刻蚀机台用排风罩的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种排风罩，特别是，涉及一种刻蚀机台用排风罩。
【背景技术】
[0002]刻蚀机台在使用中会产生金属和氯离子的反应物部分沉积，这些反应物不溶于有机溶剂而易溶于水，溶于水时会放出大量热并部分挥发。在用水擦拭时，气体挥发影响工作环境，且有可能引起刻蚀机台本身侦测报警，是否可以将擦拭过程中产生的有害物质通过厂区的排风管排出车间，是一个值得思考的问题。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种刻蚀机台用排风罩，其可以与厂区的排风管直接连通，通过排风管将有害气体排出车间，净化生产空间的空气，避免有害气体对人的伤害。
[0004]为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案如下:
[0005]—种刻蚀机台用排风罩，包括罩体和控制阀，所述罩体由送风部和通风管构成，所述控制阀设置在通风管上。
[0006]优选的，还包括连接管，所述连接管一端连接在通风管上。
[0007]优选的，所述连接管材质为硫化橡胶。
[0008]优选的，所述送风部底部内侧设置有储水槽。
[0009]优选的，所述罩体为一体成型结构，罩体厚度为0.4-0.6cm。
[0010]优选的，所述罩体材质为工程塑料。
[0011 ]优选的，所述罩体纵截面为漏斗形。
[0012]优选的，所述送风部底部横截面为矩形，长度为110-150cm，宽度为80-90cm。
[0013]优选的，所述送风部顶部沿对角线方向设置有加强筋。
[0014]优选的，所述通风管横截面为圆形，所述通风管外径为14_16cm。
[0015]相比现有技术，本实用新型的有益效果在于，本实用新型可以与厂区的排风管直接连通，通过排风管将有害气体排出车间，净化生产空间的空气，避免有害气体对人的伤害。罩体采用漏斗形结构可以增加抽气面积，便于更多的吸收有害气体，从而保证抽风的高效性。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型结构不意图；
[0017]图2为本实用新型纵向剖视图；
[0018]其中，I为罩体，11为送风部，111为储水槽，112为加强筋，12为通风管，2为连接管，
3为控制阀。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明。
[0020]如图1、2所示，刻蚀机台用排风罩包括罩体I和控制阀3，罩体I由送风部11和通风管12构成，控制阀3设置在通风管12上。控制阀3用于控制通风管12的开合。
[0021 ]刻蚀机台用排风罩还包括连接管2，连接管2—端连接在通风管12上，另一端连接在厂区的排风管上，连接管2优选硫化橡胶材质，保证排风罩与排风管连接的稳定性。
[0022]送风部11底部内侧设置有储水槽111，用于截留抽风过程中在罩体I内壁形成的水珠。
[0023 ]罩体I为一体成型结构，厚度为0.4-0.6cm，罩体I材质为工程塑料，罩体I纵截面为漏斗形，送风部11底部横截面为矩形，长度为110-150cm，宽度为80-90cm，通风管12横截面为圆形，通风管12外径为14-16cm;漏斗形结构便于更多的吸收有害气体，从而保证抽风的尚效性。
[0024]送风部11顶部沿对角线方向设置有加强筋112，保证罩体I结构的稳定性，增加其使用期限。
[0025]在一个优选实施例中，刻蚀机台用排风罩包括罩体1、连接管2和控制阀3，罩体I由送风部11和通风管12构成，控制阀3设置在通风管12上，连接管2—端连接在通风管12上，另一端连接在厂区的排风管上，连接管2为硫化橡胶材质；送风部11底部内侧设置有储水槽111，罩体I为一体成型结构，厚度为0.5cm，罩体I材质为工程塑料，罩体I纵截面为漏斗形，送风部11底部横截面为矩形，长度为120cm，宽度为90cm，通风管12横截面为圆形，通风管12外径为15cm;送风部11顶部沿对角线方向设置有加强筋112。
[0026]使用时，将刻蚀机台用排风罩通过连接管2连接在厂区的排风管上，打开控制阀3，罩体I处产生低压，从而将排风罩下产生的废气通过排风管排出车间。
[0027]对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。
【主权项】
1.一种刻蚀机台用排风罩，其特征在于，包括罩体和控制阀，所述罩体由送风部和通风管构成，所述控制阀设置在通风管上。2.如权利要求1所述的刻蚀机台用排风罩，其特征在于，还包括连接管，所述连接管一端连接在通风管上。3.如权利要求2所述的刻蚀机台用排风罩，其特征在于，所述连接管材质为硫化橡胶。4.如权利要求1所述的刻蚀机台用排风罩，其特征在于，所述送风部底部内侧设置有储水槽。5.如权利要求1所述的刻蚀机台用排风罩，其特征在于，所述罩体为一体成型结构，罩体厚度为0.4-0.6cm。6.如权利要求4所述的刻蚀机台用排风罩，其特征在于，所述罩体材质为工程塑料。7.如权利要求1-6任一项所述的刻蚀机台用排风罩，其特征在于，所述罩体纵截面为漏斗形。8.如权利要求7所述的刻蚀机台用排风罩，其特征在于，所述送风部底部横截面为矩形，长度为110_150cm，宽度为80-90cmo9.如权利要求8所述的刻蚀机台用排风罩，其特征在于，所述送风部顶部沿对角线方向设置有加强筋。10.如权利要求7所述的刻蚀机台用排风罩，其特征在于，所述通风管横截面为圆形，所述通风管外径为14_16cm。
【专利摘要】本实用新型公开了一种刻蚀机台用排风罩，包括罩体和控制阀，所述罩体由送风部和通风管构成，所述控制阀设置在通风管上。本实用新型可以与厂区的排风管直接连通，通过排风管将有害气体排出车间，净化生产空间的空气，避免有害气体对人的伤害。
【IPC分类】B08B15/00
【公开号】CN205289189
【申请号】
【发明人】罗松奎
【申请人】苏州同冠微电子有限公司
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2015年12月24日