技术编号：10048991
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微悬梁臂是MEMS里面一种非常重要的执行器，加上静电、压电等驱动单元后被广泛应用于生物、化学、药学、健康医疗、汽车等领域，其作为主动光学元器件的调制单元，也具备制备简单、片上可集成等诸多优点。传统的微悬梁臂通常用硅(多孔硅、单晶硅等)，陶瓷(二氧化硅、氮化硅等)，金属，金属碳化物，聚合物等材料，其中以硅的应用最为广泛。硅在MEMS很多应用领域具有很好的力学与电学特性，而且硅材料与传统半导体工艺兼容，在成本控制、工艺成熟度方面具备很大优势。但是硅材料也具有本...
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