显微扫描装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种显微扫描装置，包含一光源、一影像感测模块以及一透镜组。光源用以产生一光线照射一对象以产生一影像光；影像感测模块用以接收来自对象的影像光以产生一影像信号；透镜组则设置于影像感测模块的一入光侧，用以会聚来自对象的影像光至影像感测模块，其中透镜组包含多个透镜，多个透镜的光轴彼此平行，且透镜组于对象端的一物高小于影像感测模块端的一像高。本实用新型的显微扫描装置具有放大成像的效果，经由连续的线性扫描，可得到大区域范围对象的显微扫描影像。
【专利说明】显微扫描装置
【技术领域】
[0001]本实用新型有关一种扫描装置，特别是一种显微扫描装置。
【背景技术】
[0002]由于产品尺寸的微小化，或是对于材料微观性质及结构的探讨，显微成像技术广泛的运用在材料分析、产品良率分析或是生医领域。然而，传统的显微成像，仅能得到小区域的影像，若需要大区域的观察，则需要大量的接图。例如，针对 χ?”的晶圆区域，可能会得到上百或上千张的图形，然后还要加以拼接，过程繁琐且容易产生误差。此外，传统的扫描装置皆为缩像系统，其是将较大的待扫描对象经由光学系统成像于较小的影像传感器，如图1所示，亦即物高Otl大于像高Itl,因此传统的扫描装置无法取得待扫描对象的细部扫描影像。
[0003]因此，发展一种能够获得大区域范围且高分辨率影像是目前亟需实现的目标。实用新型内容
[0004]本实用新型了提供了一种扫描装置，其具有放大成像的效果，经由连续的线性扫描，可得到大区域范围对象的显微扫描影像。
[0005]根据本实用新型的一实施例，一种显微扫描装置，包含一光源、一影像感测模块以及一透镜组。光源用以产生一光线照射一对象以产生一影像光；影像感测模块用以接收来自对象的影像光以产生一影像信号；透镜组则设置于影像感测模块的一入光侧，用以会聚来自对象的影像光至影像感测模块，其中透镜组包含多个透镜，多个透镜的光轴彼此平行，且透镜组于对象端的一物高小于影像感测模块端的一像高。
[0006]以下藉由具体实`施例配合附图详加说明，当更容易了解本实用新型的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1所示先前技术的扫描成像示意图。
[0008]图2所示为本实用新型一实施例的扫描装置的结构示意图。
[0009]图3所示为本实用新型另一实施例的扫描装置的结构示意图。
[0010]图4所示为本实用新型另一实施例的扫描装置的结构示意图。
[0011]符号说明
[0012]I 扫描装置
[0013]10 光源
[0014]20影像感测模块
[0015]30透镜组
[0016]31 透镜
[0017]40驱动模块[0018]50影像处理模块
[0019]10先前技术中的像高
[0020]O0先前技术中的物高
[0021]I影像
[0022]Ih像高
[0023]O物件
[0024]Oh物高
【具体实施方式】
[0025]请参考图2，图2所示为本实用新型一实施例的扫描装置的结构示意图。一种显微扫描装置1，包含一光源10、一影像感测模块20以及一透镜组30。光源用以产生一光线照射一对象O以产生一影像光，于一实施例中，光源10包含一发光二极管或冷阴极荧光灯(cold cathode fluorescent lamp, CCFL)。影像感测模块20用以接收来自对象的影像光以产生一影像信号。于一实施例中，影像感测模块20可为一线状影像传感器(linear imagesensor)，以接受线性扫描所得到的影像。透镜组30则设置于影像感测模块20的一入光侧，用以会聚来自对象O的影像光至影像感测模块20，得到一影像I ;其中透镜组30包含多个透镜31，多个透镜31的光轴彼此平行，且透镜组30为一放大光学系统，亦即较小的对象O经透镜组30光学放大后成像于影像感测模块20。换言之，透镜组30的光学系统于对象O端的一物高Oh小于影像感测模块20端的一像高IH。
[0026]根据上述架构，`本实用新型的显微扫描装置I为一放大成像系统，因此可获得显微影像。另外一方面，透过连续的线性扫描，可获得整个大区域范围的显微影像，免去了大量接图的过程，提升便利性跟准确性。于一实施例中，透镜组30的光学放大率介于4至100倍。
[0027]本实用新型主要应用于线性扫描的领域，扫描装置可具有不同类型的影像感测模块。于一实施例中，其中影像感测模块20可为一电荷耦合组件(CXD)、互补式金属氧化物半导体(CMOS)传感器或接触式影像传感器(CIS)。其中，CIS为线性传感器的一种，用以将文件、图像等等扫描为电子格式，以供储存利用。扫描时，可逐条扫描对象得到多个线性影像。最后经影像处理，可形成一完整图像。优点在于，CIS具有轻薄的特性。又于一实施例中，其中透镜组30可为一杆状透镜(rod lens)。杆状透镜(或称柱状透镜)，具有成光路径短的优点，可做为轻、薄的组件，因此通常用以搭配CIS。另外，CXD与CMOS则具有良好的影像质量，无论是影像处理或明暗效果的呈现，都有令人满意的表现，因此亦可作为本实用新型的影像感测模块。
[0028]另外，本实用新型的显微扫描装置I可运用于穿透式底稿或者是反射式底稿。如图2所示，于一实施例中，扫描反射式底稿的情况下，其中光源10以及影像感测模块20设置于对象O的相同侧，且影像感测模块20接收经对象O反射的影像光。至于穿透式底稿，如图3所示，于另一实施例中，其中光源10以及影像感测模块20设置于对象O的相异侧，且影像感测模块20接收透射对象O的影像光。
[0029]请参考图4，于一实施例中，还包含一驱动模块40，用以驱动影像感测模块20以及对象O彼此沿一扫描方向相对移动，以使影像感测模块20扫描对象O。例如，驱动模块可包含一步进马达，并可搭配一滚轮组使用。但不限于此，亦可藉由驱动对象O相对于影像感测模块20移动，以使影像感测模块20对对象O进行扫描成像。
[0030]请再参考图4，于一实施例中，还包含一影像处理模块50，其与影像感测模块20电性连接，用以对影像信号进行处理以形成一扫描影像。例如，影像处理模块可包含一计算机软件，透过计算机软件的辅助，可对于影像信号进行性质调整、迭图、分割或合并，以获得所
需的影像。
[0031]综合上述，本实用新型了提供了一种显微扫描装置，其具有放大成像的效果，经由连续的线性扫描，可得到大区域范围对象的显微扫描影像。
[0032]以上所述的实施例仅是为说明本实用新型的技术思想及特点，其目的在使熟悉本【技术领域】者能够了解本实用新型的内容并据以实施，当不能以的限定本实用新型的专利范围，即凡依本实用新型所揭示的精神所作的均等变化或修饰，仍应涵盖在本实用新型的专利范围内。
【权利要求】
1.一种显微扫描装置，其特征在于，包含: 一光源，其用以产生一光线照射一对象以产生一影像光； 一影像感测模块，其用以接收来自该对象的该影像光以产生一影像信号；以及一透镜组，其设置于该影像感测模块的一入光侧，用以会聚来自该对象的该影像光至该影像感测模块，其中该透镜组包含多个透镜，该多个透镜的光轴彼此平行，且该透镜组于该对象端的一物高小于该影像感测模块端的一像高。
2.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该光源包含一发光二极管或冷阴极荧光灯。
3.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该光源以及该影像感测模块设置于该对象的相同侧，且该影像感测模块接收经该对象反射的该影像光。
4.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该光源以及该影像感测模块设置于该对象的相异侧，且该影像感测模块接收透射该对象的该影像光。
5.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该透镜组包含一杆状透镜。
6.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，还包含一驱动模块，其用以驱动该影像感测模块以及该对象彼此沿一扫描方向相对移动，以使该影像感测模块扫描该对象。
7.如权利要求6所述的显微扫描装置，其特征在于，该驱动模块包含一步进马达。
8.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，还包含: 一影像处理模块，其与该影像感测模块电性连接，用以对该影像信号进行处理以形成一扫描影像。
9.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该影像感测模块包含一线状影像传感器。
10.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该影像感测模块包含一电荷耦合组件、互补式金属氧化物半导体传感器或接触式影像传感器。
【文档编号】H04N1/028GK203632744SQ201320650614
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年10月21日 优先权日:2013年10月21日
【发明者】杨景中 申请人:上海中晶科技有限公司