专利名称：喷出装置及其控制方法、喷出方法、显微透镜阵列的制造方法以及光电装置的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种喷出树脂等的液态粘性物质的喷出装置及其控制方法、使用了该喷出装置的喷出方法、以及利用了该喷出方法的显微透镜阵列、滤色镜衬底以及光学装置的制造方法。
背景技术：
以往，在液晶显示装置中，为了有效地在象素区域中利用入射的光而使用的显微透镜阵列是用旋转涂布法在透明衬底上涂布了感光性树脂后，通过利用光刻对它刻膜后制造出来的。这里，如果用例如喷墨打印机以及喷墨绘图仪等采用的喷出方式把透明树脂(液态粘性物)喷成矩阵状后，使它固化后，形成显微透镜阵列，则能大幅度提高显微透镜阵列的生产效率。
另外，在用于用光连接芯片间的光互连装置中也使用了显微透镜阵列，在制造这样的显微透镜阵列时，如果以所述的喷出方式把透明树脂喷成矩阵状后，使它固化后，形成显微透镜阵列，能大幅度提高其生产效率。并且，如果根据所述的喷出方式，因为不需要金属模具和后加工，所以适合于制造各种光学零件。
并且，在液晶装置的滤色镜衬底中，以往用光刻技术形成着色层，但是，如果用上述的喷出方式制造着色层，就能提高滤色镜衬底的生产效率。
近年，使用了荧光性有机化合物的有机场致发光元件特别引人注目，但是在制造该有机场致发光元件时，以往通过使用金属掩模的部分蒸镀，在所定区域上形成荧光性有机化合物层。因此，很难实现高精细化、大面积化、生产效率的提高，但是，如果在形成这样的荧光性有机化合物层时，也使用所述的喷出方式，就能实现高精细化、大面积化、生产效率的提高。
然而，在显微透镜阵列等中，虽然要求在各显微透镜之间，在特性上不存在偏移，但是，在喷出装置的所有喷嘴的压力发生元件上外加同一驱动信号的结构中，在头的结构上无法避免由于喷嘴的位置而导致喷出的液态粘性物质的重量、喷出速度等中产生偏移。结果，发生不匀，无法形成均匀形状的显微透镜阵列或具有稳定特性的滤色镜衬底以及有机场致发光元件。
例如，在头上设置的多个喷嘴之间，在同一列内，由于把压力发生元件阵列接合到头的框体上的方法、头的框体的各部分的刚性的差等，根据喷嘴的位置，喷出的液态粘性物质的重量、喷出速度中会产生偏移。另外，在不同的列中，根据把压力发生元件阵列接合到头的框体的什么位置上，发热量是不同的，结果，根据喷嘴的位置，喷出的液态粘性物质的重量、喷出速度中会产生偏移。通过把这样的同一列内的偏移和列间的偏移超过了限度的不作为头使用，能在某种程度上防止这样的原因导致的喷出装置的喷出量的不匀等。可是，用这样的对策，不能在制造的头的检查阶段避免头的成品率的下降。另外，在同一喷出装置中有时也会更换头。
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供例如能以高精度形成显微透镜等的喷出装置、喷出方法、以及使用了它的显微透镜阵列、滤色镜衬底以及光电装置的制造方法。
发明内容
为了解决所述课题，在本发明的，一种用于向对象物喷出液态粘性物质的喷出装置中，其特征在于具有具有与多个喷嘴分别对应的多个压力发生元件的头；生成包含多个驱动脉冲的驱动信号的驱动信号生成机构；输出决定了把所述多个驱动脉冲中的哪一个外加到所述压力发生元件上的波形选择数据的控制机构；从所述多个驱动脉冲中选择所定的驱动脉冲，外加到所述压力发生元件上的开关机构。
在本发明中，根据从控制机构输出的波形选择数据，开关机构从公共的驱动信号中选择所定的驱动脉冲，外加到压力发生元件上，所以能修正液态粘性物质在喷嘴间的重量偏移。因此，当从各喷嘴喷出液态粘性物质时，一个点的重量在喷嘴间不存在偏移，所以能进行高精度的喷出。
另外，本发明的特征在于所述驱动信号的不同的多个周期中包含的多个驱动脉冲不同。通过采用这样的结构，能以更高的精度修正液态粘性物质的重量的偏移。
这里，当向所述对象物喷出所述液态粘性物质时，把所述驱动信号的多个周期可以设置为使所述液态粘性物质喷出的动作的单位。
并且，当向所述对象物喷出所述液态粘性物质时，对于所述驱动信号的特定的第一周期的特定周期的时间位置最好能把所述驱动信号的一个周期作为单位调整。
另外，在本发明中，当向所述对象物喷出所述液态粘性物质时，例如在所述驱动信号的一个周期内对一个所述压力发生元件外加所述驱动脉冲。
代替它，在本发明中，当向所述对象物喷出所述液态粘性物质时，也可以在所述驱动信号的多个周期中对一个所述压力发生元件外加所述驱动脉冲。
在本发明中，所述多个驱动脉冲分别具有以不同的重量喷出所述液态粘性物质的波形；所述开关机构根据所述波形选择数据，从所述多个驱动脉冲中选择一个脉冲，外加到所定的所述压力发生元件上。
代替它，在本发明中，所述多个驱动脉冲分别具有以不同的重量喷出所述液态粘性物质的波形；所述开关机构也可以根据所述波形选择数据，从所述多个驱动脉冲中选择多个脉冲，外加到所定的所述压力发生元件上。
在本发明中，所述控制机构具有例如，当向所述多个压力发生元件外加同一波形的驱动脉冲时，记录与从所述多个头分别喷出的所述液态粘性物质的重量的偏移对应的喷嘴数据的记录部；根据该记录部中记录的所述喷嘴数据，生成所述波形选择数据，并输出。
在本发明中，所述多个头与向所述压力发生元件外加同一波形的驱动脉冲时喷出的所述液态粘性物质的重量对应，把这些重量分为多个等级，把该分级的结果作为所述喷嘴数据记录到所述记录部中。
代替它，在本发明中，也可以是把所述喷嘴数据对于所述多个头分别记录在所述记录部中的结构。
在本发明中，也能采用为所述头提供了该头中形成的关于所述头的所述喷嘴数据，并且把该喷嘴数据从计测所述重量偏移的头检测装置输入到所述记录部中的结构。
作为本发明的喷出装置的控制方法，采用至少具有以下过程的方法使用第一驱动脉冲喷出液态粘性物质的第一过程；和根据喷出的所述液态粘性物质的喷出重量的测定结果，修正所述第一驱动脉冲的第二过程。
并且，在该喷出装置的控制方法中，也可以采用重复所述第一过程和所述第二过程，直到从喷出装置的各喷嘴喷出的所述液态粘性物质的喷出重量变为几乎均匀的方法。
另外，在本发明的喷出装置的控制方法中，具有在决定所述头上形成的所述多个头的各喷嘴数据时，当外加了成为基准的波形的驱动脉冲时的喷出重量从目标重量偏离时，决定喷出重量变为所述目标重量的波形的第一过程；把求出的波形的驱动信号外加到所述压力发生元件上，计测这时的喷出重量的的第二过程；和把该喷出重量和所述目标重量比较，当该喷出重量与所述目标重量一致时，确定所述喷嘴数据的第三过程；并且当该喷出重量从所述目标重量偏移时，再度重复所述第一过程、第二过程及第三过程。
这时，最好预先确定重复所述第一过程、第二过程以及所述第三过程的上限次数，当重复所述第一过程、所述第二过程以及所述第三过程到了该上限次数，还不能确定所述喷嘴数据时，则判断所述头为不合格品。
使用了本发明的喷出装置例如用于在作为所述对象物的衬底上，把用于形成多个显微透镜的树脂作为所述液态粘性物质喷出的显微透镜阵列的制造过程。
另外，使用了本发明的光电装置的制造方法包含在作为所述对象物的衬底上，把用于形成滤色镜的树脂作为所述液态粘性物质喷出的过程。
使用了本发明的喷出装置能用于在作为所述对象物的衬底上，把含有光电物质的液体作为所述液态粘性物质喷出的光电装置的制造过程中。这里，所述光电物质除了液晶，还可以是用于产生场致发光的荧光性有机化合物。
图1是表示本发明的一实施例的喷出装置的整体结构的简要立体图。
图2是图1所示的喷出装置的功能块图。
图3是表示图1所示的喷出装置的头的结构的分解立体图。
图4是用于说明头10的图，(A)是图3所示头中形成的致动器的剖视图，(b)是使用了(a)中表示的致动器的压力发生元件上外加的驱动信号的基本波形图。
图5是表示驱动信号生成部48的块图。
图6是表示在驱动信号生成部48中生成驱动信号中包含的驱动脉冲的过程的说明图。
图7是表示在驱动信号生成部48中使用数据信号，在存储器中设置电位差时的各信号的定时的定时图表。
图8是表示了本发明的一实施例的喷出装置中使用的公共驱动信号COM的波形、把该驱动信号COM中包含的各驱动脉冲外加到压力发生元件17上时从喷嘴211喷出的液态粘性物质的点的大小关系以及根据喷出数据SI从驱动信号COM中选择一个驱动脉冲外加到压力发生元件17上的方法的说明图。
图9(A)、(B)、(C)、(D)、(E)分别是表示图1所示的喷出装置中使用的公共驱动信号的波形、从公共驱动信号选择了第一驱动脉冲时外加在压力发生元件上的驱动信号的波形、从公共驱动信号选择了第二驱动脉冲时外加在压力发生元件上的驱动信号的波形、从公共驱动信号选择了第三驱动脉冲时外加在压力发生元件上的驱动信号的波形、以及从公共驱动信号选择了第四驱动脉冲时外加在压力发生元件上的驱动信号的波形的说明图。
图10是表示为多个头分别决定喷嘴数据的步骤的程序流程图。
图11是用图10所示的步骤决定喷嘴数据时使用的表格的说明图。
图12是表示本发明的其它实施例中使用的驱动信号的波形的说明图。
图13是表示驱动信号COM的每个周期中使脉冲变化时的驱动信号COM的波形的一个例子的说明图。
图14是显微透镜阵列的第一例的说明图。
图15是显微透镜阵列的第二例的说明图。
图16是模式地表示使用了滤色镜衬底的液晶装置的结构的剖视图。
图17(A)、(B)分别是表示图15所示的滤色镜衬底的各色配置的说明图。
图18是模式地表示在使用了有机场致发光的显示装置中，构成各象素的有机场致发光元件的结构的剖视图。
图19是模式地表示在使用了有机场致发光的显示装置中，构成各象素的有机场致发光元件的其它结构的剖视图。
图中，1-喷出装置；1A-装置主体；1B-计算机(控制机构)；2-X方向驱动电机；3-Y方向驱动电机；4-X方向驱动轴；5-Y方向引导轴5；6-头移动结构；7-台；8-清洁结构部；9-基台；10-头；11-头驱动电路；40-控制装置；43-接口；44-RAM；45-ROM；48-驱动信号生成部；49-接口；100A、100B-显微透镜阵列；CLK-时钟信号；COM-驱动信号；COM1～COM8-驱动脉冲；D-显微透镜；SI-喷出数据；W-对象物。
具体实施例方式
下面，参照附图，就本发明的实施例加以详细说明。
(喷出装置的整体结构)图1是表示本发明的一实施例的喷出装置的整体结构的简要立体图。图2是图1所示的喷出装置的功能块图。如图1所示，本实施例的喷出装置1例如由喷墨式喷出装置即喷出装置主体1A和计算机1B构成。
喷出装置主体1A具有头10、X方向驱动轴4、X方向驱动电机2、Y方向引导轴5、Y方向驱动电机3、控制装置40、台7、清洁结构部8以及基台9。另外，计算机1B具有能输入用喷出装置主体1A对于对象物W在哪个位置喷出液态粘性物质等的喷出条件的键盘71，并且，具有保存通过该键盘71或FD等记录媒体输入的喷出条件的记录部72，通过键盘71能选择、指示该记录部72中记录的喷出条件。另外，在记录部72中，如后所述，也记录了用于修正头10中设置的多个喷嘴间的喷出重量的偏差的喷嘴数据。
这里，因为喷嘴数据被提供给每个头10，所以在组装喷出装置1时，作业者例如通过键盘71把提供给搭载的头10的喷嘴数据输入到记录部72中。另外，当以条形码在头10上表示了喷嘴数据时，也可以光学地读取喷嘴数据，输入到记录部72中。如后所述，因为喷嘴数据是使在各头10中形成的头喷出液态粘性物质，通过计测其重量而决定的，所以也可以采用从计测该重量的偏移，并求出喷嘴数据的检查装置(省略了图示)直接输入到记录部72中的结构。
在喷出装置主体1A中，头10是用于把从储藏了树脂等液态粘性物质的罐(图中未显示)通过管道(液体供给路)提供的液态粘性物质从它的喷嘴喷出。在本实施例中，作为液态粘性物质处理了树脂等，但是树脂与打印机等使用的墨相比粘度要高很多。这里，在本实施例中，在罐、管道、头10中设置了加热器(省略了图示)，通过对液态粘性物质加热，使粘度下降。并且，本发明中使用的液态粘性物质的并不局限于粘性高的物质，例如也可以是墨水或含金属微粒的液状体。
台7用于装载成为液态粘性物质被喷出的对象的衬底W。具有把该衬底W固定在所定的位置的机构。X方向驱动轴4由圆头螺栓等构成，在端部与X方向驱动电机2相连。X方向驱动电机2是步进电动机，如果从控制装置40被提供了X轴方向的驱动信号，就使X方向驱动轴4回转。如果该X方向驱动轴4回转，头10就在X方向驱动轴4上沿着X方向移动。
Y方向引导轴5也由圆头螺栓等构成，固定在基台9上的所定位置上。该Y方向引导轴5上配置了台7，该台7具有Y方向驱动电机3。Y方向驱动电机3是步进电动机，如果从控制装置40向Y方向驱动电机3被提供了Y轴方向的驱动信号，台7把Y方向引导轴5引导沿着Y方向移动。使用相关的X方向驱动电机2和Y方向驱动电机3，构成了使头10移动到衬底W上的任意位置的头移动结构6。
在图2中，喷出装置主体1A的控制装置40具有从计算机1B接收喷出条件等的接口43、进行各种数据记录的RAM44、记录了用于进行各种数据处理的程序等的ROM45、由CPU等构成的装置主体一侧控制部46、振荡电路47、产生向头10提供的驱动信号COM的驱动信号生成部48、接口49。接口49向头10输出展开为点图形数据的喷出数据，并且把驱动信号输出到头移动结构6的X方向驱动电机2和Y方向驱动电机3。
在以上的喷出装置1中，如下所述，装置主体一侧控制部46和计算机1B作为喷出装置1的控制机构12起作用。在喷出装置1中，从计算机1B发出的喷出条件通过接口43被保持在喷出装置内部的接收缓存器44A中。保存在接收缓存器44A中的数据在进行了命令解析后被发送给中间缓存器44B。在中间缓存器44B内，保持了由装置主体一侧控制部46变换为中间代码的作为中间形式的数据，由装置主体一侧控制部46执行附加液态粘性物质的喷出位置等的信息的处理。接着，装置主体一侧控制部46解析中间缓存器44B内的数据、解码后，在输出缓存器44C中展开点图形数据，并记录。
如果取得了相当于头10的一次扫描量的点图形数据，则把该点图形数据通过接口49串行传送给头10。如果从输出缓存器44C输出了相当于一次扫描量的点图形数据，就删除中间缓存器44B的内容，进行接着的中间代码变换。
头10在所定的定时使从后述的各喷嘴喷出液态粘性物质，在驱动信号生成部48生成的驱动信号COM通过接口49输出到头10中。另外，使展开为点图形数据的喷出数据SI与来自振荡电路47的时钟信号CLK同步，通过接口49串行输出到头10中构成的头驱动电路11中。这里，展开为点图形数据的喷出数据SI包含了规定从头10上形成的哪个喷嘴喷出液态粘性物质的喷嘴选择数据，并且包含了规定在从各喷嘴喷出液态粘性物质时使用哪个驱动脉冲的波形选择数据。
头驱动电路11由以下部分构成第一移位寄存器13A、第二移位寄存器13B、第一门闩电路14A、第二门闩电路14B、解码器15、电平移动装置16、开关电路18(开关元件18-1、18-2、…18-N)以及控制逻辑19。另外，在开关电路18中，在开关元件18-1、18-2、…18-N的输出一侧连接了压电振子作为压力发生元件17(17-1、17-2、…17-N)。
在该头驱动电路11中，从控制装置40输出的喷出数据(SI)首先被串行传送到作为“串行/并行变换机构”的第一移位寄存器13A和第二移位寄存器13B中。这里，喷出数据的高位数据被输入第二移位寄存器13B中，低位数据被输入到第一移位寄存器13A中。
移位寄存器13A、13B上分别连接了作为“门闩机构”的第一门闩电路14A、第二门闩电路14B。如果来自喷出装置主体1A的门闩信号(LAT)输入到各门闩电路14A、14B中，门闩电路14A、14B分别锁住由移位寄存器13A、13B分别做了并行变换的喷出数据SI。因此，在第一门闩电路14A锁住了喷出数据SI的低位数据，在第二门闩电路14B中锁住了喷出数据SI的高位数据。这里，第一移位寄存器13A和第一门闩电路14A、第二移位寄存器13B和第二门闩电路14B分别构成“存储电路”，由这两个存储电路构成了“存储机构”。
由各门闩电路14A、14B锁住的喷出数据SI被输入到解码器15中。该解码器15根据来自控制逻辑19的信号，把2位的喷出数据SI翻译成4位的喷出数据SI。因此，解码器15和控制逻辑19构成了“翻译机构”。由解码器15翻译的喷出数据SI由电压放大器即电平移动装置16升压到能驱动开关电路18的电压例如数十伏特左右的所定的电压值。升压到所定的电压值的喷出数据SI被提供给作为“开关机构”的开关电路18。在开关电路18中，在各开关元件18-1、18-2、…18-N的输入一侧外加了来自驱动信号生成部48的驱动信号COM，在各开关元件18-1、18-2、…18-N的输出一侧连接了压力发生元件17(17-1、17-2、…17-N)。
喷出数据SI在各开关元件18-1、18-2、…18-N中控制开关电路18的动作。例如在加在各开关元件18-1、18-2、…18-N上的喷出数据SI为“1”的期间中，驱动信号COM被外加到压力发生元件17(17-1、17-2、…17-N)上，按照该驱动信号COM，压力发生元件17伸缩。而在加在各开关元件18-1、18-2、…18-N为“0”的期间中，遮断了向压力发生元件17的驱动信号COM的供给。
这里，来自控制装置40的喷出数据SI对于各喷嘴，例如象(10)、(01)等，由高位的位1和低位的位0的合计两位数据构成。而且，关于所有的喷嘴的位0的数据被输入到第一移位寄存器13A中，关于所有的喷嘴的位1的数据被输入到第二移位寄存器13B中。输入到各移位寄存器13A、13B中的各喷嘴的喷出数据SI被各门闩电路14A、14B锁住，输入到解码器15中。解码器15根据来自控制逻辑19的信号，把2位的喷出数据SI变换为4位的喷出数据SI。然后，当加在开关电路18的各开关元件18-1、18-2、…18-N上的位数据为“1”时，在压力发生元件17-1、17-2、…17-N上直接外加驱动信号COM，各压力发生元件17-1、17-2、…17-N按照驱动信号COM的波形发生位移。而当加在开关电路18的各开关元件18-1、18-2、…18-N上的位数据为“0”时，向各压力发生元件17-1、17-2、…17-N的驱动信号COM被遮断，各压力发生元件17-1、17-2、…17-N保持之前的电荷。
(头10的结构)图3是表示图1所示的喷出装置的头的结构的分解立体图。另外，图4是用于说明头10的图，(A)是图3所示头中形成的致动器的剖视图，(b)是使用了(a)中表示的致动器的压力发生元件上外加的驱动信号的基本波形图。例如，如图3和图4所示，头10具有喷嘴形成板210、压力发生室形成板220以及振动板230。压力发生室形成板220具有压力发生室221、侧壁(隔离壁)222、容器223以及导入路224。压力发生室形成板220通过蚀刻硅等的衬底，形成了压力发生室221，压力发生室221成为贮藏喷出之前的液态粘性物质的空间。侧壁222分隔了压力发生室221，容器223成为用于把液态粘性物质填充到各压力发生室221中的流路。导入路224能从容器223把液态粘性物质导入到各压力发生室221中。
喷嘴形成板210与压力发生室形成板220的一面通过有机类或无机类的粘合剂贴合在一起，使喷嘴211位于与压力发生室形成板220上形成的压力发生室221分别对应的位置。贴合了喷嘴形成板210的压力发生室形成板220被收藏在框体225中，构成头10。振动板230由能发生弹性变形的薄板构成，与压力发生室形成板220的另一面通过有机类或无机类的粘合剂贴合在一起。在振动板230的与压力发生室221的位置对应的部分设置了作为压力发生元件17的压电振子(PZT)。
这里，压力发生元件17并不局限于纵横振动效果的PZT，也可以是挠性的PZT。另外，作为压力发生元件17并不局限于压电振子，也可以使用例如磁致伸缩振子等其它元件。另外，也可以采用通过加热器等热源对液态粘性物质加热，通过加热产生的气泡使压力变化的结构。重要的是只要是按照外部提供的信号使后述的压力发生室内压力发生变动的元件，就可以了。
(驱动脉冲的基本波形)下面，参照图4(B)，就构成驱动信号COM的驱动脉冲的基本波形加以说明。在图4(B)中，用于使压力发生元件17工作的驱动信号COM基本上它的电压值从中间电位Vm开始后(保持脉冲311)，从时刻T1到T2，以一定的斜率上升到最大电位VPS(充电脉冲312)，从时刻T2到时刻T3，只在所定的时间内维持最大电位VPS(保持脉冲313)。接着，从时刻T3到时刻T4之间，以一定的斜率下降到最低电位VLS后(放电脉冲314)，从时刻T4到T5只在所定的时间内维持最低电位VLS(保持脉冲315)。然后，从时刻T5到时刻T6以一定的斜率上升到中间电位Vm(充电脉冲316)。
因此，在图4(A)、(B)中，如果在压力发生元件17上外加了充电脉冲312后，则压力发生元件17弯向使压力发生室221的容积膨胀的一方，使压力发生室221中产生负压力。结果，液面从喷嘴211退开。接着，如果外加放电脉冲314，发生元件17向着使压力发生室221的容积收缩的方向弯曲，在压力发生室221产生了正压力。结果，从喷嘴211喷出液滴。而且，在外加了保持脉冲315后，外加充电脉冲316，抑制液面的振动。因此，例如最大电位VPS越高，或放电脉冲314的斜率越陡，从喷嘴211喷出的液态粘性物质的一个点的重量越大。
(驱动信号生成部48的结构)下面，参照图5～图7就驱动信号生成部48加以说明。图5是表示驱动信号生成部48的块图。图6是表示在驱动信号生成部48中生成驱动信号中包含的驱动脉冲的过程的说明图。图7是表示在驱动信号生成部48中使用数据信号，在存储器中设置电位差(ΔV)时的各信号的定时的定时图表。
如图5所示，驱动信号生成部48具有接收、记录来自装置主体一侧控制部46的信号的存储器81；读出该存储器81的内容，临时保存的第一门闩82；把该第一门闩82的输出与后述的另一个第二门闩84的输出相加的加法器83；把第二门闩84的输出变换为模拟数据的D/A转换器86；把变换的模拟信号放大到驱动信号的电压的电压放大部88；对于从电压放大部88输出的驱动信号的电流放大器89。
存储器81是记录决定了驱动信号COM的所定的参数的波形数据据记录部。驱动信号COM的波形由预先从装置主体一侧控制部46接收的所定的参数决定。即驱动信号生成部48接收时钟信号801、802、803、数据信号830、地址信号810、811、812、813、复位信号820以及允许信号840。
在这样构成的驱动信号生成部48中，如图6所示，在生成驱动信号COM之前，使表示装置主体一侧控制部46的电压变化量的几个数据信号和该数据信号的地址与时钟信号801同步，输出到驱动信号生成部48的存储器81中。如图7所示，数据信号830通过与时钟信号801同步的串行传送，进行数据的交换。
即当从装置主体一侧控制部46传送所定的电压变化量时，首先，与时钟信号801同步输出多位的数据信号，然后，把存储了该数据的地址与允许信号840同步，作为地址信号810～813输出。存储器81在输出了该允许信号840的定时读取地址信号，把接收的数据写入该地址中。因为地址信号810～813是4位信号，所以最多能在存储器81中记录16种的电压变化量。并且，把数据的高位的位作为符号使用。另外，所述地址信号810～813的位数不局限于4位，也可以设置为5位。即通过进一步增加地址信号810～813的位数，能在存储器81中记录超过16种的电压变化量，因此能增大电压变化量的设置范围。
对各地址A、B、…的电压变化量的设置结束后，例如，如果把地址B输入到地址信号810～813中，根据最初的时钟信号802，由第一门闩电路82保持了与该地址B对应的电压变化量ΔV1。在该状态下，接着如果输出了时钟信号803，在第二门闩电路84中加上了第一门闩电路82的输出后得到的值被第二门闩电路84保持。即如图6所示，一旦选择了与地址信号对应的电压变化量，之后，当接收时钟信号803时，第二门闩电路84的输出随着该电压变化量增减。根据存储器81的地址B中存储的电压变化量ΔV1和时钟信号803的单位时间ΔT决定驱动波形的通过率。并且由各地址中存储的数据的符号决定是增加还是减少。
在图6所示的例子中，在地址A中，存储了值0作为电压变化量即维持电压时的值。因此，根据时钟信号802，如果地址A有效，则驱动信号的波形保持没有增减的平的状态。另外，在地址C中为了决定驱动波形的通过率，存储了单位时间ΔT的电压变化量ΔV2。因此，根据时钟信号802，地址C变得有效后，电压每次下降ΔV2。这样，通过从装置主体一侧控制部46输出地址信号和时钟信号，就能自由地控制驱动信号COM的波形，在本实施例中，如图8所示，作为驱动信号COM，生成了在一个喷出周期内包含四个驱动脉冲的驱动信号COM。
图8是表示了本发明的一实施例的喷出装置中使用的公共驱动信号COM的波形、把该驱动信号COM中包含的各驱动脉冲外加到压力发生元件17上时从喷嘴211喷出的液态粘性物质的点的大小关系以及根据喷出数据SI从驱动信号COM中选择一个驱动脉冲外加到压力发生元件17上的方法的说明图。另外，图9(A)、(B)、(C)、(D)、(E)分别是表示图1所示的喷出装置中使用的公共驱动信号COM的波形、从公共驱动信号COM选择了第一驱动脉冲时外加在压力发生元件17上的驱动信号的波形、从公共驱动信号选择了第二驱动脉冲时外加在压力发生元件17上的驱动信号的波形、从公共驱动信号选择了第三驱动脉冲时外加在压力发生元件17上的驱动信号的波形、从公共驱动信号选择了第四驱动脉冲时外加在压力发生元件17上的驱动信号的波形的说明图。
如图8所示，驱动信号COM中一个喷出周期包含四个驱动脉冲COM1、COM2、COM3、COM4，第一驱动脉冲COM1、第二驱动脉冲COM2、第三驱动脉冲COM3使参照图4(B)说明的最大电位VPS按照第一驱动脉冲COM1、第二驱动脉冲COM2、第三驱动脉冲COM3的顺序变低。因此，当在同一压力发生元件17上外加第一驱动脉冲COM1、第二驱动脉冲COM2、第三驱动脉冲COM3时，从喷嘴喷出的液态粘性物质的一个点的重量变为“大”、“中”、“小”。
因此，对于第一驱动脉冲COM1、第二驱动脉冲COM2、第三驱动脉冲COM3，能分别用大点脉冲、中点脉冲、小点脉冲表示。这里，重量是“大”、“中”、“小”，例如有数％的左右的差。并且，第四驱动脉冲COM4是用于使喷嘴211附近的液态粘性物质微振动，防止液态粘性物质的粘度增大和固化，根据该第四驱动脉冲COM4不会使液态粘性物质喷出。因此，第四驱动脉冲COM4能表示为“微振动脉冲”。
下面，参照图8和图9，说明从具有以上结构的驱动信号COM中选择第一驱动脉冲COM1(大点脉冲)、第二驱动脉冲COM2(中点脉冲)、第三驱动脉冲COM3(小点脉冲)，防止喷嘴间的喷出重量的偏移的方法。这里，正如参照图2说明的那样，在本实施例中，在从解码器15外加到开关电路18上的喷出数据SI的位为“1”的期间中，在压力发生元件17上外加了驱动信号COM，压力发生元件17按照驱动信号COM的波形伸缩。而当喷出数据为“0”的期间中，向压力发生元件17的驱动信号COM的供给被遮断，压力发生元件17保持了之前的状态。因此，如果使喷出数据SI的位与第一～第四驱动脉冲COM1～COM4的发生定时同步，则能选择第一～第四驱动脉冲COM1～COM4中的任意一个，外加到压力发生元件17上。
这里，在本实施例中，当外加了同一驱动脉冲时，为了消除喷出重量比平均少的喷嘴211、以平均重量喷出的喷嘴211以及喷出量比平均多的喷嘴211之间的喷出重量的偏移，分别在喷出重量比平均少的喷嘴211所对应的压力发生元件17上外加第一驱动脉冲COM1(大点脉冲)、在以平均重量喷出的喷嘴211所对应的压力发生元件17上外加第二驱动脉冲COM2(中点脉冲)、在喷出重量比平均多的喷嘴211所对应的压力发生元件17上外加第三驱动脉冲COM3(小点脉冲)。
将在后面描述适用这样的驱动方法的过程，但是，在头10上形成的各压力发生元件17上外加同一波形的驱动脉冲，预先计测从各喷嘴211喷出的液态粘性物质的一个点的重量。然后，从该计测结果把各喷嘴211分为喷出重量比平均少的组、喷出了平均重量的组、喷出重量比平均多的组，把该分组结果作为喷嘴数据输入到计算机1B种。这里输入的喷嘴数据被记录在计算机1B的记录部72中。
然后，在计算机1B中，当指定了对于对象物的液态粘性物质的喷出图形时，该喷出图形与记录在记录部72中的喷嘴数据一起被作为喷出条件输出到喷出装置主体1A中。然后，在喷出装置主体1A中，当由装置主体一侧控制部46把喷出图形展开为点图形数据时，在喷出数据S1中附加与喷嘴数据对应，规定了应外加驱动信号COM中包含的驱动脉冲COM1～COM4中的哪个驱动脉冲的波形选择数据。这里，波形选择数据表示为2位的喷出数据(00)、(01)、(10)、(11)，该2位的喷出数据由解码器15翻译为4位数据，使该4位数据与驱动信号COM中包含的驱动脉冲COM1～COM4的发生同步。
例如，2位数据(00)由解码器15解码为4位数据(1000)的结果是在驱动与该数据对应的喷嘴211的压力发生元件17上，如图9(B)所示，只外加了第一驱动脉冲COM1。另外，2位数据(01)由解码器15解码为4位数据(0100)的结果是在驱动与该数据对应的喷嘴211的压力发生元件17上，如图9(C)所示，只外加了第二驱动脉冲COM2。
再如，2位数据(10)由解码器15解码为4位数据(0010)的结果是在驱动与该数据对应的喷嘴211的压力发生元件17上，如图9(D)所示，只外加了第三驱动脉冲COM3。另外，2位数据(11)由解码器15解码为4位数据(0001)的结果是在驱动与该数据对应的喷嘴211的压力发生元件17上，如图9(E)所示，只外加了第四驱动脉冲COM4。
这样，如果给各驱动脉冲COM1～COM4各分配1位的数据，构成喷出数据SI，能根据各位的值，只选择所希望的驱动脉冲COM1～COM4。因此，在本实施例中，当外加同一驱动脉冲时，因为能在喷出重量比平均少的喷嘴211所对应的压力发生元件17上外加第一驱动脉冲COM1(大点脉冲)、在以平均重量喷出的喷嘴211所对应的压力发生元件17上外加第二驱动脉冲COM2(中点脉冲)、在喷出重量比平均多的喷嘴211所对应的压力发生元件17上外加第三驱动脉冲COM3(小点脉冲)，所以能使从喷嘴211喷出的液态粘性物质的一个点的重量平均化。因此，当制造后述的显微透镜阵列等时，在各显微透镜的透镜特性中也不发生偏移。
(喷嘴数据的决定方法)下面，参照图10和图11，说明在头检查装置中，决定头的各喷嘴数据的方法。并且，在该检查装置中，搭载了CPU、RAM以及ROM等，根据ROM中存储的程序进行了以下的过程。
图10是表示为多个头分别决定喷嘴数据的步骤的程序流程图。另外，图11是用图10所示的步骤决定喷嘴数据时使用的表格的说明图，表示了最高电压不同的各种波形的驱动脉冲和在压力发生元件上外加了该驱动脉冲时从头喷出的液态粘性物质的重量的关系。在本实施例中，在进行图10所示的各过程前，如图11所示，生成了表示最高电压VH从19.2V到20.8V的以0.2V的间隔变化的各种波形的驱动脉冲和在压力发生元件上外加了驱动脉冲时从喷嘴211喷出的液态粘性物质的重量的关系的表格。
而且，在图10中，在开始喷嘴数据的决定作业时，把后述的表示重复数的变量n设置为“1”等，初始化各参数(步骤ST1)。接着，在压力发生元件上外加最高电压VH例如20.0V的波形的驱动脉冲，计测这时从喷嘴喷出的重量Iw(步骤ST2)。接着，在步骤ST3中，确认喷出重量Iw是否为10.0ng(目标重量)，当喷出重量Iw为10.0ng时，确定喷嘴ID为“5”(步骤ST4)。
而当判断出步骤ST3中的喷出重量Iw从目标重量的10.0ng偏离时，从图11所示的表格中在最高电压VH为20V的列中找出该喷出重量Iw的喷嘴ID，用该喷嘴ID找出喷出重量Iw’变为目标重量的10.0ng的最高电压VH(步骤ST5第一过程)。例如，当在步骤ST2中，在压力发生元件上外加了最高电压VH为20V的波形的驱动脉冲时，从头喷出的重量Iw为9.6ng时，因为在最高电压VH为20V的列中，喷出重量Iw为9.6ng的喷嘴的ID是“3”(参照框B)，所以决定喷出重量Iw’变为目标重量的10.0ng的最高电压VH为20.4V(参照框C)。
接着，把最高电压VH为20.4V的波形的驱动脉冲外加到压力发生元件上，计测这时从头喷出的重量Iw”(步骤ST6第二过程)。接着，在步骤ST7中，确认喷出重量Iw”是否为目标重量的10.0ng，当喷出重量Iw”为10.0ng时，确定喷嘴ID例如为“3”(步骤ST8第三过程)。而当在步骤ST7中，判断喷出重量Iw”不是目标重量的10.0ng时，在步骤ST9中确认重复数n是否为S，当重复数n不是S时，把重复数n加1(步骤ST10)，再度返回步骤ST5。
然后，尽管在压力发生元件上外加了最高电压VH为20.4V的波形的驱动脉冲，但是，当从头喷出的重量Iw是9.8ng时，因为在最高电压VH为20.4V的列中，喷出重量Iw为9.8ng的喷嘴ID是“2”(参照框D)，所以用该喷嘴ID决定喷出重量Iw变为10.0ng的最高电压VH为20.6V(参照框D)。
接着，把求出的最高电压VH为20.6V波形的驱动脉冲外加在再度压力发生元件上，计测这时从头喷出的重量Iw(步骤ST6)。接着，在步骤ST7中，确认喷出重量Iw是否为目标重量的10.0ng，当喷出重量Iw为10.0ng时，确定喷嘴ID例如为“2”(步骤ST8)。而当在步骤ST7中，判断喷出重量Iw不是10.0ng时，在步骤ST9中确认重复数n是否为S，当重复数n不是S时，把重复数n加1，再度返回步骤ST5，重复同样的过程。
另外，当在步骤ST10中，重复数n为S时，在步骤ST11中，判断头为不合格品(步骤ST11)，结束喷嘴数据的决定作业(步骤ST12)。因此，常数S规定了重复数n的上限。这样，对于一个头10上形成的多个喷嘴211分别求出喷嘴ID，如果在压力发生元件上外加具有与该喷嘴ID对应的最高电压VH的波形的驱动脉冲(参照图8和图9)，能从所有的喷嘴211喷出10.0ng的液态粘性物质。
这里，可以把喷嘴ID自身作为喷嘴数据使用，但是在本实施例中，象参照图8和图9说明过的，使用了包含最高电压VH不同的三个驱动脉冲COM1、COM2、COM3的驱动信号COM。因此，如图11所示，把喷嘴ID“1”～“9”分组为组1、2、3，把属于组1、2、3中的哪个组作为喷嘴数据使用。因此，对于喷嘴ID“1”～“3”的喷嘴211，当外加同一驱动脉冲时，作为喷出重量比平均少的，分级为组1，属于该组1的头用最高电压VH为20.6V的波形的第一驱动脉冲COM1(大点脉冲)驱动。
另外，如图11所示，对于喷嘴ID“4”～“6”的喷嘴211，当外加同一驱动脉冲时，作为以平均重量喷出的，分级为组2，属于该组2的头用最高电压VH为20.0V的波形的第二驱动脉冲COM2(中点脉冲)驱动。如图11所示，对于喷嘴ID“7”～“9”的喷嘴211，当外加同一驱动脉冲时，作为喷出重量比平均多的，分级为组3，属于该组3的头用最高电压VH为19.4V的波形的第三驱动脉冲COM3(小点脉冲)驱动。
(其它的实施例)另外，在所述实施例中，使用了在驱动信号的一个周期内，作为喷出用的驱动脉冲，包含三个驱动脉冲COM1、COM2、COM3的驱动信号COM，但是，关于脉冲的数量并不局限于三个。例如，也可以使用在一个周期内包含9个脉冲的驱动信号COM。这时，如果不把喷嘴211分组，而是把提供给各喷嘴211的喷嘴ID(“1”～“9”)自身作为喷嘴数据使用，因为能外加更适合于各喷嘴211的特性的驱动偏压，所以能更准确地消除喷嘴间的喷出重量的偏移。
另外，在所述实施例中，是在驱动信号COM的一个周期内，从其中包含的三个驱动脉冲COM1、COM2、COM3中选择一个脉冲的结构，但是，也可以根据喷嘴数据，选择多个驱动脉冲，喷出点。并且，在所述实施例中，是在驱动信号COM的一个周期内，从三个驱动脉冲COM1、COM2、COM3中选择一个脉冲的结构，但是，如图12所示，也可以是跨驱动信号COM的多个周期，例如两个周期，选择一个脉冲，或多个脉冲，喷出点的结构。图12是表示本发明的其它实施例中使用的驱动信号的波形的说明图。
在图12所示的例子中，驱动信号COM的一个周期的时间中包含的驱动脉冲COM1～COM4的波形中，如果使相邻的两个周期的波形重合，就是一致的波形。可是，也可以使驱动信号COM的一个周期的时间中包含的脉冲的波形随着每个驱动信号COM的周期而变化。图13是作为驱动信号COM的每个周期中使脉冲变化时的驱动信号COM的波形的一个例子，是表示相邻的两个周期之间使脉冲波形变化的驱动信号COM的波形的说明图。并且，这样，不只是在两个周期之间使脉冲波形变化，当然也可以跨多个周期使脉冲波形变化。
在图13所示的例子中，在t1～t2的期间T10的驱动信号COM的波形是与图12所示的波形同样的波形，即是包含了驱动脉冲COM1～COM4的波形。可是，在在t2～t3的期间T11的驱动信号COM的波形与期间T10的驱动信号COM的波形不同，变为包含驱动脉冲COM5～COM8的波形。如上所述，第一驱动脉冲COM1～第三驱动脉冲COM3是按照第一驱动脉冲COM1、第二驱动脉冲COM2、第三驱动脉冲COM3的顺序把最大电位VPS降低设置，第四驱动脉冲COM4是用于使喷嘴211附近的液态粘性物质微振动，防止液态粘性物质的粘度增大和固化。可是，图13所示的驱动脉冲COM5～驱动脉冲COM7并不遵守使其最大电位VPS象第一驱动脉冲COM1～第三驱动脉冲COM3按顺序降低的规则性，而是按与此不同的规则性，使其具有波形形状，设置为任意的波形形状。
之所以象这样在驱动信号COM的每个周期中使驱动信号COM的波形不同，是为了以高精度修正从各喷嘴211喷出的点的喷出重量的偏移，确保稳定的喷出量，并且，提高喷出重量的分解度。即当使用了图12所示的驱动信号COM时，当在多个周期中选择了同一脉冲时只能得到大点脉冲、中点脉冲、小点脉冲的整数倍的喷出重量。另外，当使用了图12所示的驱动信号COM时，只能得到用大点脉冲、中点脉冲、小点脉冲的组合得到的喷出重量，对于修正喷嘴间的喷出重量的偏移，并且提高分解度是不够的。
而在本实施例中，如图13所示，在驱动信号COM的一个周期中生成波形不同的驱动信号COM，能喷出用大点脉冲、中点脉冲、小点脉冲喷出的重量以外的重量。按照预先测定的喷嘴的喷出重量的偏移，设置选择多个周期中包含的脉冲的哪一个。因此，能稳定地以高精度修正喷嘴的喷出重量的偏移。
另外，当在多个周期中选择了任意的脉冲时，因为喷出重量的组合的种类增多了，所以能提高分解度。在图13所示的例子中，可以从期间T10所包含的三个驱动脉冲COM1、COM2、COM3中选择多个脉冲，并且，在期间T11所包含的三个驱动脉冲COM5、COM6、COM7中选择多个脉冲喷出点。如上所述，通过按照喷嘴重量的偏移变更脉冲的组合，能稳定地以高精度修正各喷嘴的喷出重量的偏移，作为结果，能以高精度形成显微透镜等。
并且，如图13所示，当从期间T10和期间T11中分别选择一个(或多个)脉冲，喷出液态粘性物质时，可以把期间T10的驱动信号COM作为基准，控制包含与期间T10所包含的驱动脉冲COM1～COM3不同的驱动脉冲COM5～COM7的期间T11的时间位置。即例如当以一定的速度使头移动，从各喷嘴喷出液态粘性物质时，通过对于期间T10，调整期间T11的时间位置，能使各期间中喷出的液态粘性物质的喷出位置不同。结果，因为对于液态粘性物质的喷出区域，几乎能均匀地喷出的液态粘性物质，所以特别适合于制造高精度的滤色镜、显微透镜等。在图12和图13所示的例子中，把驱动信号COM的一个周期作为使液态粘性物质喷出的动作的单位，但是，也可以把驱动信号COM的多个周期组合的期间作为使液态粘性物质喷出的动作的单位。
图14和图15分别是使用图1所示的喷出装置1制造的光互连装置用的显微透镜阵列的说明图。在喷出装置1中，如果从头10向图14和图15所示的由透明衬底构成的对象物W的所定的位置喷出透明树脂(液态粘性物质)后，进行紫外线固化，在透明衬底的所定位置上形成所定大小的显微透镜D，就能制造光互连装置用的显微透镜阵列100A、100B。
这里，在图14所示的显微透镜阵列100A中，显微透镜D在X方向和Y方向排列为矩阵状。另外，在图15所示的显微透镜阵列100B中，在X方向和Y方向不规则地分散形成了显微透镜D。并且，显微透镜阵列除了光互连装置，还被用于液晶面板中，但是，当制造该液晶装置用的显微透镜时，如果使用适用了本发明的喷出装置，就没有必要使用光刻技术，所以能提高显微透镜阵列的生产效率。
图16是模式地表示使用了图1所示的喷出装置1制造的滤色镜衬底的液晶装置的结构的剖视图，图17(A)、(B)分别是表示滤色镜衬底的各色配置的说明图。在图16中，液晶装置300中，滤色镜衬底350和TFT阵列衬底360通过所定的间隙贴合在一起，并且，在这些衬底之间密封了作为光电物质的液晶370。在TFT阵列衬底360中，在透明衬底361的内侧的面上把象素开关用的TFT(图中未显示)以及象素电极362配置为矩阵状，在其表面上形成了定向膜363。而在滤色镜衬底350中，在透明衬底351上，在与象素电极362相对的位置形成了R、G、B的滤色镜层320R、320G、320B，在其表面上形成了平坦化膜353、相对电极354、定向膜355。
在滤色镜衬底350中，滤色镜层320R、320G、320B的周围被一层或阶梯状的隔板352包围，并且在该隔板352的内侧形成。这里，滤色镜层320R、320G、320B配置为图17(A)所示的三角形配列或图17(B)所示的成组排列等所定的布局。
在制造这样的结构的滤色镜衬底350时，首先在透明衬底351的表面上形成了隔板352后，使用参照图1说明了的喷出装置1，向各隔板352的内侧供给了所定颜色的树脂(液态粘性物质)后，使其紫外线固化或热固化，形成滤色镜层320R、320G、320B。因此，不用光刻技术就能形成滤色镜层320R、320G、320B，从而能提高滤色镜衬底350的生产效率。
图18是模式地表示在使用了有机场致发光的显示装置中，构成各象素的有机场致发光元件的结构的部分剖视图。在图18所示的发光装置400中，在衬底401上形成了显示元件412，在其上形成形成了密封部(省略了图示)。衬底401是在由玻璃构成的透明的基体403上形成了电路元件部404的结构。
在所述电路元件部404中，在衬底401上形成了由氧化硅构成的衬底保护膜405，在该衬底保护膜405上形成了由多晶硅构成的岛状的半导体膜406。在电路元件部404上形成了具有以下结构的薄膜晶体管407。在半导体膜406上通过高浓度P离子的注入形成了源极区域406a和漏极区域406b。另外，未导入P离子的部分成为沟道区域406c。
在电路元件部404上形成了覆盖衬底保护膜405和半导体膜406的透明的绝缘栅膜408，在该绝缘栅膜408上形成了由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极409，在该栅电极409和绝缘栅膜408上形成了第一层间绝缘膜410和第二层间绝缘膜411。栅电极409设置在与半导体膜406的沟道区域406c对应的位置。
在第一、第二层间绝缘膜410、411上形成了与半导体膜406的源极、漏极区域406a、406b分别相连的接触孔412、413。在第二层间绝缘膜411上形成的接触孔412与第二层间绝缘膜411上设置的象素电极414相连。在第一层间绝缘膜410上形成的接触孔413与电源线415相连。
显示元件402具有多个象素电极414、在其上设置的发光元件部416、在其上设置的阴极417(相对电极)。象素电极414例如由ITO形成，在俯视图中形成了近似矩形的形状。该象素电极414的厚度最好在50～200nm的范围中，特别是150nm左右。发光元件部416以象素电极414上分别形成的功能层418、划分各功能层418的隔板部419为主体构成。
所述功能层418由以下部分构成在象素电极414上层叠的空穴注入/输送层418a、和在空穴注入/输送层418a上与之相邻形成的发光层418b。使用适用了本发明的喷出装置形成该功能层418。空穴注入/输送层418a是用于提高发光层418b的发光效率、寿命等的元件特性，具有把空穴注入发光层418b中的功能，并且具有把空穴在空穴注入/输送层418a内部输送的功能。作为空穴注入/输送层418a的材料，能适用例如聚乙烯二羟基噻吩等聚噻吩的衍生物和磺化聚苯乙烯等的混合物。
发光层418b使从空穴注入/输送层418a注入的空穴和从阴极417注入的电子再结合，得到发光。并且，发光层418b由红色发光层R、绿色发光层G和蓝色发光层B构成。作为该发光层418b的材料，能使用有机发光材料，例如三(8-羟基喹啉)铝络合物(Alq)。
无机物隔板部419由位于衬底401一侧的无机物隔板层419a(第一隔板层)和位于离开衬底401的位置的有机物隔板层419b(第二隔板层)层叠构成。无机物隔板层419a的一部分和有机物隔板层419b的一部分在象素电极414的周缘部上形成。即无机物隔板层419a与象素电极414的周缘部平面重叠形成。有机物隔板层419b也同样在与象素电极414的周缘部平面重叠的位置上形成。无机物隔板层419a比有机物隔板层419b更靠象素电极414的中央一侧。
所述无机物隔板层419a最好由例如SiO2、TiO2等无机材料构成。该无机物隔板层419a的厚度在50～200nm的范围中，最好是150nm左右。有机物隔板层419b由具有耐热性、耐溶剂性的材料例如丙烯酸类树脂、聚酰亚胺树脂等形成。该有机物隔板层419b的厚度在0.1～3.5μm的范围中，最好是2μm左右。
图19是模式地表示在使用了有机场致发光的显示装置中，构成各象素的有机场致发光元件的其它结构的部分剖视图。如图19所示，本有机EL装置E是从配置了薄膜晶体管(TFTThin Film Transitor)的衬底502一侧取出光的装置。
本有机EL装置E具有衬底502、衬底502上设置的发光元件(有机EL元件)503和TFT504。发光元件503具有由铟锡氧化物(ITOIndiumTin Oxide)等透明电极材料构成的象素电极(阳极)523、能从该象素电极523输送空穴的空穴输送层570、含有有机发光材料的有机发光层560、在有机发光层560的上表面上设置的电子输送层550和在该电子输送层550的上表面上设置的由铝(Al)或镁(Mg)、金(Au)、银(Ag)、钙(Ca)等构成的相对电极(阴极)522。而且，用适用了本发明的喷出装置形成有机发光层560、空穴输送层570等。
TFT504隔着以SiO2为主体的衬底保护层581设置在衬底502的表面上。该TFT504具有在衬底保护层581的上层形成的硅层541；在衬底保护层581的上层设置的栅绝缘层582，它覆盖了该硅层541；在该栅绝缘层582的上表面中与硅层541相对的部分上设置的栅电极542；在栅绝缘层582的上层设置的第一层间绝缘膜583，它覆盖了该栅电极542；通过跨所述栅绝缘层582和第一层间绝缘膜583开孔的接触孔，与硅层541相连的源电极543；隔着栅电极542设置在与源电极543相对的位置，并且通过跨栅绝缘层582和第一层间绝缘膜583开孔的接触孔，与硅层541相连的漏电极544；和在第一层间绝缘膜583的上层设置的第二层间绝缘膜584，它覆盖了源电极543和漏电极544。
而且，在第二层间绝缘膜584的上表面上配置了象素电极523，象素电极523和漏电极544通过第二层间绝缘膜584上设置的接触孔523a相连。另外，第二层间绝缘膜584的表面中的设置了发光元件(有机EL元件)的以外的部分和相对电极522之间设置了由合成树脂构成的隔板层521。
另外，硅层541中的隔着栅绝缘层582与栅电极542重叠的区域为沟道区域。另外，在硅层541中的沟道区域的源极一侧设置了源极区域，而在沟道区域的漏极一侧设置了漏极区域。其中，源极区域通过跨栅绝缘层582和第一层间绝缘膜583开孔的接触孔，与源电极543相连。而漏极区域通过跨栅绝缘层582和第一层间绝缘膜583开孔的接触孔，连接到由和源电极543同一层构成的漏电极544上。象素电极523通过漏电极544与硅层541的漏极区域相连。
在本例子中，因为是从设置了TFT504的衬底502一侧取出发光的光的结构，所以最好衬底502是半透明的，这时使用玻璃或石英、树脂等透明度高(即光透射率高)的材料。
另外，也可以在衬底上配置滤色镜膜和包含发光性物质的颜色变换膜或电介质反射膜，控制发光的颜色。
也可以采用从与设置了TFT的衬底相对的一侧取出来自发光层的发光的光的结构。当采用从与衬底相对的一侧取出发光的光的结构时，衬底502可以是不透明的，这时，能使用对氧化铝等的陶瓷、不锈钢等金属薄板进行了表面氧化等绝缘处理的材料、热固化性树脂、热塑性树脂等。
如上所述，在本发明中，根据从控制机构输出的波形选择数据，开关电路从公共的驱动信号中选择所定的驱动脉冲，外加到压力发生元件上，所以能修正液态粘性物质在喷嘴间的重量偏移。因此，当从各喷嘴喷出液态粘性物质时，一个点的重量在喷嘴间没有偏移，所以能以高精度形成例如显微透镜等。
权利要求
1.一种用于向对象物喷出液态粘性物质的喷出装置，其特征在于具有具有与多个喷嘴分别对应的多个压力发生元件的头；生成包含多个驱动脉冲的驱动信号的驱动信号生成机构；输出决定了把所述多个驱动脉冲中的哪一个外加到所述压力发生元件上的波形选择数据的控制机构；从所述多个驱动脉冲中选择所定的驱动脉冲，外加到所述压力发生元件上的开关机构。
2.根据权利要求1所述的喷出装置，其特征在于所述驱动信号的不同的多个周期中包含的多个驱动脉冲不同。
3.根据权利要求1或2所述的喷出装置，其特征在于当向所述对象物喷出所述液态粘性物质时，把所述驱动信号的多个周期设置为使所述液态粘性物质喷出的动作的单位。
4.根据权利要求2所述的喷出装置，其特征在于当向所述对象物喷出所述液态粘性物质时，对于所述驱动信号的特定的第一周期的特定周期的时间位置能把所述驱动信号的一个周期作为单位调整。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的喷出装置，其特征在于当向所述对象物喷出所述液态粘性物质时，在所述驱动信号的一个周期内对一个所述压力发生元件外加所述驱动脉冲。
6.根据权利要求1～4中任意一项所述的喷出装置，其特征在于当向所述对象物喷出所述液态粘性物质时，在所述驱动信号的多个周期中对一个所述压力发生元件外加所述驱动脉冲。
7.根据权利要求1～6中任意一项所述的喷出装置，其特征在于所述多个驱动脉冲分别具有以不同的重量喷出所述液态粘性物质的波形；所述开关机构根据所述波形选择数据，从所述多个驱动脉冲中选择一个脉冲，外加到所定的所述压力发生元件上。
8.根据权利要求1～6中任意一项所述的喷出装置，其特征在于所述多个驱动脉冲分别具有以不同的重量喷出所述液态粘性物质的波形；所述开关机构根据所述波形选择数据，从所述多个驱动脉冲中选择多个脉冲，外加到所定的所述压力发生元件上。
9.根据权利要求1～8中任意一项所述的喷出装置，其特征在于所述控制机构具有当向所述多个压力发生元件外加同一波形的驱动脉冲时，记录与从所述多个头分别喷出的所述液态粘性物质的重量的偏移对应的喷嘴数据的记录部；根据该记录部中记录的所述喷嘴数据，生成所述波形选择数据，并输出。
10.根据权利要求9所述的喷出装置，其特征在于所述多个头与向所述压力发生元件外加同一波形的驱动脉冲时喷出的所述液态粘性物质的重量对应，把这些重量分为多个等级，把该分级的结果作为所述喷嘴数据记录到所述记录部中。
11.根据权利要求9所述的喷出装置，其特征在于所述喷嘴数据与向所述压力发生元件外加同一波形的驱动脉冲时喷出的所述液态粘性物质的重量对应，对于所述多个头分别记录在所述记录部中。
12.根据权利要求9～11中任意一项所述的喷出装置，其特征在于为所述头提供了该头中形成的关于所述头的所述喷嘴数据；并且该喷嘴数据从计测所述重量偏移的头检测装置输入到所述记录部中。
13.一种喷出液态粘性物质的喷出装置的控制方法，其特征在于至少具有使用第一驱动脉冲喷出液态粘性物质的第一过程；和根据喷出的所述液态粘性物质的喷出重量的测定结果，修正所述第一驱动脉冲的第二过程。
14.根据权利要求13所述的喷出装置的控制方法，其特征在于重复所述第一过程和所述第二过程，直到从喷出装置的各喷嘴喷出的所述液态粘性物质的喷出重量变为几乎均匀。
15.一种向对象物喷出液态粘性物质的喷出装置的控制方法，其特征在于具有当外加了成为基准的波形的驱动脉冲时的喷出重量从目标重量偏离时，决定了喷出重量变为所述目标重量的波形的第一过程；把求出的波形的驱动信号外加到所述压力发生元件上，计测这时的喷出重量的的第二过程；和把该喷出重量和所述目标重量比较，当该喷出重量与所述目标重量一致时，确定所述喷嘴数据的第三过程；当该喷出重量从所述目标重量偏移时，再度重复所述第一过程、第二过程以及第三过程。
16.根据权利要求15所述的喷出装置的控制方法，其特征在于预先确定重复所述第一过程、第二过程以及第三过程的上限次数，当重复所述第一过程、第二过程以及第三过程到了该上限次数，还不能确定所述喷嘴数据时，则判断所述头为不合格品。
17.一种使用了权利要求1～14中的任意一项所述的喷出装置的喷出方法，其特征在于所述头在所述对象物上的所定位置喷出所述液态粘性物质。
18.一种显微透镜阵列的制造方法，其特征在于使用权利要求17所述的喷出方法，在作为所述对象物的衬底上，把用于形成多个显微透镜的树脂作为所述液态粘性物质喷出。
19.一种光电装置的制造方法，其特征在于使用权利要求17所述的喷出方法，在作为所述对象物的衬底上，把用于形成滤色镜的树脂作为所述液态粘性物质喷出。
20.一种光电装置的制造方法，其特征在于使用权利要求17所述的喷出方法，在作为所述对象物的衬底上，把含有光电物质液体作为所述液态粘性物质喷出。
21.根据权利要求20所述的光电装置的制造方法，其特征在于所述光电物质是用于产生场致发光的荧光性有机化合物。
全文摘要
一种喷出装置，在喷出装置中，根据从控制机构输出的波形选择数据，开关电路从驱动信号COM中选择所定的驱动脉冲COM1、COM2、COM3，外加到压力发生元件上，所以能修正液态粘性物质在喷嘴间的重量偏移。利用该喷出装置能以高精度形成显微透镜等。
文档编号H05B33/10GK1398723SQ0212654
公开日2003年2月26日 申请日期2002年7月23日 优先权日2001年7月23日
发明者臼田秀范 申请人:精工爱普生株式会社