技术编号：10001631
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在化学工业及电子工业的很多工艺中大量使用超高纯度的气体。而工业制备出的气体中通常含有一些反应物、反应过程中的中间产物以及水、空气中的氧气等杂质因其化学性质而使所述气体无法适用于高工艺性的要求。因此要对超高纯度气体中的各种杂质进行除杂纯化。在某些气体用量较小的工业中，会使用到小流量气体纯化装置。小流量气体纯化装置的体积小，重量轻。但是由于纯化装置的体积问题，也会造成其纯化材料的填量减少，持续纯化时间缩短。例如一般氢气气体纯化材料为锆-铝-钛等合金粉末，而小流...
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