电流方向的切换控制装置及电流方向的检测系统的制作方法

本申请涉及电路，尤其涉及一种电流方向的切换控制装置及电流方向的检测系统。

背景技术：

1、随着半导体芯片行业的发展，半导体芯片在各行各业的应用也越来越普及，为了保障半导体芯片的质量，通常会进行电子束缺陷检测等，而在此过程中，需要对磁透镜线圈中的电流方向进行多次切换。

2、相关技术中，可以采用机械方式实现对磁透镜中电流方向的切向，但此种方式操作起来较为繁琐，可能还会造成电源过载等，对整个系统的运行产生较大影响。由此，如何简化对磁透镜线圈中电流方向的切换，显得至关重要。

技术实现思路

1、本申请提供一种电流方向的切换控制装置及电流方向的检测系统。

2、根据本申请的第一方面，提供一种电流方向的切换控制装置，包括第一供电电路、第二供电电路、继电器、负载电路及控制电路；所述第一供电电路中的电流方向与所述第二供电电路中的电流方向相反；所述继电器连接于所述负载电路、所述第一供电电路和所述第二供电电路；所述控制电路连接于所述继电器，并通过控制所述继电器，以使所述负载电路与所述第一供电电路导通或与所述第二供电电路导通。

3、在一些实施方式中，所述第一供电电路与所述继电器的第一触点、第二触点、第三触点及第四触点连接；所述第二供电电路与所述继电器的第一触点、第二触点、第五触点及第六触点连接；所述负载电路与所述继电器的第一触点及第二触点连接；所述控制电路与所述继电器的控制线圈连接；其中，所述控制电路设置为控制所述继电器的第一触点与第三触点导通、第二触点与第四触点导通，以使所述负载电路与所述第一供电电路导通；或者，所述控制电路设置为控制所述继电器的第一触点与第五触点导通、第二触点与第六触点导通，以使所述负载电路与所述第二供电电路导通。

4、在一些实施方式中，所述切换控制装置还包括电源开关；所述电源开关连接于所述第一供电电路及所述第二供电电路，以向所述第一供电电路及所述第二供电电路供电；所述电源开关的控制端连接于所述控制电路，用于控制所述控制电路导通或断开。

5、在一些实施方式中，所述控制电路设置有开关管，所述开关管的栅极与所述电源开关的控制端连接，所述开关管的漏极与所述继电器连接，所述开关管的源极用于接地；所述电源开关被触发的状态下：所述电源开关的控制端用于向所述开关管发出第一控制信号，以控制所述开关管导通，所述继电器的控制线圈得电；在所述电源开关未被触发的状态下：所述电源开关的控制端用于向所述开关管发出第二控制信号，以控制所述开关管断开，所述继电器的控制线圈失电。

6、在一些实施方式中，所述开关管为mos管。

7、在一些实施方式中，所述控制电路设置有发光二极管；所述发光二极管的输入端与所述电源开关的控制端连接，所述发光二极管的输出端用于接地，所述发光二极管设置为在所述电源开关被触发的情况下导通并发光。

8、在一些实施方式中，所述控制电路还包括供电电源和放电支路；所述放电支路与所述继电器的控制线圈并联，并连接于所述开关管，所述供电电源连接于所述继电器的控制线圈和所述放电支路。

9、在一些实施方式中，所述放电支路设置有二极管及放电电阻，所述放电电阻的一端连接于所述继电器的控制线圈，所述放电电阻的另一端连接于所述二极管的输入端。

10、根据本申请的第二方面，提供一种电流方向的检测系统，包括电流方向的检测装置以及上述任一方面所述的电流方向的切换控制装置；所述电流方向的检测装置连接于所述切换控制装置的负载电路，用于检测所述负载电路中的电流方向。

11、根据本申请的第三方面，提供一种半导体检测设备，包括磁透镜线圈以及如上述任一方面所述的电流方向的切换控制装置；所述负载电路与所述磁透镜线圈连接。

12、综上所述，本申请提供的电流方向的切换控制装置、电流方向的检测系统及半导体检测设备，至少具有以下有益效果：电流方向的切换控制装置可以包括第一供电电路、第二供电电路、继电器、负载电路及控制电路，从而通过控制该继电器，可使负载电路与第一供电电路导通，或与第二供电电路导通，从而通过第一供电电路及第二供电电路，即可实现电流方向的切换，简单易操作，提高了对磁透镜线圈电流方向切换的便捷性。

技术特征：

1.一种电流方向的切换控制装置，其特征在于，包括第一供电电路、第二供电电路、继电器、负载电路及控制电路；

2.如权利要求1所述的电流方向的切换控制装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的电流方向的切换控制装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的电流方向的切换控制装置，其特征在于，

5.如权利要求4所述的电流方向的切换控制装置，其特征在于，所述开关管为mos管。

6.如权利要求4所述的电流方向的切换控制装置，其特征在于，

7.如权利要求4所述的电流方向的切换控制装置，其特征在于，

8.如权利要求7所述的电流方向的切换控制装置，其特征在于，所述放电支路设置有二极管及放电电阻，所述放电电阻的一端连接于所述继电器的控制线圈，所述放电电阻的另一端连接于所述二极管的输入端。

9.一种电流方向的检测系统，其特征在于，包括电流方向的检测装置以及如权利要求1-8任一项所述的电流方向的切换控制装置；

10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括磁透镜线圈以及如权利要求1-8任一所述的电流方向的切换控制装置；

技术总结
本申请提供一种电流方向的切换控制装置及电流方向的检测系统，涉及电路技术领域，该电路包括：第一供电电路、第二供电电路、继电器、负载电路及控制电路；所述第一供电电路中的电流方向与所述第二供电电路中的电流方向相反；所述继电器连接于所述负载电路、所述第一供电电路和所述第二供电电路；所述控制电路连接于所述继电器，并通过控制所述继电器，以使所述负载电路与所述第一供电电路导通或与所述第二供电电路导通。由此，通过第一供电电路及第二供电电路，即可实现电流方向的切换，简单易操作，提高了对磁透镜线圈电流方向切换的便捷性。

技术研发人员：王彦龙
受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15