技术编号：10016010
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光掩膜版是集成电路制造工艺中的重要部件，一块光掩膜版就是一块普通玻璃或石英玻璃，玻璃的一面印有以金属铬为图层的几何图形，光掩膜版同时包含了设计者的版图信息和必要的硅片代工厂工艺修正信息，工厂通过光刻工艺将这些掩膜版的图形投影到硅片上，以便在硅片上进行选择性掺杂，互连，从而制成半导体器件和集成电路。这个过程就与现代印刷工业类似，光掩膜版相当于印刷母板。有别于传统的矩形光掩膜版，环形光掩膜版可用于环形集成电路等领域。卡盘(chuck)作为光掩膜版涂覆光刻胶的载...
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