镀膜电源电路及镀膜电源装置的制作方法

本技术涉及真空镀膜，特别涉及一种镀膜电源电路及镀膜电源装置。

背景技术：

1、在真空镀膜时，真空室需要正负交变的方波电压作为输入，为了能够满足负载端较大的功率要求，现有镀膜电源使用的拓扑均为多级功率电路。尽管如此，现有的正负方波输出镀膜电源，还是往往因为系统功率因数偏低，导致系统消耗无功功率大。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提供一种镀膜电源电路及镀膜电源装置，旨在解决镀膜电源电路利用率低的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提出的镀膜电源电路，应用于镀膜电源，所述镀膜电源包括用于接入电网的电网接口，所述镀膜电源电路包括：

3、主动前端电路，所述主动前端电路的输入端用于与所述电网接口电连接，所述主动前端电路用于将所述电网接口接入的电网电源进行功率因数矫正，并将所述电网电源转换为第一直流电源输出；

4、变换电路，所述变换电路具有多个输出端，所述变换电路的输入端与所述主动前端电路的输出端连接，所述变换电路用于将接入的第一直流电源进行变压处理及分压处理，以分别输出多路第二直流电源；

5、电压调节电路，所述电压调节电路的输入端与所述变换电路的输出端一一对应连接，所述电压调节电路的输出端用于接入镀膜真空室的供电端，每一所述电压调节电路用于对接入的一路所述第二直流电源进行极性处理及灭弧处理，输出相应的一路正负交变的方波电压至所述镀膜真空室。

6、可选地，所述主动前端电路包括：

7、三相整流电路，所述三相整流电路的输入端用于与所述电网接口电连接，所述三相整流电路的输出端与所述电压变换调节电路的输入端连接，所述三相整流电路用于将接入的所述电网电源进行功率因数矫正，并将所述电网电源转换为第一直流电源输出。

8、可选地，所述主动前端电路还包括：

9、滤波电路，所述滤波电路的输入端用于与所述电网接口电连接，所述滤波电路的输出端与所述三相整流电路的输入端连接，所述滤波电路用于将接入的电网电源进行滤波处理后输出至所述三相整流电路。

10、可选地，所述变换电路包括：

11、逆变电路，所述逆变电路的输入端与所述主动前端电路的输出端连接，所述逆变电路用于将接入的第一直流电源进行逆变处理，以输出对应的交流电源；

12、变压器，所述变压器具有输入端与输出端，所述变压器的输入端与所述逆变电路的输出端连接，用于将接入的所述交流电源进行变压处理，以输出变压处理后的交流电源；

13、不控整流电路，所述不控整流电路的输入端与所述变压器的输出端连接，所述不控整流电路的输出端与所述电压调节电路的输入端连接，所述不控整流电路用于将变压处理后的所述交流电源进行整流处理，并输出对应的所述第二直流电源。

14、可选地，所述变压器的输出端的数量具体为多个，所述不控整流电路的数量具体为多个；

15、所述变压器的多个输出端分别与多个所述不控整流电路的输入端一一对应连接，所述变压器还用于将接入的所述交流电源进行分压处理，以分别输出多路变压处理后的交流电源。

16、可选地，所述变压器具体包括一个原边绕组与多个副边绕组；

17、所述原边绕组与所述逆变电路的输出端电连接，多个所述副边绕组分别与多个不控整流电路的输入端一一对应电连接。

18、可选地，所述电压调节电路包括：

19、降压电路，所述降压电路的输入端与所述变换电路的输出端连接，用于将接入的第二直流电源进行降压处理及灭弧处理后输出；

20、h桥，所述h桥的输入端与所述降压电路的输出端连接，所述h桥用于将降压后的第二直流电源进行极性处理，以输出所述正负交变的方波电压。

21、可选地，所述镀膜电源电路还包括：

22、浪涌抑制电路，所述浪涌抑制电路串联于所述电网接口与地之间，用于将所述电网接口接入的高压浪涌进行泄放。

23、可选地，所述镀膜电源电路还包括：

24、缓启动电路，所述缓启动电路串联于所述主动前端电路与所述电压变换调节电路之间，所述缓启动电路用于在所述电网接口接入电网时，抑制电网输出的电源对电路的冲击。

25、可选地，所述缓启动电路包括：

26、缓冲电阻，所述缓冲电阻串联于所述主动前端电路与所述电压变换调节电路之间，用于在所述电网接口接入电网时，对接入的高压浪涌进行抑制；

27、并联开关，所述并联开关并联于所述缓冲电阻的两端，用于在接收到闭合控制信号时，将所述缓冲电阻旁路，以使所述镀膜电源电路正常工作。

28、本实用新型还提出一种镀膜电源装置，其特征在于，包括电网接口、控制器及上述的镀膜电源电路，所述镀膜电源电路的输入端与所述电网接口电连接，所述镀膜电源电路的受控端与所述控制器的输出端电连接。

29、可选地，所述主动前端电路的受控端用于与所述控制器电连接，所述主动前端电路还用于在接收到所述控制器输出的电流回馈控制信号时，将输出端接入的直流高压电源进行逆变处理后，经所述电网接口输出至电网

30、本实用新型技术方案通过设置主动前端电路，将电网输出的电网电源通过主动前端进行功率因数矫正与整流处理，使得输出的第一直流电源的电流的相位能够与电压的相位保持一致，将功率因数矫正为1，从而降低镀膜电源电路的在无功功率中的损失。从而在高镀膜电源将电网电源进行电压转换处理后，输出具有镀膜设备所需要的电压值的正负交变的方波电压，为镀膜真空室电离生成等离子体提供电源条件时，能够提高镀膜电源的利用率。

技术特征：

1.一种镀膜电源电路，其特征在于，所述镀膜电源电路包括：

2.如权利要求1所述的镀膜电源电路，其特征在于，所述主动前端电路包括：

3.如权利要求2所述的镀膜电源电路，其特征在于，所述主动前端电路还包括：

4.如权利要求1所述的镀膜电源电路，其特征在于，所述变换电路包括：

5.如权利要求4所述的镀膜电源电路，其特征在于，所述变压器的输出端的数量为多个，所述不控整流电路的数量为多个；

6.如权利要求1所述的镀膜电源电路，其特征在于，所述电压调节电路包括：

7.如权利要求1所述的镀膜电源电路，其特征在于，所述镀膜电源电路还包括：

8.如权利要求1所述的镀膜电源电路，其特征在于，所述镀膜电源电路还包括：

9.一种镀膜电源装置，其特征在于，包括电网接口、控制器及如权利要求1-8任意一项所述的镀膜电源电路，所述镀膜电源电路的输入端与所述电网接口电连接，所述镀膜电源电路的受控端与所述控制器的输出端电连接。

10.如权利要求9所述的镀膜电源装置，其特征在于，所述镀膜电源电路的受控端用于与所述控制器电连接，所述镀膜电源电路还用于在接收到所述控制器输出的电流回馈控制信号时，将输出端接入的直流高压电源进行逆变处理后，经所述电网接口输出至电网。

技术总结
本技术公开一种镀膜电源电路及镀膜电源装置，其中，镀膜电源电路包括：主动前端电路，主动前端电路的输入端用于与电网接口电连接，主动前端电路用于将电网接口接入的电网电源进行功率因数矫正，并将电网电源转换为第一直流电源输出；变换电路，变换电路具有多个输出端，变换电路的输入端与主动前端电路的输出端连接；电压调节电路，电压调节电路的输入端与变换电路的输出端一一对应连接，电压调节电路的输出端用于接入镀膜真空室的供电端，每一电压调节电路用于对接入的一路第二直流电源进行极性处理及灭弧处理，输出相应的一路正负交变的方波电压至镀膜真空室；本技术技术方案旨在解决镀膜电源电路利用率低的问题。

技术研发人员：龙琦,陈厅和,杨宸
受保护的技术使用者：苏州汇川控制技术有限公司
技术研发日：20230718
技术公布日：2024/1/25