一种硅片正反面色差检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉硅片检测技术领域，更具体地说是涉及一种硅片正反面色差检测装置。
【背景技术】
[0002]目前在太阳能光伏制造业所使用的硅片色差检测装置都是单一的正面检测，不能满足客户对硅片的正反两面都要进行色差检测要求，而且单一的正面检测会使硅片色差检测结果的精度偏低。
【实用新型内容】
[0003]为解决上述现有技术中的问题，本实用新型提供一种硅片正反面色差检测装置，通过对硅片的正反面色差进行检测，提高了硅片色差检测结果的精度。
[0004]本实用新型的技术方案为:一种硅片正反面色差检测装置，包括:
[0005]依次运送硅片的第一皮带线组件、旋转机构和第二皮带线组件；
[0006]设于所述第一皮带线组件上的正面色差检测仪，所述硅片在第一皮带线组件上运送经过所述正面色差检测仪时，进行正面色差检测，并继续向后运送；
[0007]以及设于所述旋转机构侧面的反面色差检测仪，所述旋转机构上固定连接用于吸取所述硅片的吸盘，通过所述旋转机构上的吸盘吸取已进行正面色差检测的硅片，并旋转第一角度将硅片送到反面色差检测仪上方停止，进行反面色差检测后，再旋转第二角度将硅片送到所述第二皮带线组件上。
[0008]所述旋转机构包括电机，与所述电机连接的蜗轮蜗杆减速机，固定安装在所述蜗轮蜗杆减速机上的法兰，固定安装在所述法兰上的安装板，以及固定安装于所述安装板端部的竖直连接杆，所述竖直连接杆末端与所述吸盘固定连接。
[0009]所述安装板为十字安装板，所述十字安装板固定连接有至少四个吸盘，第一角度和第二角度为90度。
[0010]本实用新型提出的硅片正反面色差检测装置，通过设置依次运送硅片的第一皮带线组件、旋转机构和第二皮带线组件，在第一皮带线组件上设置正面色差检测仪，在旋转机构的侧面设置反面色差检测仪，这样能对硅片的正反面色差进行检测，得到了硅片正反两面的色差检测结果，从而提高了硅片色差检测结果的精度。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型硅片正反面色差检测装置的立体结构示意图；
[0012]图2为图1中的俯视图；
[0013]图3为图1中的主视图。
【具体实施方式】
[0014]如图1和图2所示，本实用新型提出的硅片正反面色差检测装置包括第一皮带线组件1、正面色差检测仪2、反面色差检测仪4、旋转机构3和第二皮带线组件5，第一皮带线组件
1、旋转机构3和第二皮带线组件5依次运送硅片。
[0015]正面色差检测仪2设于第一皮带线组件I上，硅片7在第一皮带线组件I上运送经过正面色差检测仪2时，进行正面色差检测，并继续向后输送。
[0016]反面色差检测仪4设于旋转机构3的侧面，这样避免了拍摄到传送皮带，提高检测时拍照的准确性。
[0017]旋转机构3上固定连接用于吸取硅片的吸盘6，通过旋转机构3上的吸盘6吸取已进行正面色差检测的硅片，并旋转第一角度将硅片送到反面色差检测仪4上方停止，进行反面色差检测后，再旋转第二角度将硅片送到第二皮带线组件5上。
[0018]如图3所示，旋转机构包括电机31，与电机31连接的蜗轮蜗杆减速机32，固定安装在蜗轮蜗杆减速机32上的法兰33，固定安装在法兰33上的安装板34，以及固定安装于安装板34端部的竖直连接杆35，竖直连接杆35末端与吸盘6固定连接，电机31驱动带动安装板34旋转。
[0019]该硅片正反面色差检测装置还包括控制器，控制器一方面用于控制吸盘上电磁阀，使吸盘吸取硅片和放下硅片，另一方面用于控制电机。
[0020]结合图2和图3对本实用新型的检测过程详细说明:本实施例中，安装板34为十字安装板，十字安装板34固定连接有至少四个吸盘，这里吸盘数量为四个，第一角度和第二角度为90度。硅片从第一皮带线组件I的前端放上，并通过第一皮带线组件I向后运送，当硅片经过安装在第一皮带线组件I上的正面色差检测仪2时，正面色差检测仪2开始拍照并检测，并由此得出硅片正面色差结果。硅片在第一皮带线组件上继续向后运送到达下一工位时，安装在第一皮带线组件I上的感应器接收到信号，控制器控制吸盘6上的电磁阀，使吸盘6吸取硅片，此时电机驱动带动十字安装板旋转90度将硅片运送到反面色差检测仪4上方停止，此时反面色差检测仪4开始拍照并检测，由此得出硅片反面色差结果。反面色差检测完后，再旋转90度将硅片运送到第二皮带线组件5上方，吸盘6放下硅片并由第二皮带线组件5向后运送到下一个工位。正面色差检测仪和反面色差检测仪对拍照收到的信号经过处理，在显示器输出处理结果来指导后面硅片色差分选的工作。
[0021]以上的具体实施例仅用以举例说明本实用新型的构思，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种硅片正反面色差检测装置，其特征在于，包括: 依次运送硅片的第一皮带线组件、旋转机构和第二皮带线组件； 设于所述第一皮带线组件上的正面色差检测仪，所述硅片在第一皮带线组件上运送经过所述正面色差检测仪时，进行正面色差检测，并继续向后运送； 以及设于所述旋转机构侧面的反面色差检测仪，所述旋转机构上固定连接用于吸取所述硅片的吸盘，通过所述旋转机构上的吸盘吸取已进行正面色差检测的硅片，并旋转第一角度将硅片送到反面色差检测仪上方停止，进行反面色差检测后，再旋转第二角度将硅片送到所述第二皮带线组件上。2.根据权利要求1所述的硅片正反面色差检测装置，其特征在于，所述旋转机构包括电机，与所述电机连接的蜗轮蜗杆减速机，固定安装在所述蜗轮蜗杆减速机上的法兰，固定安装在所述法兰上的安装板，以及固定安装于所述安装板端部的竖直连接杆，所述竖直连接杆末端与所述吸盘固定连接。3.根据权利要求2所述的硅片正反面色差检测装置，其特征在于，所述安装板为十字安装板，所述十字安装板固定连接有至少四个吸盘，第一角度和第二角度为90度。
【专利摘要】本实用新型公开了一种硅片正反面色差检测装置，包括依次运送硅片的第一皮带线组件、旋转机构和第二皮带线组件；设于所述第一皮带线组件上的正面色差检测仪，所述硅片在第一皮带线组件上运送经过所述正面色差检测仪时，进行正面色差检测，并继续向后运送；以及设于所述旋转机构侧面的反面色差检测仪，所述旋转机构上固定连接用于吸取所述硅片的吸盘，通过所述旋转机构上的吸盘吸取已进行正面色差检测的硅片，并旋转第一角度将硅片送到反面色差检测仪上方停止，进行反面色差检测后，再旋转第二角度将硅片送到所述第二皮带线组件上。该硅片正反面色差检测装置通过对硅片的正反面色差进行检测，提高了硅片色差检测结果的精度。
【IPC分类】H01L21/66, H01L21/677
【公开号】CN205194661
【申请号】CN201520913872
【发明人】谢鑫, 胡永涛, 张勇
【申请人】深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年11月17日