

所述第一磁浮补偿力随着所述位移量的增大而增大,所述第二磁浮补偿力随着所述位移量的增大而减小。

2.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述第一定子磁钢部件(21)设置于所述动子磁钢部件(11)的一侧,所述第二定子磁钢部件(22)设置于所述第一定子磁钢部件(21)的远离所述动子磁钢部件(11)的一侧;或

所述第二定子磁钢部件(22)设置于所述动子磁钢部件(11)的一侧,所述第一定子磁钢部件(21)设置于所述第二定子磁钢部件(22)的远离所述动子磁钢部件(11)的一侧。

3.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述动子磁钢组件(1)和所述定子磁钢组件(2)之间的间隙为1mm-3mm。

4.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述第二定子磁钢部件(22)沿z轴方向由上到下依次包括第一子磁钢(221)和第二子磁钢(222),所述第一子磁钢(221)与所述动子磁钢部件(11)的充磁方向相同,所述第一子磁钢(221)和所述第二子磁钢(222)的充磁方向相反。

5.根据权利要求4所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,

当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为由所述动子磁钢部件(11)指向所述第一定子磁钢部件(21)时,所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为z轴方向向下;

当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为由所述第一定子磁钢部件(21)指向所述动子磁钢部件(11)时,所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为z轴方向向上;

当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为z轴方向向上时,所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为由所述第一定子磁钢部件(21)指向所述动子磁钢部件(11);

当所述动子磁钢部件(11)的充磁方向为z轴方向向下时,所述第一定子磁钢部件(21)的充磁方向为由所述动子磁钢部件(11)指向所述第一定子磁钢部件(21)。

6.根据权利要求5所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述动子磁钢部件(11)沿z轴方向由上到下依次包括第三子磁钢(111)和第四子磁钢(112);

当所述第三子磁钢(111)的充磁方向为z轴方向向下,以及所述第四子磁钢(112)的充磁方向为z轴方向向上时,所述第三子磁钢(111)和所述第四子磁钢(112)结合形成的所述动子磁钢部件(11)的磁路和所述动子磁钢部件(11)的整体充磁方向为由所述动子磁钢部件(11)指向所述第一定子磁钢部件(21)时形成的磁路一致;

当所述第三子磁钢(111)的充磁方向为z轴方向向上,以及所述第四子磁钢(112)的充磁方向为z轴方向向下时,所述第三子磁钢(111)和所述第四子磁钢(112)结合形成的所述动子磁钢部件(11)的磁路和所述动子磁钢部件(11)的整体充磁方向为由所述第一定子磁钢部件(21)指向所述动子磁钢部件(11)时形成的磁路一致。

7.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述动子磁钢部件(11)、所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)均为封闭形结构;

所述封闭形结构的横截面呈圆环形、椭圆环形或多边形环;

所述第一定子磁钢部件(21)环设于所述动子磁钢部件(11)一侧,所述第二定子磁钢部件(22)环设于所述第一定子磁钢部件(21)的远离所述动子磁钢部件(11)的一侧;或

所述第二定子磁钢部件(22)环设于所述动子磁钢部件(11)一侧,所述第一定子磁钢部件(21)环设于所述第二定子磁钢部件(22)的远离所述动子磁钢部件(11)的一侧。

8.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述动子磁钢部件(11)、所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)均为非封闭形结构;

所述非封闭形结构的横截面呈长方形或拱形。

9.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述动子磁钢组件(1)还包括动子支撑件(12),所述动子支撑件(12)设置有固定柱(121)和定位凸台(122),所述动子磁钢部件(11)套设于所述固定柱(121),且所述动子磁钢部件(11)的顶端抵接于所述定位凸台(122)。

10.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,还包括壳体(3),所述壳体(3)的腔室顶部设置有开口,所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)经所述开口安装于所述壳体(3)的腔室内,且所述第一定子磁钢部件(21)和所述第二定子磁钢部件(22)的底端粘结于所述壳体(3)的底壁上。

11.根据权利要求1所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述第一定子磁钢部件(21)的z轴方向尺寸等于所述第二定子磁钢部件(22)的z轴方向尺寸。

12.根据权利要求5所述的磁浮重力补偿器,其特征在于,所述磁浮重力补偿器包括多个沿z轴依次叠加的所述磁浮单元。


技术总结
本发明涉及半导体集成电路装备技术领域,公开一种磁浮重力补偿器。磁浮重力补偿器包括磁浮单元,磁浮单元包括动子磁钢组件和定子磁钢组件;动子磁钢组件包括动子磁钢部件;定子磁钢组件的第一定子磁钢部件对动子磁钢部件产生第一磁浮补偿力;定子磁钢组件的第二定子磁钢部件对动子磁钢部件产生第二磁浮补偿力;第一磁浮补偿力和第二磁浮补偿力方向相同,动子磁钢部件能够由基准点沿Z轴的正方向或反方向移动产生位移量,基准点的位置为动子磁钢部件、第一定子磁钢部件和第二定子磁钢部件的水平中心线在Z轴重合的位置;第一磁浮补偿力随着位移量的增大而增大,第二磁浮补偿力随着位移量的增大而减小。

技术研发人员:胡兵;龚威;蒋贇
受保护的技术使用者:上海隐冠半导体技术有限公司
技术研发日:2021.04.23
技术公布日:2021.06.18
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