电容式麦克风的制作方法

本技术涉及麦克风，特别涉及一种电容式麦克风。

背景技术：

1、电容式麦克风（mems麦克风）主要还是采用电容式的原理，由一个振动膜和背极板组成，振动膜与背极板之间有一个几微米的间距，形成电容结构。高灵敏的振动膜感受到外部的音频声压信号后，改变振动膜与背极板间的距离，从而形成电容变化。mems麦克风后接asic芯片把电容变化转化成电压信号的变化，再放大后变成电输出。背极板除了与振动膜形成电容以外，还具有控制麦克风的频带，降低声学噪声等功能。它需要具有一定的刚度，不会因外部的振动或声压而形变。

2、高声压或高速气流会容易导致mems麦克风的振动膜破损，现有的mems麦克风通常会在振动膜中设计泄气孔或泄气阀结构；其中，泄气孔结构虽可有效避免振膜吹气破损，但易造成mems麦克风低频灵敏度下跌，影响产品性能；泄气阀结构弥补了泄气孔低频下跌的影响，但泄气阀的固支端较薄弱，吹气时易让泄气阀的固支端撕裂，从而导致mems麦克风容易破损失效。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提供一种电容式麦克风，旨在利用泄气结构实现振动膜及时泄气，不但可避免振动膜破损，而且泄气结构阻挡振动膜与背极板接触，提升电容式麦克风的低频性能。

2、为实现上述目的，本实用新型提出的一种电容式麦克风，所述电容式麦克风包括：

3、壳体，所述壳体设有内腔；

4、背极板，所述背极板设于所述壳体，并位于所述内腔中；

5、振动膜，所述振动膜设于所述壳体，并位于所述内腔中；所述振动膜与所述背极板间隔设置，并与所述内腔腔壁围合形成气室；及

6、至少一个泄气结构，所述泄气结构凸设于所述振动膜的一侧，所述泄气结构设有泄气通道，且所述泄气通道贯穿所述振动膜，并与所述气室连通，以使外界空气从所述泄气通道进入所述气室。

7、在一实施例中，所述泄气通道远离所述振动膜的一端朝向所述内腔腔壁设置。

8、在一实施例中，每一所述泄气结构包括泄气筒和与所述泄气筒的一端连接的顶盖，所述泄气筒远离所述顶盖的一端与所述振动膜连接，所述泄气筒与所述顶盖围合形成所述泄气通道，且所述泄气筒和所述顶盖在所述振动膜的正投影与所述泄气通道在所述振动膜的正投影重合。

9、在一实施例中，所述顶盖的横向截面面积大于所述泄气通道在所述振动膜的正投影的面积。

10、在一实施例中，所述泄气通道的纵向截面面积与所述泄气筒的纵向截面面积相同。

11、在一实施例中，每一所述泄气筒的宽度从靠近所述振动膜的一侧至远离所述振动膜的一侧的方向呈逐渐减小。

12、在一实施例中，所述泄气结构为泄气板，所述泄气板的一端与所述振动膜连接，所述泄气板的另一端在振动膜的上方，且所述泄气板呈倾斜设置，并形成有所述泄气通道，所述泄气板在所述振动膜的正投影与所述泄气通道在所述振动膜的正投影重合。

13、在一实施例中，所述泄气板为圆弧状板，并朝向所述内腔腔壁弯折设置。

14、在一实施例中，所述泄气通道的纵向截面形状为圆弧条状。

15、在一实施例中，所述电容式麦克风还包括多个泄气结构，多个所述泄气结构环绕所述振动膜的周缘间隔排布设置。

16、本实用新型技术方案的电容式麦克风包括壳体、背极板、振动膜及至少一个泄气结构，壳体设有内腔；背极板设于壳体，并位于内腔中；振动膜设于壳体，并位于内腔中；振动膜与背极板间隔设置，并与内腔腔壁围合形成气室；泄气结构凸设于振动膜的一侧，泄气结构设有泄气通道，且泄气通道贯穿振动膜，并与气室连通，以使外界空气从泄气通道进入气室；如此，泄气结构除了实现气室和外界环境连通，使得外界气压与气室的气压平衡，避免振动膜破损；鉴于泄气结构是凸设于振动膜上的立体结构，使得泄气结构可作为振动膜的一部分，即泄气结构也能随振动膜接收外界声音对其自身产生作用力，使得泄气结构也能产生相应的形变，让泄气结构能保持振动膜的敏感区域面积，从而提升电容式麦克风的低频性能，保证电容式麦克风正常使用。

技术特征：

1.一种电容式麦克风，其特征在于，所述电容式麦克风包括：

2.如权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于，所述泄气通道远离所述振动膜的一端朝向所述内腔腔壁设置。

3.如权利要求2所述的电容式麦克风，其特征在于，每一所述泄气结构包括泄气筒和与所述泄气筒的一端连接的顶盖，所述泄气筒远离所述顶盖的一端与所述振动膜连接，所述泄气筒与所述顶盖围合形成所述泄气通道，且所述泄气筒和所述顶盖在所述振动膜的正投影与所述泄气通道在所述振动膜的正投影重合。

4.如权利要求3所述的电容式麦克风，其特征在于，所述顶盖的横向截面面积大于所述泄气通道在所述振动膜的正投影的面积。

5.如权利要求3所述的电容式麦克风，其特征在于，所述泄气通道的纵向截面面积与所述泄气筒的纵向截面面积相同。

6.如权利要求5所述的电容式麦克风，其特征在于，每一所述泄气筒的宽度从靠近所述振动膜的一侧至远离所述振动膜的一侧的方向呈逐渐减小。

7.如权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于，所述泄气结构为泄气板，所述泄气板的一端与所述振动膜连接，所述泄气板的另一端在振动膜的上方，且所述泄气板呈倾斜设置，并形成有所述泄气通道，所述泄气板在所述振动膜的正投影与所述泄气通道在所述振动膜的正投影重合。

8.如权利要求7所述的电容式麦克风，其特征在于，所述泄气板为圆弧状板，并朝向所述内腔腔壁弯折设置。

9.如权利要求8所述的电容式麦克风，其特征在于，所述泄气通道的纵向截面形状为圆弧条状。

10.如权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于，所述电容式麦克风还包括多个泄气结构，多个所述泄气结构环绕所述振动膜的周缘间隔排布设置。

技术总结
本技术公开一种电容式麦克风，其中，所述电容式麦克风包括壳体、背极板、振动膜及至少一个泄气结构，所述壳体设有内腔；所述背极板设于所述壳体，并位于所述内腔中；所述振动膜设于所述壳体，并位于所述内腔中；所述振动膜与所述背极板间隔设置，并与所述内腔腔壁围合形成气室；所述泄气结构凸设于所述振动膜的一侧，所述泄气结构设有泄气通道，且所述泄气通道贯穿所述振动膜，并与所述气室连通，以使外界空气从所述泄气通道进入所述气室。本技术技术方案利用泄气结构实现振动膜及时泄气，不但可避免振动膜破损，而且泄气结构阻挡振动膜与背极板接触，提升电容式麦克风的低频性能。

技术研发人员：陈瑞言,邱冠勋,艾鹭
受保护的技术使用者：歌尔微电子股份有限公司
技术研发日：20230113
技术公布日：2024/1/12