技术编号：10008452
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在化学工业及电子工业的很多工艺中大量使用超高纯度的惰性气体。而工业制备出的惰性气体中通常含有一些反应物、反应过程中的中间产物以及水、空气中的氧气等杂质因其化学性质而使所述气体无法适用于高工艺性的要求。因此要对超高纯度气体中的各种杂质进行除杂纯化。目前工业上惰性气体常用的纯化方法主要有低温冷凝吸附分离法、变压吸附法、薄膜分离法、化学分离法等。一般冷凝吸附分离法和变压吸附法都是采用惰性气体纯化吸附材料填入纯化罐之中，通过特殊的温度、压力条件使原料惰性气体材料中...
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