技术编号:10026023
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。蓝宝石单晶具有独特的晶格结构、优异的力学性能、化学惰性及良好的热学性能,是目前LED衬底市场的首选材料。同时,随着技术水平的提高,蓝宝石的生长制造成本也越来越低,消费类电子产品方面的应用成为蓝宝石的另一个重要市场。不论是在LED应用方面,还是在消费类电子产品应用方面,对蓝宝石晶片表面质量都有较高的要求。通常蓝宝石晶片在研磨去除损伤层之后,最后都会采用化学机械抛光(CMP)的方法实现晶片的全局平坦化。然而,蓝宝石硬度高,化学性质非常稳定,机械与化学方法的去除...
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