技术编号：10035087
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。激光直写曝光机的最核心的部件是激光器，设备在工作过程中，利用计算机生成数字掩膜图形并输出到数字微镜，激光器输出的激光经数字微镜反射后进入光学投影系统，投影到晶圆表面相对应的成像位置进行曝光成像。激光器的能量控制是激光直写曝光机的技术难题，由于曝光成像的最小线宽是纳米级的，所以能量控制必须精确与稳定。但是实际工作当中，由于工业环境中电磁干扰较多，以及激光器本身存在能量衰减的固有属性问题，导致激光器能量出现波动，即能量跳变问题。因此，有必要设计一种用于实时测量...
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