一种阀门控制装置和真空阀门系统的制作方法技术资料下载

技术编号:10033117

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现有的真空阀门系统中的阀门控制装置一般通过滚轴凸轮(roller cam)和位于滚轴凸轮中的滚轴(roller)进行阀门的开启和闭合。滚轴凸轮是现有的真空阀门系统中控制阀门启闭的关键部件之一。如图1a所示,为现有技术提供的阀门控制装置的正面剖视图,如图1b所示为图1a沿A-A’方向的侧面剖视图。如图所示,该阀门控制装置包括阀片10、阀杆11、上基座12、下基座13、壳体14、3组升降气缸15、适配器16、弹簧17、滚轴凸轮18、第一滚轴19和第二滚轴20。...
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