等离子体刻蚀电路及装置的制作方法

本申请涉及等离子体刻蚀，尤其涉及等离子体刻蚀电路及装置。

背景技术：

1、现有的技术采用单向的电源电路对刻蚀腔室中的电路板进行等离子体刻蚀，在刻蚀的过程中，由于电源的极性是单一的，导致等离子体的扩散方向单一，由于刻蚀腔室的两端之间存在较长的距离，而等离子体的扩散需要一定的时间，这就导致了在刻蚀的过程中，出现了靠近等离子体扩散端的电路板容易被过度刻蚀，而在远离的一端往往则会出现刻蚀不足的情况。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提供一种等离子体刻蚀电路，旨在解决现有的等离子体刻蚀电路在刻蚀的过程中出现的刻蚀不足或过度刻蚀的情况。

2、为实现上述目的，本发明提出的一种等离子体刻蚀电路，包括：

3、电源电路，所述电源电路用于产生高频电磁场；

4、极性变换电路，所述极性变换电路具有输入端、第一输出端和第二输出端，所述极性变换电路的输入端与所述电源的输出端连接，所述极性变换电路的第一输出端与第一电极电连接，所述极性变换电路的第二输出端与第二电极电连接，所述极性变换电路用于周期性变换输出至所述第一电极和第二电极的电源极性。

5、在一实施例中，所述电源电路包括极性相反的第一电源和第二电源；

6、所述极性变换电路包括开关选通电路和控制电路；

7、所述开关选通电路具有第一输入端、第二输入端、第一输出端和第二输出端，所述开关选通电路的第一输入端与第一电源连接，所述开关选通电路的第一输出端与第一电极连接；所述开关选通电路的第二输入端与第二电源连接，所述开关选通电路的第二输出端与第二电极连接；

8、控制电路，所述控制电路的输出端与所述开关选通电路的控制端连接，所述控制电路用于控制所述开关选通电路的第一输入端与第一输出端连接，所述开关选通电路的第二输入端与第二输出端连接，或者控制所述开关选通电路的第一输入端与第二输出端连接，所述开关选通电路的第二输入端与第一输出端连接。

9、在一实施例中，所述开关选通电路包括：第一开关元件、第二开关元件、第三开关元件和第四开关元件；

10、所述第一开关元件的输入端与所述第一电源连接，所述第一开关元件的输出端与所述第一电极连接，所述第二开关元件的输入端与所述第一电源连接，所述第二开关元件的输出端与所述第二电极连接，所述第三开关元件的输入端与所述第二电源连接，所述第三开关元件的输出端与所述第二电极连接，所述第四开关元件的输入端与所述第二电源连接，所述第四开关元件的输出端与所述第一电极连接；

11、所述控制电路的输出端分别与所述第一开关元件的控制端、第二开关元件的控制端、第三开关元件的控制端和第四开关元件的控制端连接，当所述第一开关元件导通时，所述第三开关元件导通，所述第二开关元件和所述第四开关元件关闭，当所述第四开关元件导通时，所述第二开关元件导通，所述第一开关元件和所述第三开关元件关闭。

12、在一实施例中，所述第一电源为射频电源，所述第二电源为直流电源、射频电源或中频电源。

13、在一实施例中，所述开关选通电路包括第一继电器电路和第二继电器电路；

14、所述第一继电器电路和第二继电器电路均包括线圈控制回路、动触点、第一静触点和第二静触点；

15、所述第一继电器电路的动触点与所述第一电源的输出端电连接，所述第一继电器电路的第一静触点与所述第一电极电连接，所述第一继电器电路的第二静触点与所述第二电极电连接；

16、所述第二继电器电路的动触点与所述第二电源的输出端电连接，所述第二继电器电路的第一静触点与所述第一电极电连接，所述第二继电器电路的第二静触点与所述第二电极电连接。

17、在一实施例中，所述电源电路用于输出交流电信号，所述极性变换电路包括：

18、电磁耦合器，所述电磁耦合器包括初级线圈和次级线圈，所述初级线圈的两端连接电源电路的正极和负极，所述次级线圈的两端分别连接第一电极和第二电极。

19、在一实施例中，所述电磁耦合器为变压器、互感器或旋转变压器。

20、在一实施例中，所述电源电路包括：

21、第三电源，所述第三电源的输出端与所述初级线圈电连接。

22、本发明还提出了一种等离子体刻蚀装置，包括如上所述的等离子体刻蚀电路。

23、在一实施例中，所述等离子体刻蚀装置包括用于电离的密闭腔室，所述第一电极和所述第二电极分别设于所述密闭腔室的相对两侧上，所述密闭腔室的外侧接地。

24、本发明实施例通过采用电源电路产生高频电磁场，再输送至极性变换电路的输入端，并通过第一输出端输出至第一电极，并通过第二输出端输出至第二电极，且极性变换电路周期性变换输出至所述第一电极和第二电极的电源极性，通过电源极性的周期性变换，以使刻蚀腔室中的等离子体的扩散方向从单向变为双向，从而使蚀刻效率更高，且刻蚀腔室内的各电路板刻蚀均匀，蚀刻效果较好。

技术特征：

1.一种等离子体刻蚀电路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的等离子体刻蚀电路，其特征在于，所述电源电路包括极性相反的第一电源和第二电源；

3.根据权利要求2所述的等离子体刻蚀电路，其特征在于，所述开关选通电路包括：第一开关元件、第二开关元件、第三开关元件和第四开关元件；

4.根据权利要求2所述的等离子体刻蚀电路，其特征在于，所述第一电源为射频电源，所述第二电源为直流电源、射频电源或中频电源。

5.根据权利要求2所述的等离子体刻蚀电路，其特征在于，所述开关选通电路包括第一继电器电路和第二继电器电路；

6.根据权利要求1所述的等离子体刻蚀电路，其特征在于，所述电源电路用于输出交流电信号，所述极性变换电路包括：

7.根据权利要求6所述的等离子体刻蚀电路，其特征在于，所述电磁耦合器为变压器、互感器或旋转变压器。

8.根据权利要求6所述的等离子体刻蚀电路，其特征在于，所述电源电路包括：

9.一种等离子体刻蚀装置，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的等离子体刻蚀电路。

10.根据权利要求9所述的等离子体刻蚀装置，其特征在于，所述等离子体刻蚀装置包括用于电离的密闭腔室，所述第一电极和所述第二电极分别设于所述密闭腔室的相对两侧上，所述密闭腔室的外侧接地。

技术总结
本申请涉及等离子体刻蚀电路及装置，其中，等离子体刻蚀电路包括：电源电路，所述电源电路用于产生高频电磁场；极性变换电路，所述极性变换电路具有输入端、第一输出端和第二输出端，所述极性变换电路的输入端与所述电源的输出端连接，所述极性变换电路的第一输出端与第一电极电连接，所述极性变换电路的第二输出端与第二电极电连接，所述极性变换电路用于周期性变换输出至所述第一电极和第二电极的电源极性。本发明技术方案通过电源极性的周期性变换，以使刻蚀腔室中的等离子体的扩散方向从单向变为双向，从而使蚀刻效率更高，且刻蚀腔室内的各电路板刻蚀均匀，蚀刻效果较好。

技术研发人员：刘涛,乐卫平,宋成,张文杰,谢幸光,王霞,吴凤波
受保护的技术使用者：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/21