技术编号:10043595
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。电子化学品是大规模、超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料,它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电学性能及可靠性有十分重要的影响,在目前国内电子化学品的生产过程中所采用的去除杂质的方法中,包括通过氧化反应转换杂质沸点除杂的方法,该方法是先利用氧化物氧化杂质以形成沸点低于电子化学品原料的杂质,使得杂质能够在电子化学品原料保持液态时被气化,然后将气化的杂质与液态的电子化学品原料分离。现有技术中采用的氧化物一般为高锰酸钾、双氧水等,但是采用此类化合物氧化...
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