技术编号:10015579
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。四探针测量系统运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的,专用于测试变温、真空及气氛条件下测试半导体材料电学性能的最佳测量系统。目前国内市场上已有常温条件下使用的四探针测试系统,但是该系统只能在室温条件下使用,不能测试升温条件下样品的数据变化。部分科研机构的人员采用先将样品在管式炉里面升温至某一阶段温度后,取出样品在常温四探针下测试,这样的步骤即繁琐,又不能精确测量温度,当温度过高突然将...
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