一种新型单晶炉的制作方法

文档序号:9762544阅读:229来源:国知局
一种新型单晶炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种新型单晶炉。
【背景技术】
[0002]随着光伏市场的不断发展,单晶制造厂商面临较大竞争压力。降低制造成本、提升产品质量已经成为后期单晶生产必不可少的两个方面。目前单晶硅棒制造环节成本最大的根源在于用电量的巨大,导致成本的过高,晶棒制造过程中长晶周期最长,拉晶时需要保持一定温度,单晶炉功耗高低直接影响到用电量的多少。

【发明内容】

[0003]本发明的目的在于:针对现有技术中存在的上述技术问题,提供一种新型单晶炉。
[0004]本发明是通过以下技术方案实现的:
[0005]一种新型单晶炉,包括炉体以及在炉体的内部设有保温筒、保温盖、石墨坩埚、石英坩埚、导流筒和加热器,所述石墨坩埚的外侧安装有加热器,保温筒位于加热器外,所述导流筒位于石墨坩埚上方,所述石英坩埚底部设有坩埚托,所述坩埚托通过坩埚轴与炉底相固定,所述加热器分别通过加热电极固定在炉体底部,并露出于炉底的下表面,所述炉体内壁与保温筒之间填充有保温毡;所述保温筒上部与保温盖之间设有保温碳毡,所述导流筒的底部伸入石英坩埚内。
[0006]作为优选,所述保温毡的厚度为78-92mm。
[0007]作为优选,所述保温碳租的厚度为40mm。
[0008]作为优选,所述炉体底部设有软毡。
[0009]作为优选,所述导流筒的高度为315mm-330mm,导流筒口径为205mm-235mm。
[0010]综上所述,由于采用了上述技术方案,本发明的有益效果是:
[0011]本发明增添了保温毡,且缩短了导流筒的口径,增加了导流筒的高度,减少了上部的散热,从而降低热量的损失,加强了保温效果;另外,由于本发明改变了炉腔内部的热场结构,提高了热量的利用率,达到了节能和提高单晶炉使用寿命的目的。
【附图说明】
[0012]本发明将通过例子并参照附图的方式说明,其中:
[0013]图1为本发明的一较佳实施例结构示意图;
[0014]图中标记:1-炉体,2-保温筒,3-保温毡,4-坩埚托,5-保温碳毡,6_石墨坩埚,7-石英相'祸,8-加热器,9-加热电极,10-相■祸轴,11-导流筒。
【具体实施方式】
[0015]本说明书中公开的所有特征,或公开的所有方法或过程中的步骤,除了互相排斥的特征和/或步骤以外,均可以以任何方式组合。
[0016]本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征,除非特别叙述,均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即,除非特别叙述,每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。
[0017]如图1,一种新型单晶炉,包括炉体I以及在炉体I的内部设有保温筒2、保温盖、石墨坩埚6、石英坩埚7、导流筒11和加热器8,所述石墨坩埚6的外侧安装有加热器8,保温筒2位于加热器8外,所述导流筒11位于石墨坩埚6上方,所述石英坩埚7底部设有坩埚托4,所述坩埚托4通过坩埚轴10与炉底相固定,所述加热器8分别通过加热电极固定在炉体I底部,并露出于炉底的下表面,加热电极露出于炉底,便于进行接线。
[0018]所述炉体I内壁与保温筒2之间填充有保温毡3,保温筒2包括上保温筒、中保温筒和下保温筒,上保温筒的保温毡3厚度为80mm,中保温筒的的保温毡3厚度为90mm,下保温筒的的保温毡3厚度为90mm。
[0019]所述保温筒2上部与保温盖之间设有保温碳毡,保温碳毡的厚度为40mm,外径跟直接接触到炉壁,所述炉体I底部设有软毡。
[0020]所述导流筒11的底部伸入石英坩埚7内,所述导流筒11的高度为315mm-330mm,导流筒11 口径为205mm-235mm。导流筒11的下底面最高可以与石英坩埚7顶部齐平,避免了多晶硅装料时,导流筒11对坩埚空间的占用,增加了坩埚中可容纳的多晶材料体积,提高了坩埚的多晶材料装料量。
[0021]本发明采用本实施例所述的单晶炉热场进行实验与现有技术中的单晶炉热场进行对比,平均等径功率40kw,相比较目前车间炉台平均等径功率75kw (使用新型碳毡后,普通碳毡功率达到72kw),降低了 25kw,这样相当于整炉功率下降了 35kw,目前拉制一炉最低用时为50h,平均一月可以拉制10炉次,这样大大节省了用电量,达到节能的效果。
[0022]以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合,以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。
【主权项】
1.一种新型单晶炉,包括炉体以及在炉体的内部设有保温筒、保温盖、石墨坩埚、石英坩埚、导流筒和加热器,所述石墨坩埚的外侧安装有加热器,保温筒位于加热器外,所述导流筒位于石墨坩埚上方,所述石英坩埚底部设有坩埚托,所述坩埚托通过坩埚轴与炉底相固定,其特征在于,所述加热器分别通过加热电极固定在炉体底部,并露出于炉底的下表面,所述炉体内壁与保温筒之间填充有保温毡;所述保温筒上部与保温盖之间设有保温碳毡,所述导流筒的底部伸入石英坩埚内。2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述保温毡的厚度为78-92mm。3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述保温碳毡的厚度为40_。4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述炉体底部设有软毡。5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,所述导流筒的高度为315mm-330mm,导流筒口径为 205mm-235mm。
【专利摘要】本发明公开了一种新型单晶炉,包括炉体以及在炉体的内部设有保温筒、保温盖、石墨坩埚、石英坩埚、导流筒和加热器,所述石墨坩埚的外侧安装有加热器,保温筒位于加热器外,所述导流筒位于石墨坩埚上方,所述石英坩埚底部设有坩埚托,所述坩埚托通过坩埚轴与炉底相固定,所述加热器分别通过加热电极固定在炉体底部,并露出于炉底的下表面,所述炉体内壁与保温筒之间填充有保温毡;所述保温筒上部与保温盖之间设有保温碳毡,所述导流筒的底部伸入石英坩埚内。本发明增添了保温毡,且缩短了导流筒的口径,增加了导流筒的高度,减少了上部的散热,从而降低热量的损失,加强了保温效果。
【IPC分类】C30B29/06, C30B15/00
【公开号】CN105525346
【申请号】CN201410566138
【发明人】王东芹, 李中心
【申请人】镇江大成新能源有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2014年10月21日
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