技术编号:10018723
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种光谱控制装置,特别是涉及一种准分子激光器的光谱控制 目.0背景技术在激光技术的研发过程中,常会涉及到光谱控制的问题,针对激光波长、激光线宽的有效控制可以获得面向不同应用需求的激光光源系统特征指标输出。以准分子激光系统为例,针对光刻应用,为保证半导体硅片芯片图案刻画的精细度和设计的集成度,考虑光刻节点实现的相关因素,常常需要光刻光源具有较窄的激光线宽输出。在相关光刻准分子激光光源系统结构中常采用线宽压窄模块来完成系统激光线宽的窄化控制。...
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