技术编号：10032458
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。凝栗是利用低温表面冷凝气体的真空栗，又称冷凝栗。冷凝栗是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空栗，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。专利号为97234172.2的中国专利公开了一种单级单吸悬臂式冷凝栗，该冷凝栗由栗体、叶轮、叶轮螺母、栗轴、尾盖、机械密封部件或软填料密封部件、悬架部件，支座构成，栗轴装在悬架部件内，悬架部件支承栗轴及叶轮转动，叶轮、叶轮螺母固定在栗...
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